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Un modo efficiente per controllare la contaminazione per la metrologia e le ispezioni a alta produttività

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Comando a distanza di un revolver motorizzato

La progettazione di strumenti di metrologia che supportano ispezioni a alta produttività (numero di ispezioni che possono essere eseguite nel tempo richiesto) rappresenta una sfida comune nell'ambito dell'industria di produzione di display FPD (schermo piatto) e OLED (organic light-emitting diode).

In qualità di fornitore leader di componenti e ottiche OEM, Olympus mette a disposizione dei progettisti che sviluppano apparecchiature ottiche nel settore delle ispezioni, della produzione e della ricerca, dei microscopi di alta qualità. Nell'ambito del controllo qualità nel settore della produzione, questi strumenti possono incrementare la produttività (es: percentuale di articoli non difettosi in rapporto a tutti gli articoli prodotti) grazie allo studio attento della loro struttura.

Infatti i microscopi integrati in uno strumento di ispezione a alta produttività spesso necessitano di intuitivi comandi a distanza, in modo che utenti di qualunque grado di esperienza possano realizzare ispezioni con semplicità e precisione. Attraverso dei comandi semplificati è possibile regolare la messa a fuoco, il punto di osservazione dei campioni, i metodi di osservazione e l'ingrandimento, così da poter ottenere un'immagine ottimale per l'ispezione. Offriamo diverse apparecchiature che permettono un controllo motorizzato come: microscopio motorizzato sull'asse Z, illuminatore motorizzato, analizzatore motorizzato, unità di controllo e console di regolazione.

Inoltre stiamo lanciando un revolver motorizzato con una funzione di aspirazione (U-D5BDREMC-VA) in grado di migliorare la pulizia assicurando, allo stesso tempo, velocità e resistenza. Per quelli che non hanno dimestichezza con queste apparecchiature, un revolver (conosciuto anche come torretta portaobiettivi o portaobiettivi a revolver) integra diversi obiettivi con diversi ingrandimenti. Ruotando il revolver gli utenti possono osservare un campione variando l'ingrandimento in base alle necessità.

Revolver motorizzato

Revolver motorizzato

Controllo della contaminazione nelle industrie di produzione di semiconduttori, FPD e OLED

La pulizia rappresenta un aspetto primario per gli operatori addetti alle ispezioni nell'ambito delle industrie di produzione di semiconduttori, FPD e OLED in modo da realizzare prodotti che abbiano un funzionamento ottimale. Di conseguenza gli strumenti di ispezione vengono utilizzati in ambienti controllati come le camere sterili. La polvere non deve cadere dal revolver sul campione (es: wafer semiconduttore). Anche una minuscola particella di polvere può contaminare il wafer, compromettere il suo funzionamento e influenzare il processo di fabbricazione del prodotto.

Il nostro revolver motorizzato con una funzione di aspirazione (U-D5BDREMC-VA) applica una depressione a bassa pressione per ridurre il numero di particelle di polvere che cadono quando il revolver ruota, oltre a trattenere il gas e la polvere creati dal grasso usato per lubrificare il sistema. La funzione di aspirazione rende il revolver ideale per ambienti controllati in camere sterili. Il revolver può essere usato come modulo del microscopio integrato per le apparecchiature di ispezione di semiconduttori e FPD.

Revolver con funzione di aspirazione per il controllo della contaminazione.

Revolver con funzione di aspirazione per il controllo della contaminazione.

Diversi revolver per l'ispezione di wafer semiconduttori e altre componenti

Offriamo un'ampia gamma di revolver che possono essere integrati nei sistemi nell'ambito delle ispezioni, della produzione e della ricerca. La nostra gamma include delle opzioni manuali e motorizzate.

  • Revolver manuale: Può supportare diversi metodi come il campo chiaro, il campo scuro e il contrasto a interferenza differenziale (DIC). Inoltre può integrare da 4 a 7 obiettivi, soddisfare le specifiche ESD e molto altro.
  • Revolver con funzione di codificazione: Questo tipo di revolver manuale può rilevare la posizione del foro di installazione dell'obiettivo del revolver. Il software permette di determinare la corrispondenza tra l'informazione dell'ingrandimento dell'obiettivo e la sua posizione nel revolver. Questo permette di aggiungere più velocemente l'informazione dell'ingrandimento all'immagine acquisita, riducendo il rischio di errori di inserimento manuali dei dati.
  • Revolver motorizzato: Questo tipo di revolver sposta elettricamente cinque o sei obiettivi. È inoltre disponibile un revolver motorizzato con una funzione di aspirazione.
  • Revolver con funzione di centramento: Questo tipo di revolver permette di centrare, manualmente o elettricamente, l'asse ottico degli obiettivi. Questo modifica la posizione del foro del revolver da regolare attraverso minimi spostamenti in ogni obiettivo. Di conseguenza, tutti gli obiettivi installati possono essere allineati. Mediante questa regolazione è possibile mantenere la stessa posizione di centramento prima e dopo il cambio degli obiettivi.
  • Adattatore di montaggio dell'obiettivo: Questo adattatore (STM7-MMOBAD) permette di utilizzare solamente un obiettivo. Questa rappresenta un'opzione economica se per la tua applicazione non sono necessari obiettivi multipli. Notare che l'adattatore è dotato solamente dello standard RMS-W26 e non possiede un percorso ottico per l'illuminazione del campo scuro.
Adattatore di montaggio dell'obiettivo

L'adattatore di montaggio dell'obiettivo (STM7-MMOBAD) assicura flessibilità, permettendo di fissare solamente un obiettivo a un sistema che supporta diversi obiettivi. A sinistra: Un solo obiettivo fissato utilizzando l'adattatore di montaggio dell'obiettivo. Al centro: Prima del fissaggio del revolver. A destra: Obiettivi multipli fissati mediante un revolver.

Per maggior informazioni sulle nostre soluzioni OEM, visitare il centro risorse OEM sul nostro sito web per le scienze della vita. Qui è possibile scaricare le schede tecniche e i dati CAD 3D per le specifiche dei nostri revolver.

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Mechanical Engineer

Shunsuke Kurata works in the mechanical engineering department at Olympus. He has been engaged in the mechanical engineering of microscope products for many years. He develops semiconductor and flat panel display (FPD) inspection equipment, and has led the development of components for microscope units.

dicembre 21, 2021
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