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Uma maneira inteligente de controlar a contaminação para metrologia e inspeção de alto rendimento

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Controle remoto de um revólver giratório motorizado

Projetar instrumentos de metrologia que suportem inspeções de alto rendimento (ou seja, o número de inspeções que podem ser processadas por tempo necessário) é um desafio comum nas indústrias de fabricação de semicondutores, monitores de tela plana (FPD) e diodos orgânicos emissores de luz (OLED).

Como fornecedora líder de óptica e componentes OEM, a Olympus fornece unidades de microscópio de alta qualidade para projetistas de instrumentos que desenvolvem equipamentos ópticos para os campos de inspeção, produção e pesquisa. Para inspeção de qualidade na indústria manufatureira, essas unidades podem melhorar o rendimento (ou seja, a porcentagem de itens não defeituosos de todos os itens produzidos) graças aos seus cuidadosos designs.

Por exemplo, as unidades de microscópio integradas a um dispositivo de inspeção de alto rendimento geralmente precisam de controles remotos intuitivos para que usuários de todos os níveis de habilidade possam realizar inspeções com facilidade e precisão. Com controles simples, você pode ajustar o foco, o local de observação da amostra, os métodos de observação e o aumento para obter rapidamente uma imagem apropriada para a inspeção. Oferecemos várias unidades que permitem o controle motorizado, como uma unidade de microscópio acionado por Z motorizado, iluminador motorizado, analisador motorizado, caixa de controle e interruptor manual.

Também estamos introduzindo um revólver giratório motorizado com função de vácuo (U-D5BDREMC-VA) que pode melhorar a limpeza, oferecendo velocidade e durabilidade. Para aqueles que não estão familiarizados, um revólver giratório (também conhecido como torre giratória ou revólver giratório de objetivas) é o suporte onde se encontram as várias lentes objetivas com diferentes aumentos. Ao girar o revólver, os usuários podem olhar uma amostra usando uma ampliação diferente, conforme necessário.

Revólver giratório motorizado

Revólver giratório motorizado

Controle de contaminação na indústria de semicondutores, FPD e OLED

A limpeza é uma das principais preocupações dos inspetores nas indústrias de fabricação de semicondutores, FPD e OLED para produzir produtos que funcionem adequadamente. Como resultado, o equipamento de inspeção é usado em ambientes controlados, como salas limpas. Não é permitido que caia poeira do revólver giratório de objetivas em uma amostra, como um wafer semicondutor. Até mesmo uma pequena partícula de poeira pode contaminar o wafer, destruir sua funcionalidade e afetar o rendimento do produto.

Nosso revólver giratório motorizado com função de vácuo (U-D5BDREMC-VA) usa sucção de baixa pressão para reduzir a quantidade de partículas finas que caem quando o revólver giratório gira, além de capturar qualquer poeira ou gás criado pela graxa usada para lubrificar o sistema. Esta função de vácuo torna o revólver giratório ideal para um ambiente controlado de sala limpa. O revólver giratório pode ser usado como um módulo de microscópio integrado para equipamentos de inspeção de semicondutores e FPD.

Revólver giratório com função de vácuo para controle de contaminação

Revólver giratório com função de vácuo para controle de contaminação

Vários revólveres giratórios para inspeção de wafer semicondutor e muito mais

Fornecemos uma ampla variedade de revólveres giratórios que podem ser integrados em sistemas dos campos de inspeção, produção e pesquisa. Nossa seleção inclui opções manuais e motorizadas.

  • Revólver giratório manual: nossa linha é compatível com métodos de observação como campo claro, campo escuro e contraste de interferência diferencial (DIC), pode comportar entre quatro e sete objetivas, atende às especificações ESD e muito mais.
  • Revólver giratório com função codificado: este tipo de revólver giratório manual pode detectar a posição do orifício de montagem da objetiva no revólver. Usando o software, você pode combinar as informações de ampliação da objetiva com sua posição no revólver, permitindo adicionar as informações de ampliação à imagem capturada mais rapidamente, reduzindo o risco de erros de entrada manual de dados.
  • Revólver giratório motorizado: este tipo de revólver giratório move cinco ou seis objetivas eletricamente. Também está disponível um revólver giratório motorizado com função de vácuo.
  • Revólver giratório com função de centralização: este tipo de revólver giratório permite centralizar o eixo óptico da lente objetiva manualmente ou eletricamente. Isso altera a posição do orifício do revólver giratório para ajustar pequenos deslocamentos em cada lente objetiva. Como resultado, todas as lentes objetivas instaladas podem ser alinhadas. Com este ajuste, você pode observar exatamente a mesma posição central antes e depois de alterar as lentes objetivas.
  • Adaptador de montagem de objetiva: este adaptador (STM7-MMOBAD) permite que você use apenas uma lente objetiva. Esta é uma opção econômica se você não precisar de várias lentes objetivas para a sua aplicação. Observe que o adaptador vem apenas com o parafuso RMS W26 e não possui caminho óptico para iluminação de campo escuro.
Adaptador de montagem de objetiva

O adaptador de montagem de objetiva (STM7-MMOBAD) oferece flexibilidade, permitindo que você conecte apenas uma lente objetiva a um sistema que suporta várias objetivas. Esquerda: uma única lente objetiva está conectada usando o adaptador de montagem de objetiva. Centro: antes de conectar o revólver. Direita: várias objetivas estão conectadas usando um revólver giratório.

Para saber mais sobre nossas soluções OEM, visite o centro de recursos OEM em nosso site de ciências da vida. Aqui você pode baixar as fichas de dados do nosso dispositivo e os dados CAD 3D para obter as especificações de nossos revólveres giratórios.

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Mechanical Engineer

Shunsuke Kurata works in the mechanical engineering department at Olympus. He has been engaged in the mechanical engineering of microscope products for many years. He develops semiconductor and flat panel display (FPD) inspection equipment, and has led the development of components for microscope units.

Dezembro 21, 2021
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