Přehled
Laserový skenovací mikroskop LEXT™ OLS5100 3D
Laserový mikroskop pro analýzu materiálu
Inteligentní pracovní postup, rychlejší experimenty
Laserový mikroskop OLS5100, navržený za účelem analýza vad a výzkumu v oblasti materiálového inženýrství, kombinuje výjimečnou přesnost měření a optický výkon s inteligentními nástroji, díky kterým je tento mikroskop snadno použitelný. Změřte tvar a drsnost povrchu s přesností na submikronové úrovni rychle a efektivně tak, abyste zjednodušili svůj pracovní postup a využili data, kterým můžete důvěřovat.
Sledujte videoJednodušší experimenty v oblasti materiálového inženýrství a analýza vadChytrý správce experimentů (Smart Experiment Manager) automatizovaně zjednoduší vaše pracovní postupy 3D pozorování a analýza vad na submikronové úrovni u dosud časově náročných úkolů.
|
Zaručená přesnost měření
Objektivy mikroskopu LEXT poskytují vysoce přesná data měření. V kombinaci s chytrým pomocníkem pro objektivy (Smart Lens Advisor) lze získat přesná data, kterými si můžete být jisti.
- Zaručená přesnost měření*
- Renomovaná optika Olympus snižuje aberaci a zachycuje správný tvar vašeho vzorku v celém zorném poli
- Chytrý pomocník pro objektivy vám pomůže vybrat správný objektiv pro vaše konkrétní měření drsnosti
Snadná laserová skenovací mikroskopieDíky důmyslně navrženému softwaru je používání mikroskopu snadné pro začátečníky i zkušené uživatele.
|
Benefits
Laser Microscope Benefits | ||
1. Sub-micron 3D observation/measurement Observe steps in the nanometer range and measure height differences at the sub-micron level. | ||
2. ISO25178-compliant surface roughness measurement Measure surface roughness from linear to planar | ||
3. Non-contact, nondestructive, and fast No sample preparation required—simply place the sample on the stage and you're ready to measure. |
Reliable Data at the Push of a ButtonSmart Scan II Experienced and novice users alike can acquire data quickly and easily with the Smart Scan II feature. Place the sample on the stage, press the start button, and the microscope does the rest.
|
Measurement performance guarantee tailored to your operating environment | |
Accuracy and repeatability guaranteed | |
Surface metrology beyond the field of view *Only for OLS5100-SAF/EAF |
User-Friendly High-Resolution/High-Magnification Observation | ||
Continuous auto focus The microscope’s continuous autofocus keeps your images in focus when moving the stage or changing objectives, minimizing the need for manual adjustments. Permanent focus tracking enables you to perform observations quickly and easily. | ||
Dual DIC for nano-scale, real-time observation Detect minute damage in your sample with real-time, nanometerscale observation. Differential interference contrast (DIC) observation enables you to visualize nanometer-scale surface contours that are normally beyond the resolving power of a laser microscope. With DIC laser mode, the OLS5100 microscope can obtain live images comparable to those of an electron microscope, even when using a 5x or 10x low-power objective. | Back surface of wafer | Hard disk landing zone |
Comprehensive AnalysisMany analysis functions are available. The following is just an example, so please download the brochure or contact your Evident representative for details. | |
ISO25178 compliant areal roughness measurement The OLS5100 microscope scans the sample surface with a 0.4 μm diameter laser beam, enabling it to easily measure the surface roughness of samples that cannot be measured with contact surface roughness gauges. The ability to simultaneously acquire the color image, laser image, and 3D shape data of a surface that can't be measured with a contact surface roughness gauge expands the scope of analysis. | |
Measurement of the step between the highest and lowest points in a surface profile | Profile measurement/ Measurement assist tool The profile measurement function displays the surface profile by arbitrarily drawing a measurement line on the position to be measured on an image. It also measures the step between any two arbitrary points, width, cross-sectional area, and radius. Unlike contact-based measuring tools, setting the measured positions is easy. The measurement lines and points can be checked on the image, so even a very small site can be measured accurately. With the Measurement assist tool, the point to be measured can be correctly specified using the highest, lowest, middle, and/or mean points. When a site is specified in the acquired data, the feature points are automatically extracted according to specified conditions. |
Software
Snadná správa experimentů v oblasti materiálového inženýrství a analýzy poruch
Správa podmínek experimentu při testování nových materiálů je komplikovaná, proto chytrý správce experimentu laserového mikroskopu OLS5100 zjednodušuje proces automatizace klíčových kroků, jako je vytvoření plánu experimentu.
- Dokončete své procesy měření až o 30 % rychleji*
- Plán skenování se automaticky načte s daty tak, jak jsou získána
- Neztrácejte čas ručním přepisováním dat – software to udělá za vás
* Ve srovnání s OLS5000
Snadná organizace dat o podmínkách experimentu
Pro snadné vedení záznamů můžete v plánu experimentu kliknout na každou buňku a software automaticky vygeneruje název souboru, který obsahuje podmínky vyhodnocení. Každý soubor obsahuje přidružené obrázky a data.
Snadné nalezení problémových dat
Barevná mapa vám pomůže lépe porozumět datům k danému experimentu a ověřit, zda vám žádná data nechybí a zda neobsahují chyby. Pokud dojde k problému, lze jej v daném procesu najít rychleji a vyřešit.
Vyberte ten správný objektiv
Chytrý pomocník pro objektivy vám pomůže vybrat ten správný objektiv pro vaši aplikaci měření drsnosti povrchu. Zadejte některé základní informace – například zorné pole a objektiv, které chcete použít – a chytrý pomocník vám sdělí jejich vhodnost pro danou aplikaci.
Snadný sběr dat
Zkušení i začínající uživatelé mohou pomocí funkce chytrého skenování (Smart Scan II) získávat data snadno a rychle. Umístěte vzorek na stolek, stiskněte tlačítko „Start“ a zbytek již provede mikroskop.
Technické parametry
Hlavní jednotka
Model | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
---|---|---|---|---|---|---|
Celkové zvětšení | 54x – 17 280x | |||||
Zorné pole | 16 µm – 5 120 µm | |||||
Princip měření | Optický systém |
Konfokální laserový skenovací mikroskop pro odražené světlo
Konfokální laserový skenovací DIC mikroskop pro odražené světlo Barevný Barevný DIC | ||||
Princip měření | Zobrazující prvek světla |
Laser: fotonásobič (2 kanály)
Barva: barevná kamera CMOS | ||||
Měření výšky | Rozlišení displeje | 0,5 nm | ||||
Měření výšky | Dynamický rozsah | 16 bitů | ||||
Měření výšky | Opakovatelnost σn – 1*1 *2 *5 | 5x: 0,45 μm, 10x: 0,1 μm, 20x: 0,03 μm, 50x: 0,012 μm, 100x: 0,012 μm | ||||
Měření výšky | Přesnost *1 *3 *5 | 0,15 + L/100 μm (L: měření délky [μm]) | ||||
Měření výšky | Přesnost složeného obrazu *1 *3 *5 | 10x: 5,0 + L/100 μm, 20x a vyšší: 1,0 + L/100 μm (L: délka skládání [μm]) | ||||
Měření výšky | Šum měření (šum Sq) *1 *4 *5 | 1 nm (typ) | ||||
Měření šířky | Rozlišení displeje | 1 nm | ||||
Měření šířky | Opakovatelnost 3σn – 1 *1 *2 *5 | 5X: 0.4 μm, 10X: 0.2 μm, 20X: 0.05 μm, 50X: 0.04 μm, 100X: 0.02 μm | ||||
Měření šířky | Přesnost *1 *3 *5 | Hodnota měření ± 1,5 % | ||||
Měření šířky | Přesnost složeného obrazu *1 *3 *5 | 10x: 24 + 0,5L μm, 20x: 15 + 0,5L μm, 50x: 9 + 0,5L μm, 100x: 7 + 0,5L μm (L: délka skládání [mm]) | ||||
Maximální počet měřicích bodů v jednom měření | 4 096 × 4 096 pixelů | |||||
Maximální počet měřicích bodů | 36 megapixelů | |||||
Konfigurace stolku XY | Modul měření délky | • | Není k dispozici | Není k dispozici | • | |
Konfigurace stolku XY | Rozsah pojezdu | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in) Motorizované | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in) Manuální | 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in) Motorizované | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in) Motorizované | |
Maximální výška vzorku | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in) | 30 mm (1.2 in) | 30 mm (1.2 in) | 210 mm (8.3 in) | ||
Zdroj světla laseru | Vlnová délka | 405 nm | ||||
Zdroj světla laseru | Maximální výkon | 0,95 mW | ||||
Zdroj světla laseru | Třída laseru | Třída 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | ||||
Barevný světelný zdroj | Bílé LED osvětlení | |||||
Elektrické napájení | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
Hmotnost | Tělo mikroskopu | Cca 31 kg (68.3 lb) | Cca 32 kg (70.5 lb) | Cca 50 kg (110.2 lb) | Cca 43 kg (94.8 lb) | |
Hmotnost | Řídicí jednotka | Cca 12 kg (26.5 lb) |
*1 Zaručeno při použití při konstantní teplotě a v prostředí s konstantní teplotou (teplota 20 °C ± 1 °C, vlhkost 50 % ± 10 %) specifikovaném v normě ISO 554 (1976), JIS Z-8703 (1983).
*2 Pro 20x nebo vyšší, pokud se měří objektivy řady MPLAPON LEXT.
*3 Při měření specializovaným objektivem LEXT.
*4 Typická hodnota při měření objektivem MPLAPON100XLEXT. Může se lišit od garantované hodnoty.
*5 Garantováno v rámci certifikačního systému Olympus.
** Licence OS Windows 10 byla certifikována pro řídící jednotku poskytovanou společností Olympus. Proto jsou použity licenční podmínky společnosti Microsoft a udělujete jejich souhlas. Licenční podmínky společnosti Microsoft naleznete dále.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
Objektivy
Řada | Model | Numerická apertura (NA) | Pracovní vzdálenost (WD) (mm) |
---|---|---|---|
Objektiv UIS2 | MPLFLN2.5x | 0,08 | 10,7 |
MPLFLN5x | 0,15 | 20 | |
Dedikovaný objektiv LEXT (10x) | MPLFLN10xLEXT | 0,3 | 10,4 |
Dedikovaný objektiv LEXT (vysoce výkonný) | MPLAPON20xLEXT | 0,6 | 1 |
MPLAPON50xLEXT | 0,95 | 0,35 | |
MPLAPON100xLEXT | 0,95 | 0,35 | |
Dedikovaný objektiv LEXT (s dlouhou pracovní vzdáleností) | LMPLFLN20xLEXT | 0,45 | 6,5 |
LMPLFLN50xLEXT | 0,6 | 5,2 | |
LMPLFLN100xLEXT | 0,8 | 3,4 | |
Objektiv se super dlouhou pracovní vzdáleností | SLMPLN20x | 0,25 | 25 |
SLMPLN50x | 0,35 | 18 | |
SLMPLN100x | 0,6 | 7,6 | |
Objektiv s dlouhou pracovní vzdáleností pro LCD | LCPLFLN20xLCD | 0,45 | 8.3-7.4 |
LCPLFLN50xLCD | 0,7 | 3.0-2.2 | |
LCPLFLN100xLCD | 0,85 | 1.2-0.9 |
Aplikační software
Standardní software | OLS51-BSW | |||
---|---|---|---|---|
Standardní software | Aplikace pro sběr dat | Aplikace pro analýzu dat (základní analýza) | ||
SW modul pro aplikace motorizovaného stolku*1 | OLS50-S-MSP | |||
SW modul pro aplikace pokročilé analýzy*2 | OLS50-S-AA | |||
SW modul pro měření tloušťky vrstev | OLS50-S-FT | |||
SW modul pro automatické měření hran | OLS50-S-ED | |||
SW modul pro částicovou analýzu | OLS50-S-PA | |||
SW modul pro celkovou asistenci s experimentem | OLS51-S-ETA | |||
SW modul pro analýzu zakřivení povrchu koule/válce | OLS50-S-SA |
*1 Včetně funkcí sběru dat z automatického skládání obrazu z více rovin ostrosti a zorných polí dohromady
*2 Včetně analýzy profilů, analýzy 3D diferencí, analýzy výšky kroků, analýzy povrchů, analýzy ploch a objemů, analýzy liniové drsnosti, plošné drsnosti a histogramu.
Laserové mikroskopy Olympus
Příklad konfigurace OLS5100-SAF
OLS5100-SAF
| ||
OLS5100-EAF
| ||
OLS5100-SMF
| ||
OLS5100-LAF
|