Kontaktní ploška montážního rámečku
Kontrola drsnosti kontaktní plošky montážního rámečku
Při výrobě polovodičů je nařezaný čip integrovaného obvodu (IC) zvednut a připojen na kontaktní plošku montážního rámečku. Před konečným připojením čipu integrovaného obvodu je na kontaktní plošku naneseno lepidlo (kontaktovací pasta). V závislosti na použitém typu připojení se používá buď vodivá nebo nevodivá kontaktovací pasta. Nevodivá pasta se skládá z epoxidových, polyimidových nebo jiných pryskyřic. Má-li kontaktní ploška montážního rámečku dostatečnou drsnost, pak přilnavost nevodivé pryskyřicové pasty vzroste. Z tohoto důvodu je znalost drsnosti kontaktní plošky montážního rámečku klíčovou informací při řízení jakosti.
Existuje několik druhů přístrojů, které dokážou měřit drsnost povrchu látek, nicméně pouze některé z nich jsou vhodné pro měření drsnosti montážního rámečku.
- Kontaktní typy drsnoměrů mohou poškodit měřený povrch svým měřicím hrotem. Kromě toho je průměr špičky těchto hrotů obecně minimálně 2 µm, a proto není tento způsob měření vhodný pro mikronová měření drsnosti na předmětech menších než uvedená velikost.
- Interferometry pracující s bílým světlem mají nízké dvourozměrné rozlišení a jimi provedená měření drsnosti trojrozměrných dat XYZ mohou mít pochybnou přesnost.
Řešení Olympus: Měření drsnosti pomocí mikroskopu OLS5000
Měření drsnosti provedená 3D laserovým skenovacím mikroskopem Olympus LEXT OLS5000 jsou přesnější než pouhá data lineární drsnosti.
Výhody při měření drsnosti povrchu kontaktní plošky montážního rámečku integrovaného obvodu
Mikroskop LEXT OLS5000 nabízí při měření drsnosti kontaktní plošky montážního rámečku následující výhody:
- Měření plošné drsnosti pomocí laserového skenování vám umožní získat přesnější data ve srovnání s daty měření lineární drsnosti pořízenými kontaktním typem drsnoměru. Navíc můžete při použití funkce složení dat složit různé druhy dat vodorovně, díky čemuž můžete změřit širokou oblast plošky montážního rámečku.
- Nehrozí žádné riziko poškození kontaktní plošky, protože nedohází k žádnému kontaktu mezi mikroskopem a povrchem plošky. Nemusíte se obávat ani nižší přesnosti měření vyvolané v důsledku poškození vzorku.
- Při 3D měření drsnosti s vodorovným rozlišením 0,12 µm lze pořizovat vysoce přesná data.
- Drsnost není zaznamenávána jen ve formě číselných dat, ale je rovněž pořizována a zobrazována pomocí tří typů obrazových dat (barva, laser a výška), což vám umožňuje ověřit strukturu pohledem na číselná data ve formě obrázků.
- Mikroskop LEXT OLS5000 specifikuje měřenou oblast a měří drsnost.
Po dokončení měření je oblast větší než rovný povrch, jelikož je oblast drsnosti přidána do oblasti měření. Porovnáním měřené oblasti s větší oblastí získanou po měření je kromě výškových údajů možné získat 3D informace o povrchu.
Obrázek
Snímek měření zobrazující data plošné drsnosti
