속도

현미경의 스캔 알고리즘은 향상된 데이터 품질과 더 빠른 속도를 제공하여 스캔 시간을 줄이고 작업 흐름을 간소화하여 생산성을 향상시킵니다.

VLSI 표준 80nm 높이 샘플 (MPLFLN10XLEXT)

OLS5000 현미경에는 3D 데이터 구성을 위한 PEAK 알고리즘이 통합되어 있습니다. 이 알고리즘은 저배율에서 고배율까지 매우 정확한 데이터를 제공하고 데이터 수집 시간을 줄입니다.

전자부품 또는 MEMS와 같이 거의 수직인 평면을 포함하는 샘플에서 계단 형상을 측정 할 때 Z 방향 스캐닝 범위를 제한하여 데이터 수집 시간을 줄일 수 있습니다.
700μm 스텝은 정확도의 차이 없이 약 15초 안에 측정 할 수 있습니다 (MPLAPON20x 대물 렌즈 사용시)

• 밴드 스캔
• 단일선 데이터 획득