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技术支持

速度

快速采集结果:高速扫描

该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,最终实现生产力的提升。


PEAK算法

PEAK算法

VLSI标准80纳米高度样品(MPLFLN10XLEXT)

OLS5000显微镜采用了用于3D数据构建的PEAK算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据,并可缩短数据采集时间。


跳跃式扫描

在测量存在近似垂直面(如电子器件或MEMS)样品上的台阶形貌时,可通过限制Z方向扫描范围缩短数据采集时间。
在不降低精度的情况下,测量700微米的台阶大约在15秒左右(使用MPLAPON20x物镜时)。


其他提高速度的技术

  • 频带扫描
  • 1线数据采集

下载产品手册

包括准确性保证在内的本页面信息均基于奥林巴斯设定的条件获得。

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