Velocidade

O algoritmo de varredura do microscópio proporciona uma melhor qualidade de dados e uma velocidade superior para reduzir o tempo de varredura e simplificar seu fluxo de trabalho, resultando em uma melhor produtividade.

Amostra de 80 nm de altura padrão VLSI (MPLFLN10XLEXT)

O microscópio OLS5000 incorpora um algoritmo PEAK para construção de dados em 3D. Este algoritmo fornece dados altamente precisos, de ampliações baixas a alta, e reduz o tempo de aquisição de dados.

Ao medir a forma dos degraus em uma amostra que contém planos quase verticais, como um componente eletrônico ou MEMS, o tempo de aquisição de dados pode ser reduzido ao limitar o intervalo de varredura na direção Z.
Um degrau de 700 μm pode ser medido em cerca de 15 segundos sem degradar a precisão (quando a objetiva MPLAPON20x é usada).

• Varredura de faixa
• Aquisição de dados de 1 linha