Vitesse

L’algorithme de balayage du microscope améliore la qualité des données, réduit la durée du balayage et simplifie le flux de travaux, ce qui se traduit par une plus grande productivité.

Échantillon VLSI standard de 80 nm de hauteur (MPLFLN10XLEXT) 

Le microscope OLS5000 intègre un algorithme PEAK pour l’affichage des données en 3D. Cet algorithme fournit des données très précises, quel que soit le grossissement, et réduit le temps d’acquisition de données.

Lors de la mesure de la forme des incréments sur un échantillon contenant des plans quasi verticaux, comme un composant électronique ou un système microélectromécanique, il est possible de réduire le temps d’acquisition des données en limitant la plage de balayage dans la direction Z.
Un incrément de 700 μm peut être mesuré en 15 secondes environ sans nuire à la précision (lorsque l’objectif MPLAPON20x est utilisé). 

• Balayage par bande
• Acquisition des données en 1 ligne