Скорость

Алгоритм сканирования, заложенный в микроскопе, обеспечивает более высокую точность данных и производительность для снижения времени сканирования, упрощения рабочего процесса и повышения эффективности работы.

Стандартный образец высотой 80 нм VLSI (MPLFLN10XLEXT) 

Микроскоп OLS5000 имеет встроенный пиковый алгоритм сканирования для построения 3D-изображений. Данный алгоритм позволяет получить высокоточные данные при большом и малом увеличении и значительно сокращает время сбора данных.

При измерении формы выступов на образце, содержащем почти вертикальные плоскости (например, электронный компонент или МЭМС), можно сократить время сбора данных, пропустив ненужный диапазон сканирования в направлении оси Z.
Выступ 700 мкм может быть измерен приблизительно за 15 секунд без ущерба для точности (при использовании объектива MPLAPON20x). 

• Полосовое сканирование
• Построчный сбор данных