サポート
スピード
最高のデータをかつてないスピードで： 高速スキャン
新開発の先進アルゴリズムにより、測定結果の精度の向上と測定スピードの向上という相反するニーズの両立を実現。これにより、検査と解析時間の大幅な短縮、さらに生産性の向上にも貢献します。 |
PEAK アルゴリズム
VLSI スタンダード80nm高さ標準サンプル (MPLFLN10XLEXT) | OLS5000は、3Dデータ構築に新開発のPEAKアルゴリズムを搭載しました。これにより、低倍率から高倍率まで高精度なデータが得られるだけでなく、データ取得時間の大幅な短縮も実現しました。 |
スキップスキャン
垂直に近い面を含んだサンプルの段差形状測定時に、Z方向の不要なスキャン範囲をスキップすることでデータ取得時間を大幅に短縮可能です。精度を落とすことなく100μmの段差なら約10秒で測定可能です。（MPLAPON50XLEXT使用時） |
すばやくデータを取得するためのさらなる技術
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本ページの記載内容および精度保証値は、当社指定の条件での特性および値です。詳細は取扱説明書をご確認ください。
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