Velocità

L'algoritmo di scansione del microscopio offre una migliore qualità dei dati e una maggiore velocità per ridurre i tempi di scansione e semplificare il flusso di lavoro, migliorando la produttività.

Campione VLSI standard con altezza di 80 nm (MPLFLN10XLEXT) 

Il microscopio OLS5000 integra un algoritmo di PICCO per la costruzione di dati 3D. Questo algoritmo fornisce dati estremamente precisi da ingrandimenti bassi a elevati e riduce il tempo di acquisizione dei dati.

Quando si misura la forma dei passi su un campione contenente piani quasi verticali, per esempio componenti elettronici o MEMS, il tempo di acquisizione dei dati può essere ridotto limitando il raggio di scansione in direzione Z.
Un passo di 700 μm può essere misurato in circa 15 secondi senza ridurre la precisione (quando si utilizza l'obiettivo MPLAPON20x).

• Scansione della banda
• Acquisizione dei dati su una riga