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Microscopes industriels
Vue d’ensemble

Composants de microscope compacts de haute qualité

La série BXC comprend les composants de microscope de haute qualité d’Evident que vous connaissez et auxquels vous faites confiance, mais les propose dans un format compact, installable et configurable. Ces dispositifs opto-mécaniques prêts à l’emploi peuvent être intégrés dans vos instruments et appareils scientifiques.

Quelle configuration allez-vous créer ?

Partie intégrante de notre série de microscopes BX, les composants de microscope BXC sont compacts et sont conçus pour l’intégration et le développement OEM. Leur polyvalence et leur modularité en font un bon choix pour les opérations d’inspection ou d’imagerie, comme la vérification de l’alignement de wafers, la mesure de bosses et l’assemblage d’images.

Exemples de configuration de la série BXC

BX53M

Système BXC-CBRML

Système BXC-CBB

Microscope classique

BX53M

Entrée de gamme
Économie d’espace avec un seul objectif d’observation en fond clair

Entrée de gamme

Polyvalent
Systèmes de base compacts

Polyvalent

Avancé
Systèmes entièrement motorisés pour salles blanches

Système BXC-CBB

En savoir plus

Objectifs haute performance

Ouverture numérique élevée combinée à une grande distance frontale

Les objectifs jouent un rôle essentiel dans la performance d’un microscope. Les objectifs MXPLFLN ajoutent de la profondeur à la série MPLFLN pour l’imagerie par épi-éclairage en augmentant simultanément l’ouverture numérique et la distance frontale. Pour obtenir des résolutions élevées à des grossissements de 20X et 50X, il faut généralement travailler à des distances frontales plus courtes, ce qui oblige à rétracter l’échantillon ou l’objectif pendant l’échange d’échantillons et à manipuler lentement les échantillons pendant l’observation. Dans de nombreux cas, la distance frontale de 3 mm de la série MXPLFLN élimine ce problème, ce qui permet des inspections plus rapides avec moins de risque de toucher l’échantillon.

Amélioration de la planéité de l’image

Nous avons amélioré la planéité d’image des objectifs MPLFLN 2,5X, 5X et 5X en fond clair/fond noir, ce qui accélère l’obtention d’images assemblées à de faibles grossissements. Pour améliorer la cadence d’observation en fond noir, nous avons ajouté à la série un objectif 2,5X pour observations en fond clair/fond noir, l’objectif MPLFLN2.5XBD.

Large plage spectrale

Du visible au proche infrarouge, notre technologie avancée de fabrication et de revêtement optique apporte aux utilisateurs et aux fabricants une variété de combinaisons d’objectifs et de lentilles de tube qui leur permettent d’atteindre plus facilement les spécifications dont ils ont besoin pour leurs systèmes grâce à des produits standardisés.

Courbes de transmittance des trois objectifs disponibles

Contrôle de l’aberration du front d’onde

Des processus haut de gamme sont utilisés lors de la fabrication des objectifs de la série MXPLFLN, comme la sélection de systèmes de lentilles dont l’aberration du front d’onde est contrôlée. Ce processus réduit au minimum la variation des performances de ces objectifs.

Découvrir la série MXPLFLN

En savoir plus sur la série MXPLFLN

En savoir plus sur la série MXPLFLN-BD

Options avancées pour la conception et l’automatisation des systèmes

Lentilles de tube

Obtention de l’image optimale

Faites votre choix parmi cinq lentilles de tube pour répondre aux spécificités d’un grand nombre d’applications.

En savoir plus sur les lentilles de tube

Fond noir directionnel polyvalent

Le fond noir est utilisé pour observer la lumière qui est diffusée ou diffractée à partir d’un échantillon, comme lorsqu’il y a des rayures ou des défauts sur une surface miroir ou un wafer de semi-conducteur. Le module coulissant MIX permet d’améliorer les observations en fond noir, et ce, sans grands composants optiques spécialisés, grâce à 16 LED individuellement réglables qui vous permettent de contrôler la direction de la lumière éclairant l’échantillon. En outre, ce mode d’observation en fond noir directionnel obtenu au moyen d’un module coulissant MIX peut être combiné à une observation en fond clair, en lumière polarisée simple ou en fluorescence.

Module coulissant MIX (vue du dessus)
U-MIXR-2

Module coulissant MIX ((vue du dessous)
U-MIXR-2

Fond noir
 

MIX avec fond clair
 

Grand choix de tourelles porte-objectifs rotatives

L’augmentation de la demande d’automatisation des systèmes entraîne une augmentation de la demande en tourelles porte-objectifs rotatives motorisées. Avec les tourelles porte-objectifs rotatives motorisées à cinq et six positions U-D5BDREMC et U-D6BDREMC, Evident a prouvé qu’il était à la hauteur en matière de performances. Maintenant, la tourelle porte-objectifs rotative motorisée de classe 1 U-D5BDREMC-V, compatible avec les salles blanches, élimine par aspiration la poussière et autres particules. Les tourelles porte-objectifs rotatives manuelles, codées et centrables ainsi que les adaptateurs pour objectif unique peuvent être intégrés aux systèmes BXC.

Tourelle porte-objectifs rotative BD motorisée avec fonction d’aspiration U-D5BDREMC-VA

Adaptateur d’objectif de mesure STM7-MMOBAD

Unité de détection de mise au point automatique

L’unité BXC-FSU utilise un laser de classe 1* qui assure une détection multipoint active pour surveiller la direction de la position focale et l’état de la mise au point. Ce capteur fonctionne bien pour les échantillons à faible contraste comme les wafers vierges. Un algorithme unique produit un signal de mise au point stable, quel que soit le grossissement de l’objectif et le bruit causé par la lumière périphérique. Le manuel de référence pour les commandes, le manuel d’instructions et un logiciel de démonstration sont disponibles sur notre site Web. Les manuels d’application sont disponibles à la demande.

* L’unité contient un laser de classe 1, donc aucune mesure de sécurité supplémentaire n’est requise.

 

Unité de détection de mise au point automatique BXC-FSU

Boîtier de commande compact

Les boîtiers de commande BXC-CBRML et BXC-CBB ont un faible encombrement, n’ont pas de ventilateur et offrent diverses options d’installation (p. ex. au mur ou au plafond). Selon le boîtier de commande, des composants comme le module coulissant MIX, le système d’éclairage, la tourelle porte-objectifs rotative motorisée et la source de lumière LED peuvent être intégrés et contrôlés à l’aide de votre logiciel.

 

En apprendre plus

Nous offrons un large éventail de ressources documentaires pour accompagner nos clients OEM. Cliquez ici pour consulter notre page de ressources OEM, où vous trouverez des brochures, des manuels, des téléchargements de logiciels et d’autres contenus utiles.

Boîtier de commande BXC-CBRML

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