Функциональность
Инструменты для наблюдения и анализа
- Передовые аналитические инструменты
- Усовершенствованная конструкция для обеспечения соответствия нормам чистого помещения
Передовые аналитические инструменты
Универсальные функциональные возможности оборудования серии MX63 позволяют получить четкие изображения, с помощью которых пользователь может точно определить дефекты в образцах. Новые технологии освещения и опции визуализации в ПО для анализа изображений PRECiV предоставляют пользователю больше инструментов для оценки образцов и регистрации обнаруженных несоответствий.
Невидимое становится видимым: получение изображений в смешанном режиме наблюдения (MIX)
Технология наблюдения в режиме MIX позволяет получать уникальные изображения за счет объединения метода темного поля со светлым полем, флуоресценцией или поляризацией. Наблюдение в режиме MIX обеспечивает пользователю возможность обнаружить дефекты, которые сложно определить с помощью обычного микроскопа. Круговая светодиодная лампа, которая используется для метода темного поля, обладает функцией направленного темного поля - в данный момент времени освещается только один участок. Это уменьшает ореолообразование вокруг образца и помогает рассмотреть текстуру поверхности.
Структура полупроводниковой пластины
|
|
|
|
| ||
Структура ИС выглядит нечеткой. | Цвет пластины не виден. | Четко видна структура ИС и цвет пластины. |
Остаточный фоторезист на полупроводниковой пластине
|
|
|
|
| ||
Сам образец не виден. | Остаточное вещество отображено не четко. | Четко представлен образец ИС и остаточное вещество. |
Конденсор
|
|
|
|
| ||
На поверхности имеются блики. | Несколько изображений, полученных методом направленного темного поля под разными углами. | После сшивания нескольких четких безбликовых изображений получается одно качественное изображение образца. |
Создание панорамных изображений: функция MIA
Благодаря совмещению нескольких изображений (MIA) пользователи могут легко и быстро склеивать изображения, просто перемещая ручки KY на ручном столике — моторизованный столик не нужен. ПО PRECiV использует технологию распознавания контуров для формирования панорамного изображения, обеспечивая более широкое поле обзора.
Изображение монеты, полученное с помощью функции MIA
Создание полностью сфокусированных изображений: EFI
Функция расширенного фокального изображения (EFI) в ПО PRECiV выполняет захват изображений образцов, высота которых выходит за пределы глубины резкости объектива, и соединяет все полученные изображения для формирования одного сверхчеткого изображения. Функция EFI может использоваться как с механическим, так и с моторизованным предметным столиком с возможностью перемещения по оси Z, и формирует карту высот для облегчения визуализации структуры образца. На рабочем столе ПО Stream EFI-изображение можно сформировать даже в автономном режиме.
Выпуклость стержня на интегральной микросхеме
HDR: Захват светлых и темных участков
С помощью усовершенствованной технологии обработки изображений функция расширенного динамического диапазона (HDR) корректирует перепады яркости на изображении для устранения бликов. HDR повышает визуальное качество цифровых изображений, способствуя таким образом созданию более профессиональных отчетов.
|
|
|
|
|
| |||
Некоторые зоны дают отблеск. | HDR четко выделяет темные и светлые области. | Матрица TFT затемнена из-за яркости цветного фильтра. | HDR выводит детали TFT-матрицы. |
От базовых измерений к расширенным аналитическим функциям
Измерение имеет важное значение для обеспечения контроля качества. Именно поэтому даже базовый пакет программного обеспечения PRECiV включает полное меню интерактивных измерительных функций, и все результаты измерений сохраняются наряду с изображениями для обеспечения возможности составления документации в дальнейшем. Кроме того, решение PRECiV для исследований в области материаловедения предлагает интуитивно понятный, ориентированный на рабочий процесс интерфейс для комплексного анализа изображений. Аналитические задачи выполняются быстро и точно, одним нажатием клавиши. Значительное снижение времени обработки повторяющихся задач позволяет оператору сосредоточиться на самом исследовании.
Базовые измерения (рельеф печатной платы) |
Решение для исследования рассеивающей способности (поперечное сечение сквозного отверстия печатной платы) |
Решение для автоматического измерения (структура полупроводниковой пластины) |
Быстрое создание отчетов
Создание отчета может занять больше времени, чем захват изображения и выполнение измерений. Программное обеспечение PRECiV имеет набор понятных функций для составления профессиональных отчетов на базе заданных шаблонов. Редактировать эти шаблоны легко, далее отчеты могут быть экспортированы в Microsoft Word или PowerPoint. Кроме того, функция составления отчетов в ПО PRECiV позволяет выполнять цифровое масштабирование и увеличивать полученные изображения. Размер файлов отчетов позволяет без особого труда отправлять их по электронной почте.
Усовершенствованная конструкция для обеспечения соответствия нормам чистого помещения
Оборудование серии MX63 рассчитано на эксплуатацию в условиях чистого помещения и оснащено функциями, позволяющими снизить риск заражения и повреждения образцов. Эргономичная конструкция системы обеспечивает комфорт пользователя даже при длительной работе. Оборудование серии MX63 соответствует международным техническим требованиям и стандартам, включая нормы SEMI S2/S8, CE и UL.
Совместимость с дополнительным устройством ввода пластины — Система AL120*
Оборудование серии MX63 позволяет подключить дополнительное устройство ввода пластины для безопасного перемещения как кремниевых, так и составных полупроводниковых пластин из кассеты в микроскоп без использования щипцов или зондов. Признанная производительность и надежность позволяют безопасно и эффективно выполнять контроль лицевой и задней поверхности образца на макро уровне, а устройство ввода повышает скорость работы в лаборатории.
MX63 с устройством ввода пластин AL120 (версия 200 мм)
* Устройство AL120 не доступно в регионе EMEA.
Быстрый контроль в условиях чистых помещений
Оборудование серии MX63 обеспечивает проведение контроля пластин с защитой от загрязнений. Все моторизованные компоненты заключены в защищенные корпусы; для рамы микроскопа, тубусов, защитного экрана и других деталей применяется антистатическая обработка. Скорость вращения и уровень безопасности моторизованных револьверных головок выше, чем у головок с ручным вращением, что снижает время простоя между процедурами контроля, устраняя необходимость касания пластины оператором и снижая вероятность загрязнения.
Защитный экран с антистатической обработкой |
Моторизованная револьверная головка |
Конструкция системы создана для эффективного наблюдения
Для предметного столика XY доступны опции как грубого, так и точного перемещения, благодаря сочетанию встроенной муфты и рукояток управления движением по осям XY. Строение столика позволяет повысить эффективность наблюдения даже крупных образцов, например, 300-мм полупроводниковых пластин.
Наклонный тубус с возможностью телескопического удлинения дает оператору возможность расположиться в удобной для работы позе.
Рукоятка управления столиком со встроенной муфтой |
Возможность изменения угла наклона позволяет оператору занять удобное положение. |
Совместимость со всеми размерами пластин
Держатели полупроводниковых пластин и стеклянные пластины | Система подходит для работы с различными типами держателей пластин 150–200 мм и 200–300 мм и стеклянными пластинами. Если на производстве размер пластины будет изменен, раму микроскопа можно заменить без больших финансовых затрат. В микроскопах серии MX63 могут использоваться различные типы столиков для крепления пластин с размерами 75, 100, 125 и 150 мм на линии контроля. |
