Visão geral
Microscópio de varredura a laser 3D LEXT™ OLS5100
Microscópio a laser para análise de materiais
Fluxo de trabalho inteligente, experimentos mais rápidos
Construído para análise de falhas e pesquisa de engenharia de materiais, o microscópio a laser OLS5100 combina precisão de medição excepcional e desempenho óptico com ferramentas inteligentes que tornam o microscópio fácil de usar. Meça com precisão a forma e a rugosidade da superfície no nível submicron de forma rápida e eficiente para simplificar seu fluxo de trabalho com dados nos quais você pode confiar.
Assista ao vídeoEngenharia de materiais mais fácil e experimentos de análise de falhasO Smart Experiment Manager torna seus fluxos de trabalho de experimentos de observação em 3D submicrônico e análise de falhas mais simples, automatizando tarefas que antes consumiam tempo.
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Precisão de medição garantida
As objetivas do microscópio LEXT fornecem dados de medição altamente precisos. Emparelhado com o Smart Lens Advisor, você pode adquirir dados precisos nos quais pode confiar.
- Precisão de medição garantida*
- A renomada óptica Olympus reduz a aberração para capturar a forma correta de sua amostra em todo o campo de visão
- O Smart Lens Advisor ajuda você a escolher a lente objetiva certa para sua medição de rugosidade
Microscopia de varredura a laser fácilUsar o microscópio é fácil para usuários novatos e experientes, graças ao software cuidadosamente projetado.
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Benefits
Laser Microscope Benefits | ||
1. Sub-micron 3D observation/measurement Observe steps in the nanometer range and measure height differences at the sub-micron level. | ||
2. ISO25178-compliant surface roughness measurement Measure surface roughness from linear to planar | ||
3. Non-contact, nondestructive, and fast No sample preparation required—simply place the sample on the stage and you're ready to measure. |
Reliable Data at the Push of a ButtonSmart Scan II Experienced and novice users alike can acquire data quickly and easily with the Smart Scan II feature. Place the sample on the stage, press the start button, and the microscope does the rest.
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Measurement performance guarantee tailored to your operating environment | |
Accuracy and repeatability guaranteed | |
Surface metrology beyond the field of view *Only for OLS5100-SAF/EAF |
User-Friendly High-Resolution/High-Magnification Observation | ||
Continuous auto focus The microscope’s continuous autofocus keeps your images in focus when moving the stage or changing objectives, minimizing the need for manual adjustments. Permanent focus tracking enables you to perform observations quickly and easily. | ||
Dual DIC for nano-scale, real-time observation Detect minute damage in your sample with real-time, nanometerscale observation. Differential interference contrast (DIC) observation enables you to visualize nanometer-scale surface contours that are normally beyond the resolving power of a laser microscope. With DIC laser mode, the OLS5100 microscope can obtain live images comparable to those of an electron microscope, even when using a 5x or 10x low-power objective. | Back surface of wafer | Hard disk landing zone |
Comprehensive AnalysisMany analysis functions are available. The following is just an example, so please download the brochure or contact your Evident representative for details. | |
ISO25178 compliant areal roughness measurement The OLS5100 microscope scans the sample surface with a 0.4 μm diameter laser beam, enabling it to easily measure the surface roughness of samples that cannot be measured with contact surface roughness gauges. The ability to simultaneously acquire the color image, laser image, and 3D shape data of a surface that can't be measured with a contact surface roughness gauge expands the scope of analysis. | |
Measurement of the step between the highest and lowest points in a surface profile | Profile measurement/ Measurement assist tool The profile measurement function displays the surface profile by arbitrarily drawing a measurement line on the position to be measured on an image. It also measures the step between any two arbitrary points, width, cross-sectional area, and radius. Unlike contact-based measuring tools, setting the measured positions is easy. The measurement lines and points can be checked on the image, so even a very small site can be measured accurately. With the Measurement assist tool, the point to be measured can be correctly specified using the highest, lowest, middle, and/or mean points. When a site is specified in the acquired data, the feature points are automatically extracted according to specified conditions. |
Software
Engenharia de materiais simples e gerenciamento de experimentos de análise de falhas
Gerenciar as condições do experimento ao testar novos materiais é complicado, portanto, o Smart Experiment Manager do microscópio a laser OLS5100 simplifica o processo, automatizando etapas importantes, como a criação do plano de experimento.
- Conclua suas tarefas de medição até 30% mais rápido*
- O plano de varredura é preenchido automaticamente com os dados conforme são adquiridos
- Não perca tempo transcrevendo dados — o software faz isso por você
*Comparado com OLS5000
Organização de dados de condição de experiência fácil
Você pode clicar em cada célula no plano de experimento, e o software irá gerar automaticamente um nome de arquivo que contém as condições de avaliação para fácil manutenção de registros. Cada arquivo contém as imagens e dados associados.
Encontre problemas de dados facilmente
Um mapa de cores ajuda você a entender os dados do seu experimento e verificar se nenhum dado está faltando e se não há erros. Se houver um problema, você pode localizar e corrigi-lo no início do processo.
Escolha a lente objetiva certa
O Smart Lens Advisor ajuda você a escolher a lente objetiva certa para sua aplicação de medição de rugosidade de superfície. Insira algumas informações básicas — como o campo de visão e as lentes que você deseja usar — e o consultor dirá o quão adequado é para o aplicativo.
Fácil aquisição de dados
Usuários experientes e novatos podem adquirir dados de forma rápida e fácil com o recurso Smart Scan II. Coloque a amostra na platina, pressione o botão iniciar e o microscópio faz o resto.
Especificações
Unidade principal
Modelo | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
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Ampliação total | 54x–17,280x | |||||
Campo de visão | 16 µm–5,120 µm | |||||
Princípio de medição | Sistema óptico |
Microscópio de varredura a laser confocal de tipo refletivo
Microscópio de contraste de interferência diferencial (DIC) a laser de varredura a laser confocal de tipo refletivo Cor Contraste de interferência diferencial (DIC) colorido | ||||
Princípio de medição | Elemento receptor de luz |
Laser: Fotomultiplicador (2 canais)
Cor: câmera colorida CMOS | ||||
Medição da altura | Resolução da tela | 0,5 nm | ||||
Medição da altura | Variação dinâmica | 16 bits | ||||
Medição da altura | Repetibilidade σn-1*1 *2 *5 | 5X: 0,45 μm, 10X: 0,1 μm, 20X: 0,03 μm, 50X: 0,012 μm, 100X: 0,012 μm | ||||
Medição da altura | Precisão *1 *3 *5 | 0,15+L/100 μm (L: Comprimento de medição [μm]) | ||||
Medição da altura | Precisão para imagem unida *1 *3 *5 | 10X: 5,0 + L/100 μm, 20X ou superior: 1,0 + L/100 μm (L: comprimento do ponto [μm]) | ||||
Medição da altura | Ruído de medição (Ruído Sq) *1 *4 *5 | 1 nm (Tipo) | ||||
Medição da largura | Resolução da tela | 1 nm | ||||
Medição da largura | Repetibilidade 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0.4 μm, 10X: 0.2 μm, 20X: 0.05 μm, 50X: 0.04 μm, 100X: 0.02 μm | ||||
Medição da largura | Precisão *1 *3 *5 | Valor de medição +/- 1,5% | ||||
Medição da largura | Precisão para imagem unida *1 *3 *5 | 10X: 24 + 0,5 L μm, 20X: 15 + 0,5 L μm, 50X: 9 + 0,5 L μm, 100X: 7 + 0,5 L μm (L: Comprimento do ponto [mm]) | ||||
Número máximo de pontos de medição em uma única medição | 4.096 píxeis × 4.096 píxeis | |||||
Número máximo de pontos de medição | 36 megapíxeis | |||||
Configuração da platina XY | Módulo de medição do comprimento | • | AN | AN | • | |
Configuração da platina XY | Intervalo operacional | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pol.) Motorizado | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pol.) Manual | 300 × 300 mm (11,8 × 11,8 pol.) Motorizado | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pol.) Motorizado | |
Altura máxima da amostra | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pol.) | 30 mm (1,2 pol.) | 30 mm (1,2 pol.) | 210 mm (8,3 pol.) | ||
Fonte de luz laser | Comprimento de onda | 405 nm | ||||
Fonte de luz laser | Saída máxima | 0,95 mW | ||||
Fonte de luz laser | Classe de laser | Classe 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | ||||
Cor da fonte de luz | LED branco | |||||
Potência elétrica | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
Massa | Corpo do microscópio | Aprox. 31 kg (68,3 lb) | Aprox. 32 kg (70,5 lb) | Aprox. 50 kg (110,2 lb) | Aprox. 43 kg (94,8 lb) | |
Massa | Caixa de comando | Aprox. 12 kg (26,5 lb) |
*1 Garantido quando usado em temperatura constante e ambiente de temperatura constante (temperatura: 20˚C ± 1˚C, umidade: 50% ± 10%) especificado em ISO554 (1976), JIS Z-8703 (1983).
*2 Para 20x ou superior, quando medido com as objetivas da série MPLAPON LEXT.
*3 Quando medido com a objetiva LEXT dedicada.
*4 Valor típico quando medido com a objetiva MPLAPON100XLEXT e pode diferir do valor garantido.
*5 Garantido ao abrigo do Sistema de certificado da Olympus.
** A licença do sistema operacional Windows 10 foi certificada para o controlador de microscópio (PC) fornecido pela Olympus. Logo, os termos de licença da Microsoft se aplicam e você concorda com os termos. Consulte o seguinte para visualizar os termos de licença da Microsoft.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
Objetivas
Série | Modelo | Abertura numérica (A.N.) | Distância de trabalho (DT) (mm) |
---|---|---|---|
Lente objetiva UIS2 | MPLFLN2.5x | 0,08 | 10,7 |
MPLFLN5x | 0,15 | 20 | |
Lente objetiva LEXT dedicada (10X) | MPLFLN10xLEXT | 0,3 | 10,4 |
Lente objetiva LEXT dedicada (tipo de alto desempenho) | MPLAPON20xLEXT | 0,6 | 1 |
MPLAPON50xLEXT | 0,95 | 0,35 | |
MPLAPON100xLEXT | 0,95 | 0,35 | |
Lente objetiva dedicada LEXT (tipo distância de trabalho longa) | LMPLFLN20xLEXT | 0,45 | 6,5 |
LMPLFLN50xLEXT | 0,6 | 5,2 | |
LMPLFLN100xLEXT | 0,8 | 3,4 | |
Lente de grande distância de trabalho | SLMPLN20x | 0,25 | 25 |
SLMPLN50x | 0,35 | 18 | |
SLMPLN100x | 0,6 | 7,6 | |
Lente de distância de trabalho longa para LCD | LCPLFLN20xLCD | 0,45 | 8.3-7.4 |
LCPLFLN50xLCD | 0,7 | 3.0-2.2 | |
LCPLFLN100xLCD | 0,85 | 1.2-0.9 |
Software de aplicação
Software padrão | OLS51-BSW | |||
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Software padrão | Aplicativo de aquisição de dados | Aplicativo de análise (análise simples) | ||
Aplicação de embalagem de platina motorizada *1 | OLS50-S-MSP | |||
Aplicação de análise avançada*2 | OLS50-S-AA | |||
Aplicação de medição de espessura da película | OLS50-S-FT | |||
Aplicação automática de medição de limite | OLS50-S-ED | |||
Aplicação de análise de partículas | OLS50-S-PA | |||
Aplicativo experimental de assistência total | OLS51-S-ETA | |||
Aplicação de análise do ângulo de superfície da esfera/cilindro | OLS50-S-SA |
*1 Inclui funções de aquisição de dados de união automática e de múltiplas áreas.
*2 Inclui análise do perfil, análise de diferenças, análise da altura do degrau, análise da superfície, análise da área/volume, análise da rugosidade da linha, análise da rugosidade da área e análise de histogramas.
Microscópio a laser Olympus
Exemplo de configuração do OLS5000-SAF
OLS5100-SAF
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OLS5100-EAF
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OLS5100-SMF
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OLS5100-LAF
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