반사 조명

광학 현미경은 야금이나 광물 표본, 반도체 웨이퍼 등 '불투명 표본'을 관찰하기 위해 대물 측에서 표본에 조명을 조사합니다. 일반적인 정립 반사 조명 현미경(그림 1)의 경우 현미경 본체와 관찰 튜브 사이에 반사 조명 장치가 적용된 구성을 활용합니다. 해당 반사 조명 광학 시스템(그림 2)은 쾰러 조명 시스템을 구성하며, 집광 렌즈에 광원에서 나온 광선을 먼저 통과시켜 구경 조리개 위치에서 광원 이미지를 형성합니다. 2차 광원으로서 이 광원 이미지는 시야 조리개와 시야 렌즈를 통과하여 대물 렌즈의 동공 위치에 집중되어 광축을 기준으로 45도 각도로 배치된 반투명 미러에 반사됩니다. 3차 광원으로서 이 이미지를 사용하여 대물 렌즈는 콘덴서의 역할을 수행하며, 텔레센트릭 시스템의 표본면에 조명을 조사합니다. 표본면에 반사된 광선은 대물 렌즈를 다시 통과한 이후 이미지를 형성하는 광학 시스템을 통과합니다.

그림 1. 정립 반사 조명 현미경 및 반사 조명 튜브

그림 2. 반사 조명 광학 시스템의 광학 구성

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