반사 광시야 관찰

표본에서 직접 반사되는 빛을 관찰하는 기술입니다.
광원에서 생성된 빛은 대물 렌즈를 통해 수직으로 표본에 입사됩니다. 이 때 표본에서 반사되는 빛이 대물렌즈를 통해 관찰됩니다.

실리콘 웨이퍼

쾰러 조명

컬렉터 렌즈가 주 광원에서 수집한 빛은 AS(구경 조리개) 위치에 이미지를 형성합니다. 이 이미지는 2차 광원의 역할을 하여 대물 렌즈의 출구 동공 위치에 이미지를 재현하고 표본 표면에 텔레센트릭(평행광)
조명을 비춥니다. 이는 일반적으로 '쾰러 조명(Koehler Illumination)'으로 불리며, 2개의 특징을 가지고 있습니다. 첫번째 특징은 밝기와 일관성이며 두번째 특징은 AS와 FS(시야 조리개)의 설정을 독립적으로 변경할 수 있다는 점입니다.

FS의 효과

FS 설정은 경계부분의 시야를 조정하여 형성된 빛이 반사된 빛의 영향을 받지 않도록 합니다. 이는 이미지 전체의 플레어를 제거하는데 효과적입니다.

AS의 효과

AS는 조명 N.A. 조정 또는 이미지의 대비를 변경하는데 효과적입니다. 일반적으로 조리개를 통해 대물 렌즈 동공 직경을 약 80%로 조정하는 것으로 최고의 대비를 얻을 수 있습니다. 그러나 100x 이상의 배율을 가진 대물 렌즈를 사용할 경우, 조리개를 통해 대물 렌즈 동공 직경을 50% 미만으로
조정하면 더 높은 수준의 대비를 가진 이미지를 얻을 수 있습니다.

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