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현미경 솔루션
신뢰성

믿을 수 있는 턴키 시스템 솔루션:
높은 재현성을 위한 자동화 및 정확성

CIX100 시스템은 자동 청정도 검사 요구를 충족하기 위해 설계된 턴키 솔루션입니다. 각 구성 요소는 높은 처리량 시스템에서 믿을 수 있는 데이터의 정확도, 재현성, 반복성 및 원활한 통합을 목표로 최적화되었습니다. 이 시스템은 원형 및 직사각형 샘플 영역을 빠르게 검사할 수 있도록 탁월한 광학 성능을 제공합니다. 중요한 작업의 자동화는 인적 오류와 샘플 오염 위험을 줄이면서 검사 속도를 높이는 데 도움이 됩니다.

높은 재현성을 위한 자동화 및 정확성

  1. 재현 가능한 이미징 조건(카메라 커버)

    원치 않는 오정렬을 방지하기 위해 보호된 카메라 정렬을 통한 최고의 재현성.

  2. 혁신적인 편광법(검출 장치)

    단일 스캔에서 반사(금속) 및 비반사 입자를 모두 검출합니다.

  3. 재현 가능한 측정 조건

    자동 초점 드라이브는 검출된 오염물을 쉽게 재조사할 수 있도록 재현 가능한 위치 지정을 지원합니다.

  4. 입증된 내구성(스테이지/스테이지 인서트)

    스테이지 인서트는 안전한 멤브레인 위치를 유지하고, 통합된 보정 도구 또는 두 번째 샘플의 추가 인서트가 특징입니다.

  1. 탁월한 광학 품질(현미경)

    잘 알려진 UIS2 대물렌즈와 고해상도 카메라는 탁월한 이미지 품질과 정확한 측정 기능을 제공합니다.

  2. 사용 용이성(소프트웨어)

    사용하기 쉬운 소프트웨어는 전체 검사 프로세스 내내 사용자를 안내하며, 생산성 향상 및 오류 최소화에 도움이 됩니다. 인터페이스에는 마우스로 클릭하기 쉬운 커다란 버튼 또는 터치스크린 모니터가 있습니다.

  3. 고성능(워크스테이션)

    샘플을 스캔하는 동안, 시스템이 오염물을 분류 및 계수하여 색상 변화를 통해 시각적인 피드백을 직접 제공합니다. 시스템은 경우에 따라 제한치를 초과할 경우 청각 경고 신호를 방출할 수 있습니다.

시스템 다용성을 높여주는 샘플 홀더

CIX100 시스템은 원형 또는 직사각형 검사 영역을 갖춘 다양한 샘플 홀더를 지원합니다. 여기에는 직경이 25mm, 47mm, 55mm인 필터 멤브레인용 흰색 또는 검은색 배경의 홀더가 포함됩니다(테이프 리프트 샘플링용 홀더, 야금 분야용 평평한 표면이 있는 홀더, 입자 트랩용 홀더).

직경 25mm(왼쪽), 47mm(가운데) 및 55mm(오른쪽)인 필터 멤브레인을 위한 흰색 및 검은색 배경의 원형 샘플 홀더.

입자 트랩용 샘플 홀더

테이프 리프트 샘플링을 위한 샘플 홀더

일괄 스캔 후 여러 샘플을 직접 검토

CIX100 시스템은 한 번에 여러 샘플을 검사할 수 있는 배치 모드를 제공합니다. 각 샘플을 유사한 검사 설정으로 스캔하거나 개별 설정으로 스캔할 수 있습니다. 검사 후 각 샘플의 결과를 개별적으로 검토하고 보고서를 생성할 수 있습니다.


재현성 및 반복성

재현성 및 반복성

청정도 검사 워크플로는 쉽기 때문에 경험이 없는 작업자도 정확하고 반복 가능한 결과를 달성할 수 있습니다. 사전 구성 및 보정된 시스템, 사용자 권한 관리 및 정규 시스템 자가 점검은 작업자나 시스템과 관계없이 재현 가능한 검사 데이터에 대한 설정이 올바른지 확인하는 데 도움이 됩니다. 결과적으로 다수의 부서 및 현장은 다른 위치에서 동일한 품질 표준을 적용할 수 있습니다.

도표는 프로세스 성능 지수(Ppk)를 사용해 측정 안정성과 반복성을 검증하여 CIX100 시스템의 정밀도를 보여줍니다. 5배 및 10배 배율에서 동일한 샘플을 10번 측정하고 일반적인 크기 등급에서 입자 수를 추출했습니다. 도표는 E 등급(50~100μm)에서 Cpk 및 Ppk 평가를 보여줍니다.


탁월한 광학 품질

당사의 UIS2 대물렌즈는 탁월한 측정 및 분석 정확도를 위해 높은 광학적 성능을 제공합니다. 전용 광원은 청정도 검사에 최적화된 색온도를 일관되게 유지합니다.


최적화된 재현성

최적화된 재현성

사전 구성되고 사전 보정된 본 시스템에는 정규 시스템 검증을 지원하는 통합된 보정 슬라이드가 포함된 자동 시스템 자가 점검 미리 알림 기능이 있습니다.


안정적인 측정 시스템

안전한 설정

광학 경로 정렬, 전동식 노즈피스 및 카메라는 의도치 않게 수정되는 것을 방지하기 위해 커버로 보호됩니다. 더 큰 안정성을 위해 모든 이동식 부품이 광학 경로에서 제거됩니다. 

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