LEXT OLS4100
측정 정밀도 향상
전용 대물 렌즈에 의한 수차 억제
 LEXT 전용 대물 랜즈 | 이상적인 렌즈는 한 점에서 나온 빛이 렌즈를 통과해 한 점에 초점을 맺는 렌즈입니다. 그러나 현실에서는 이상의 상과 실제의 상에 엇갈림 (수차)이 생겨 거칠기 측정에 오차가 생기는 결과가 있습니다. LEXT OLS4100는 레이저 파장 405nm에 최적의 설계를 한 "LEXT 전용 대물 렌즈"에 의해 수차 성능을 개선하고 샘플의 미세한 형상을 전 분야에 걸쳐 측정 할 수 있습니다. |
향상된 경사 표면 감지 기능
| 기존의 레이저 현미경은 빛의 반사율에 차이가 있는 샘플의 이미지화가 어려웠으며, 특히 반사광이 적은 가파른 경사면의 높이 데이터를 검출할 수 없었습니다. LEXT OLS4100은 높은 N.A값을 자랑하는 전용대물렌즈와 405nm레이저 장착으로 지금까지 측정 할 수 없었던 가파른 각도의 샘플에서도 확실하게 측정이 가능해졌습니다. | |
기존의 레이저 현미경 | LEXT OLS4000 |
| 샘플 : 루비 구, 시야 : 126 × 126um
φ153μm 루비 공을 촬영. 수직면 근처까지 깔끔하게 영상화 할 수 있는 것이 가능 | |
부정확한 값을 감소
광학 측정기는 접촉식 측정결과에는 검출되지 않는 피크 노이즈가 포함될 수 있습니다. 이것은 광학 측정기 특유의 현상으로, 레이저 현미경에서도
발생하며 측정오차의 한 요인이 되고 있습니다.
LEXT OLS4100은 전용대물렌즈의 장착으로 시스템 전체의 S/N 향상(레이저 발진의 안정성 향상, 검출 시스템 앰프 특성 개선 등)에 힘을 기울여, 이상치를 저감시켜
샘플의 형상에 좌우되지 않는 안정된 측정 결과를 얻을 수 있게 되었습니다.
접촉식 측정 결과와 상당히 일관성이 있다는 것을 보여줍니다.
보장된 "정확도"
반복성과 정확도의 양립
측정 정밀도를 표현할 경우 "반복성"와 "정확도"의 두 가지 지표가 있습니다. 반복성은 반복한 측정 값의 편차가 적은 것이고, 정확도는 측정 값이
얼마나 참값에 가까운지를 보여줍니다. LEXT OLS4100은 레이저 현미경으로는 세계 최초로 * '반복성'과 '정확성'을 모두 보장되며, 표면 거칠기 측정기로
높은 평가를 얻고 있습니다.
세계 표준 traceability
신뢰성이 높은 측정결과를 얻으려면 사용하는 측정기가 정확해야합니다. 만약
측정기 자체가 신뢰성이 떨어진다면, 측정결과의 신뢰성 또한 손실되며 제품의 품질과 성능도 보증되지 않습니다. LEXT OLS4100은 산업 기술 종합 연구소와
일본품질 보증기구 등에서 표준기의 교정(켈리브레이션)을 수행하고, 그 정확도를 엄격하게 관리하여 신뢰성이 높은 측정기로서 정확한 측정결과를
제공하고 있습니다.
2가지 측정 방법의 대응
LEXTOLS4100에는 "선 거칠기 측정"과 "표면 거칠기 측정" 두 측정 방법이 있습니다. 레이저 현미경의 특징을 살려, 관찰 성능은 그대로 샘플에 닿지 않고
측정하여 선 거칠기, 표면 거칠기 분석합니다. 접촉식에 비해 위치 찾기가 쉽기 때문에 아주 미소한영역의 조도 측정이 용이합니다. 또한 측정 시간이
짧기 때문에, 표면 거칠기 측정에 적합합니다.
접촉식 표면 거칠기 측정기와의 등가성
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접촉식 표면 거칠기 측정기의 측정 표준（JISB0632：2001)은 위상 보상 필터에 의해 파장성분(샘플의 특정 거칠기의 주기)를 추출하고 각종 분석을
수행하도록 규정되어있습니다.
예를 들어, 거칠기 파라미터를 요구하는 경우, 비접속식인 LEXT OLS4100은 위상 보상 저역 필터 λs를 통해서 단파장 성분을 위상 보상 고역 필터 λc를 통해서 장파장 성분을 제외하고 거기에서 얻은 데이터(거칠기 곡선)에서 파라미터 연산을 수행합니다. 따라서 접촉식 측정기와의 사이에서 데이터의 등가성이 유지되어 측정결과의 등가성이 확보됩니다. 비접촉식에서는 이러한 측정 기준은 없지만, LEXT 4100으로 접촉식과 같은 필터를 적용해도 같은 결과를 얻을 수 있습니다. 측정원리가 다른 측정기라 하여도 측정결과의 등가성이 확보되어 있다고 말할 수 있습니다. |
장착 파라미터
파라미터 호환성
LEXT OLS4100은 접속식 기기(이차원)와 같은 거칠기 파라미터를 갖고 있습니다.
접촉 식과 같은 조작성, 호환되는 측정 결과를 얻을 수 있습니다.
| 기본 프로파일 | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, PSm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
| 거칠기 프로파일 | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, RSm, RΔq, Rmr(c), Rδc, Rmr, RzJIS |
| 파상 프로파일 | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, WSm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
| 부하곡선 | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| 모티브 | R, Rx, AR, W, Wx, AW |
| 거칠기 프로파일 (JIS 1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
차세대 파라미터와의 호환성
OLS4100은 ISO25178에 준수하여 거칠기 파라미터(3차원)가 장착되어 있습니다.
면 영역에서 평가를 실시하는 것으로, 보다 신뢰성이 높은 분석이 가능합니다.
| 진폭 파라미터 | Sp, Sv, Sz, Sa, Sq, Ssk, Sku |
| 기능 파라미터 | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
| 체적 파라미터 | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
| 측면 파라미터 | Sal, Str |
파라미터 표현 정의
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