超音波検査機器は60年以上に亘り工業用に使用されてきています。1940年代以降, 高周波音の個体材料伝播に関する物理法則は、厚さ測定、金属特性分析、更には金属、プラスチック、セラミック等の部品内部の隠れたクラック、空洞、孔(巣)その他内部欠陥の検出に利用されてきました。超音波検査は完全に非破壊且つ安全で確立された検査法であり、多くの基礎的な生産、加工、サービス産業分野で、特に溶接及び構造用金属のアプリケーションに使用されています。
超音波検査の成長は概ねエレクトロ二クス、コンピューターの発達と並行しています。 1930年代欧米での初期研究により、高周波音は隠れた傷や物質の境界部分から予測可能な形で反射し、オシロスコープ画面に表示可能な明瞭なエコー・パターンを生成することが立証されました。第二次大戦時のソナー開発はこの超音波研究を更に推進することになりました。1945年米国研究者フロイド ファイヤーストーンは彼自身がSupersonic Reflectoscope (超音波反射鏡)と称する機器の特許を取得しました。今日普遍的に採用されているパルス・エコー技術を利用しており、最初の実用的超音波探傷器の商品であると考えられています。 この開発はその後の多く商品開発、市場導入につながっていくことになりました。
1960年代及び70年代に超音波探傷器、超音波厚さ計、そして超音波探触子の開発を主導した会社の中にパナメトリクス社(Panametrics)、ステイブリー社(Staveley)、そしてハリソニック社(Harisonic)がありますが、これらの会社は現在全てオリンパスNDTの一部門となっています。
1940年代後半日本の研究者は、組織層の2次元断面画像が得られる初期タイプのBスキャン機器を人体に使用しましたが、これが超音波検査の医療診断利用の先駆けとなりました。1960年代迄は初期タイプの医療用スキャナーが腫瘍、胆石及び同様な症状の発見及び概要把握に使用されました。1970年代には精密な超音波厚さ計が導入され、超音波検査は広範な製造工程で利用されました。それにより片側からのアクセスしか許されない状況下で部品の厚さ測定を実施することが可能になりました。また、超音波腐食検査用厚さ計が普及しパイプ、タンク類の残存肉厚の測定に使用されました。
超音波機器の最新の進歩は信号のデジタル処理及び1980年代以降に入手可能となった廉価なマイクロプロセッサーがそのベースとなっています。これが最新世代機器の超小型、高信頼性ポータブル型機器の実現及び探傷、厚さ測定、音響画像検査用などのインラインシステムの実現につながっています。
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