イージーオペレーション

• 自由に設定できる検査モード、後工程向け専用に操作性を考慮した装置デザインなど、使い勝手を重視しました。
• FOUPオープナー（Load Port）対応とFOSB仕様の2機種をラインアップしています。
• 半導体顕微鏡MX61Lと組み合わせで高分解能、高品質の観察を実現します。
• 検査装置中心に配置した操作ユニがエルゴノミーで快適な操作が可能です。

高い信頼性、操作性能の継承

• 前機種で得た信頼性と安全性を継承し、安全に300mmウエハの自動検査が可能です。
• ウエハ条件（薄ウエハ・反ウエハ）に影響されない搬送系を実現しました。

専用マクロ照明装置

専用マクロ照明装置

照明を選択することにより、異物、キズ、膜ムラ、デフォーカスに対し最適な照明方法で検査可能です。