磨きぬかれた測定性能

急峻な角度を持つサンプルも確実に測定

LEXT OLS4000は高いN.A.を誇る専用対物レンズと、405nmレーザーの性能を最大限に引き出す専用光学系により、今まで測ることのできなかった急峻な角度を持つサンプルでも、確実に測定することが可能です。

急峻な角度を持つサンプル（カミソリ）

LEXT専用対物レンズ

反射率の差があるサンプルも鮮明に取得

LEXT OLS4000は、新開発のデュアルコンフォーカルシステムを採用。コンフォーカル光学系を2系統搭載することにより、従来のレーザー顕微鏡が苦手としていた反射率の異なる素材を含むサンプルでも、鮮明な画像を得ることができます。

（ダイヤモンド電着工具）

デュアルコンフォーカルシステム

透明体の形状測定、面膜厚測定が可能なマルチレイヤー機能

従来のレーザー顕微鏡は、サンプルの最も反射光量の強い箇所を焦点位置としていました。 このため、レーザー光が透過する透明体のサンプルは形状の取得が困難な場合がありました。 新搭載のマルチレイヤー機能では、複数の反射光量のピークを認識し、各々を焦点位置として採用できるようになりました。 これにより、透明体最表面の観察・測定や、レイヤーごとの解析、さらには面膜厚測定が可能になります。

透明体の最表面観察・測定
従来、測定できなかった透明体の最表面観察・測定が可能になります。

金属表面のコーティング面 従来

マルチレイヤー機能

透明体のレイヤー分析
マルチレイヤー機能により、透明体のレイヤー解析が可能になります。 透明体下層の形状・粗さ測定や、面膜厚測定などが可能です。

金属上のポリイミド膜

20x

測定環境を安定させるハイブリッド除振機構

ハイブリッド除振機構

また、LEXT OLS4000は、外部からの影響を排除し測定環境を安定させるために、本体にコイルスプリングとダンピングラバーによる｢ハイブリッド除振機構｣を内蔵しています。このため、専用の除振台を必要とせず、通常の机の上でも測定が可能です。

外部からの振動の影響あり

ハイブリッド除振機構により 振動の影響を軽減

世界初、2つの性能保証

測定機の性能である測定精度を表現するには、2つの指標があります。一つは測定値がいかに真値に近いか（正確さ）、もう一つは複数回の測定値のばらつきの小ささ（繰り返し性）です。OLS4000は、レーザー顕微鏡として世界で初めて"正確さ"と"繰り返し性"の両方を保証します。

2つの性能保証

また、LEXT OLS4000はレンズから自社工場で一貫製造され、厳格な検査基準を経て出荷。納品時の校正と最終調整は、実際に使用される環境で選任の技術者が行います。

微小凹凸をリアルに再現する微分干渉観察

微分干渉観察は、レーザー顕微鏡の分解能をさらに超えた、ナノメートル以下の微小凹凸を可視化する観察方法です。対物レンズ上方に設置したDICプリズムを用い、照明光を横方向にずらした2つの光線に分離してサンプルを照明します。サンプルにより直接反射した2つの光線の差を取ると、明暗のコントラストが発生し、微小凹凸を立体的に観察する事ができます。微分干渉観察により、低倍率のライブ観察でも電子顕微鏡の分解能に迫る画像を得ることができます。

レーザー微分干渉観察（ポリマーフィルム）

通常のレーザー観察（ポリマーフィルム）

広範囲観察にも対応するステッチング機能

高倍率画像では視野範囲が狭くなりますが、ステッチング機能により、最大529枚までの画像を貼り合せ、高分解能かつ広視野範囲の画像データをつくることができます。さらに、この広視野画像でも3D表示や3D計測を行うことが可能です。

貼り合せ前画像	貼り合せ輝度画像
	貼り合せ3D画像

理想的な操作環境

ID 管理でカスタマイズ化とセキュリティ強化

ログイン画面

オペレータがそれぞれのIDでログインし、画像データベースや操作環境をカスタマイズすることができます。IDはレポートや画像に表示され、いつ誰が作成・撮影したものであるかが一目瞭然です。また、IDごとに階層設定することもできるので、管理者は各オペレータの操作や機能の範囲を自由に割り当てることが可能です。

初めてふれる人にも安心をもたらすウィザード機能

初めてふれる人でもすぐに操作ができるように、詳細なウィザード機能を搭載しています。マニュアルを読む手間やトレーニングの時間を費やす必要はありません。ウィザード機能をカスタマイズすることも可能です。

ウィザード機能

自動測定機能^＊が効率的な連続測定を実現

対象物ごとに決められた測定を繰り返し行うには、的確かつ効率的な動作が求められます。繰り返し測定の回数が多い場合は、さら
にその必要性が高まります。自動測定機能（オプション）では、あらかじめ条件を設定することによって、サンプルのアライメントから
測定結果を得るまでの一連の操作を容易に実行することができます。
＊自動測定機能はオプションです。

自動測定機能

「観察迷子」にならないためのマクロマップ機能

従来、高倍率での観察時は視野が狭くなるので、サンプルのどこを見ているのか分からなくなることがありました。LEXT OLS4000では、マクロマップ機能を搭載。低倍率時の広範囲画像を常に表示し、「今どこにいるか」を画像上で指し示します。

マクロマップ機能

サンプル接触・破損を防ぎ、画像を自動調整する電動レボルバ

電動レボルバ

LEXT OLS4000 は、対物レンズの切り換え時にサンプルを傷つけないために、電動レボルバを標準搭載。切り換え時には自動的にレボルバが退避、サンプルと接触することはありません。また、同時に自動で焦点および画像中心を合わせ、適切な明るさに調整することで、ストレスなく倍率の変換をおこなうことができます。

熟練オペレータの描画水準を手軽に駆使できるINR アルゴリズム

オリンパスは、長年のノウハウにより熟練者の異常値判断基準を装置に組み込むことに成功しました。これが、LEXT OLS4000に新たに搭載されたINR（Intelligent Noise Reduction）アルゴリズムです。初めて操作するオペレータでも簡単に、熟練者と同じ画像を得ることができます。

INRアルゴリズムあり

INRアルゴリズムなし

レポート作成に必要な迅速さと明解さを実現

関係者に迅速かつ明解に、観察・測定結果をレポートすることで、レーザー顕微鏡はその役割を完結することができます。LEXT OLS4000は、測定終了後にワンクリックでレポートの作成が可能。個々のテンプレートのカスタマイズが自由自在にできるなど、充実の編集機能も備えています。

レポート作成画面

レポート完成版

抜群の粗さ解析能力

レーザーを表面粗さ測定機のスタンダードに

粗さ測定画面

LEXT OLS4000は表面粗さ測定機の新基準をめざし開発されました。接触式表面粗さ測定機と同様の校正を行い、必要なほぼ全ての粗さパラメータ、フィルタを搭載しています。これにより、接触式表面粗さ測定機をご使用のお客様にとって抵抗のない操作性、互換性のある出力結果を実現しました。さらに、粗さ専用モードを搭載し、自動ラインステッチングで最大100mmの長寸法線粗さの測定が可能です。

OLS4000と接触式表面粗さ計の測定断面曲線比較（プロファイル全長1.6mm）

プロファイルの全長は1.6mm
LEXT OLS4000による測定断面曲線	λs2.5μm処理なし LEXT OLS4000による測定断面曲線	λs2.5μm処理あり 接触式表面粗さ測定機による測定断面曲線

パラメータ一覧

LEXT OLS4000の輪郭曲線パラメータ一覧

LEXT OLS4000の面粗さ測定パラメータ一覧
ISO25178ドラフトに準拠

微細な粗さも測定可能

接触式表面粗さ測定機では、スタイラスの先端径より微細な凹凸を測定することはできません。レーザー顕微鏡は、レーザーのスポット径が微小なため、微細形状を高分解能に粗さ測定することができます。

接触式表面粗さ測定機

レーザー顕微鏡

非接触で測定

接触式表面粗さ測定機では、柔らかいサンプルはスタイラスにより傷がついて形状が変わってしまいます。また、粘着性のあるサンプルではスタイラスが引っ張られ正確な測定結果が出ません。レーザー顕微鏡は非接触のため、表面状態に影響されず、正確な粗さ測定をすることができます。

柔らかいサンプル

粘着性のあるサンプル

微細な箇所も測定可能

接触式表面粗さ測定機では、スタイラスを微小領域に下ろすことができず測定することができません。レーザー顕微鏡では位置を正確に特定し、狙った微小エリアの粗さ測定を簡単に行うことができます。

ボンディングワイヤ

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