概述

简化任务的高级显微镜 BX3M系列以模块化为设计理念，为各种材料科学和工业应用提供了多功能性。通过改进与PRECiV软件的集成，BX53M为标准显微镜和数字成像用户提供了从观察到报告创建的无缝工作流程。体验BX53M

简化任务的高级显微镜

BX3M系列以模块化为设计理念，为各种材料科学和工业应用提供了多功能性。通过改进与PRECiV软件的集成，BX53M为标准显微镜和数字成像用户提供了从观察到报告创建的无缝工作流程。

	选择最适合的型号六种BX53M推荐配置，使您可以灵活选择所需功能。通用：入门，标准，高级专用：荧光，红外，偏光多种配置满足用户需求模块化设计，按自己的方式打造自己的系统了解更多信息

选择最适合的型号

六种BX53M推荐配置，使您可以灵活选择所需功能。

通用：入门，标准，高级
专用：荧光，红外，偏光
多种配置满足用户需求
模块化设计，按自己的方式打造自己的系统

舒适且使用方便借助精心设计且易于使用的控件，BX53M简化了复杂的显微镜检查任务。用户无需进行深入培训即可充分使用显微镜功能。BX53M简单、舒适的操作方式通过最大限度减少人为错误而提高了可重复性。简易照明灯直观的显微镜控件快速找到焦点均匀一致的照明简便且符合人体工学的操作方式轻松恢复显微镜设置基本测量功能了解更多信息

舒适且使用方便

借助精心设计且易于使用的控件，BX53M简化了复杂的显微镜检查任务。用户无需进行深入培训即可充分使用显微镜功能。BX53M简单、舒适的操作方式通过最大限度减少人为错误而提高了可重复性。

简易照明灯
直观的显微镜控件
快速找到焦点
均匀一致的照明
简便且符合人体工学的操作方式
轻松恢复显微镜设置
基本测量功能

	功能 BX53M保持了传统显微镜检查的传统对比方法，如明场、暗场、偏光和微分干涉对比。随着新材料的开发，使用标准对比法检测缺陷的许多困难可以通过先进的显微镜技术来解决，以实现更准确和可靠的检测。PRECiV图像分析软件中用于图像采集的新照明技术和选项为用户评估其样品和记录结果提供了更多选择。让不可见变为可见构建全对焦图像轻松移动全景载物台亮区和暗区均可采集可根据观察和分析偏好进行调整适用于各种样品了解更多信息

功能

BX53M保持了传统显微镜检查的传统对比方法，如明场、暗场、偏光和微分干涉对比。随着新材料的开发，使用标准对比法检测缺陷的许多困难可以通过先进的显微镜技术来解决，以实现更准确和可靠的检测。PRECiV图像分析软件中用于图像采集的新照明技术和选项为用户评估其样品和记录结果提供了更多选择。

让不可见变为可见
构建全对焦图像
轻松移动全景载物台
亮区和暗区均可采集
可根据观察和分析偏好进行调整
适用于各种样品

顶尖的光学器件

奥林巴斯开发高质量光学器件的历史，打造出了公认的光学质量记录和提供出色测量准确度的显微镜。

出色的光学性能
稳定的色温和高强度白光LED照明
支持精确测量
无缝拼接

配置

非常可靠的模块化系统概念
从未如此简单

六种BX53M推荐配置，使您可以灵活选择所需功能。

通用			专用

入门使用基本功能轻松设置	标准简单易用，带有全面升级	高级支持多种高级功能	荧光非常适合荧光观察	红外用于使用红外观察方法来检查集成电路	偏光用于观察双折射特性
_{LCD彩色滤光片} ^{（透射/BF）}	_{含铁素体晶粒的} ^微观结构 ^{（反射/DF）}	_铜线圈 ^{（BF + DF/MIX）}	_{IC图案上的涂层} ^{（FL + DF/MIX）}	_{硅层IC图案} ^（IR）	_石棉 ^（POL）

见规格表

	入门	标准	高级	荧光	红外	偏光
显微镜机身	反射或反射/透射		反射或反射/透射		反射	透射
标准	R-BF或T-BF	R-BF或T-BF或DF	R-BF或T-BF或DF或MIX	R-BF或T-BF或DF或FL	R-BF或IR	T-BF或POL
选配	DIC	DIC/MIX	DIC	DIC/MIX	－	－
简易照明灯	－			－	－	－
孔径图例	－				－
编码硬件	－				－
焦点标尺索引
光强度管理器				－	－
手控开关操作					－	－
MIX观察					－	－
物镜	根据应用从3种物镜中进行选择		根据应用从3种物镜中进行选择		用于IR的物镜	用于POL的物镜
载物台	根据样品大小从5种载物台中进行选择		根据样品大小从5种载物台中进行选择			用于POL的工作台

观察方法

R-BF：明场（反射）
T-BF：明场（反射/透射）
DF：暗场
DIC：微分干涉对比/简易偏光
MIX：混合
FL：荧光
IR：红外
POL：偏光

_{*选择反射/透射显微镜机身时，可以使用T-BF。}

：标准
：选配

材料科学配置示例

模块化设计使得可以根据用户需求选择各种不同的配置。
以下是一些用于材料科学的配置示例。

BX53M反射光和反射光/透射光组合 BX3M系列中有两种类型的显微镜机身，一种仅用于反射光，另一种用于反射光和透射光。两种机身均可以配置手动、编码或电动部件。机身配备ESD功能，可保护电子样品。	_{BX53MRF-S配置示例}	_{BX53MTRF-S配置示例}

BX53M反射光和反射光/透射光组合

BX3M系列中有两种类型的显微镜机身，一种仅用于反射光，另一种用于反射光和透射光。两种机身均可以配置手动、编码或电动部件。机身配备ESD功能，可保护电子样品。

BX53MRF-S配置示例

_{BX53MRF-S配置示例}

BX53MTRF-S配置示例

_{BX53MTRF-S配置示例}

	BX53M IR组合 IR物镜可用于半导体检查、测量和处理应用，需要通过硅成像才能看到图案。5倍至100倍红外（IR）物镜可通过近红外可见光波长进行色差校正。对于高放大倍率的工作，旋转LCPLNIR系列透镜的校正环可校正样品厚度引起的像差。使用单个物镜可以获得清晰的图像。单击此处了解IR物镜的详细信息

BX53M IR组合

IR物镜可用于半导体检查、测量和处理应用，需要通过硅成像才能看到图案。5倍至100倍红外（IR）物镜可通过近红外可见光波长进行色差校正。对于高放大倍率的工作，旋转LCPLNIR系列透镜的校正环可校正样品厚度引起的像差。使用单个物镜可以获得清晰的图像。

BX53M偏光组合 BX53M偏光的光学器件为地质学家提供了适合高对比度偏光成像的工具。矿物识别、晶体光学特性研究和固体岩石剖面观察等应用，都可以得益于其系统稳定性和精确的光学对准。	_{BX53-P正交偏光配置}	_{BX53-P锥光镜/正交偏光配置}

BX53M偏光组合

BX53M偏光的光学器件为地质学家提供了适合高对比度偏光成像的工具。矿物识别、晶体光学特性研究和固体岩石剖面观察等应用，都可以得益于其系统稳定性和精确的光学对准。

BX53-P正交偏光配置

_{BX53-P正交偏光配置}

BX53-P锥光镜/正交偏光配置

_{BX53-P锥光镜/正交偏光配置}

用于锥光镜/正交偏光观察的勃氏透镜使用U-CPA锥光镜观察附件后，正交偏光和锥光镜观察之间的切换简单而快捷。其可聚焦于清晰的后焦平面干涉图案。勃氏透镜视场光阑使其可以持续获取锐利而清晰的锥光图像。

用于锥光镜/正交偏光观察的勃氏透镜

使用U-CPA锥光镜观察附件后，正交偏光和锥光镜观察之间的切换简单而快捷。其可聚焦于清晰的后焦平面干涉图案。勃氏透镜视场光阑使其可以持续获取锐利而清晰的锥光图像。

	各种补色器和波片六种不同的补色器可用于测量岩石和矿物薄片的双折射。测量延迟水平为0至20λ。为了便于测量和获得高对比度图像，可以使用Berek和Senarmont补色器，它们可以改变整个视野的延迟水平。

各种补色器和波片

六种不同的补色器可用于测量岩石和矿物薄片的双折射。测量延迟水平为0至20λ。为了便于测量和获得高对比度图像，可以使用Berek和Senarmont补色器，它们可以改变整个视野的延迟水平。

补色器测量范围

补色器	测量范围	主要应用
厚Berek（U-CTB）	0至11,000nm （20λ）	高延迟水平测量（R^*>3λ）（晶体、高分子、纤维等）
Berek（U-CBE）	0至1,640nm （3λ）	延迟水平测量（晶体、高分子、生物体等）
Senarmont补色器（U-CSE）	0至546nm （1λ）	延迟水平测量（晶体、生物体等）图像对比增强（生物体等）
Brace-Koehler补色器 1/10λ（U-CBR1）	0至55nm （1/10λ）	低延迟水平测量（生物体等）图像对比增强（生物体等）
Brace-Koehler补色器 1/30λ（U-CBE2）	0至20nm （1/30λ）	图像对比测量（生物体等）
石英楔（U-CWE2）	500至2,200nm （4λ）	延迟水平近似测量（晶体、高分子等）

_{*R = 延迟水平

为了使测量更准确，建议将补色器（U-CWE2除外）与干涉滤光片45-IF546一起使用。}

无应力光学器件

由于奥林巴斯先进的设计和制造技术，UPLFLN-P无应力物镜可将内部应力降至最低。这意味着EF值更高，从而产生出色的图像对比度。

	BXFM系统 BXFM可以适应特殊应用或集成到其他仪器中。模块化结构可直接适应拥有各种特殊的小型照明灯和固定支架的独特环境和配置。

BXFM系统

BXFM可以适应特殊应用或集成到其他仪器中。模块化结构可直接适应拥有各种特殊的小型照明灯和固定支架的独特环境和配置。

模块化设计，按自己的方式打造自己的系统

显微镜机身

有两款显微镜机身适用于反射光，其中一款还具有透射光功能。提供用于升高照明灯的转接器，以容纳更高的样品。

		反射光	透射光	样品高度
1	BX53MRF-S	■	－	0至65mm
2	BX53MTRF-S	■	■	0至35mm
1, 3	BX53MRF-S + BX3M-ARMAD	■	－	40至105mm
2, 3	BX53MTRF-S + BX3M-ARMAD	■	■	40至75mm

适合显微镜的便捷配件

－	HP-2	手压装置
－	COVER-018	防尘罩

显微镜机身

架台

对于样品无法安装在载物台上的显微镜应用，可以将照明灯和光学器件安装到更大的架台或其他设备上。

BXFM + BX53M照明灯配置

1	BXFM-F	机身接口为墙挂式32mm支柱
2	BX3M-ILH	照明灯支架
3	BXFM-ILHSPU	适用于BXFM的缓冲弹簧
5	SZ-STL	大型架台

BXFM + U-KMAS照明灯配置

1	BXFM-F	机身接口为墙挂式32mm支柱
4	BXFM-ILHS	U-KMAS支架
5	SZ-STL	大型架台

镜筒

对于目镜显微镜成像或相机观察，请根据成像类型和观察期间的操作员姿势选择镜筒。

		FN	类型	角度类型	图像	屈光度调整机械装置数量
1	U-TR30-2	22	三目镜筒	固定	反像	1
2	U-TR30IR	22	IR用三目镜筒	固定	反像	1
3	U-ETR-4	22	三目镜筒	固定	正像	－
4	U-TTR-2	22	三目镜筒	倾斜	反像	－
5	U-SWTR-3	26.5	三目镜筒	固定	反像	－
6	U-SWETTR-5	26.5	三目镜筒	倾斜	正像	－
7	U-TLU	22	单口	－	－	－
8	U-SWATLU	26.5	单口	－	－	－

照明灯

照明灯会根据选择的观察方法将光投射到样品上。软件与编码照明灯连接，以读取立方体位置并自动识别观察方法。

		编码功能	光源	BF	DF	DIC	POL	IR	FL	MIX	AS/FS
1	BX3M-RLAS-S	固定3立方体位置	LED灯 - 内置	■	■	■	■	－	－	■	■
2	BX3M-URAS-S	可连接4立方体位置	LED灯	■	■	■	■	－	－	■	■
			卤素灯	■	■	■	■	■	－	■	■
			汞灯/光导装置	■	■	■	■	－	■	■	■
3	BX3M-RLA-S		LED灯	■	■	■	■	－	－	■	■
3	BX3M-RLA-S		卤素灯	■	■	■	■	■	－	■	■
4	BX3M-KMA-S		LED灯 - 内置	■	－	■	■	－	－	■	－
5	BX3-ARM	透射光机械臂
6	U-KMAS		LED灯	■	－	■	■	－	－	■	－
6	U-KMAS		卤素灯	■	－	■	■	■	－	■	－

光源

用于样品照明的光源和电源，为观察方法选择合适的光源。

标准LED光源配置

1	BX3M-LEDR	用于反射光的LED灯罩
2	U-RCV	用于BX3M-URAS-S的DF转换器，必要时需要使用DF和BF进行观察
3	BX3M-PSLED	LED灯罩的电源，需要BXFM系统
4	BX3M-LEDT	用于透射光的LED灯罩

荧光光源配置

5	U-LLGAD	光导装置转接器
2	U-RCV	用于BX3M-URAS-S的DF转换器，必要时需要使用DF进行观察
6	U-LLG150	光导装置，长度：1.5m
7	U-LGPS	用于荧光的光源
8, 9	U-LH100HG (HGAPO)	用于荧光的汞灯罩
2	U-RCV	用于BX3M-URAS-S的DF转换器，必要时需要使用DF进行观察
10	U-RFL-T	用于100W汞灯的电源

卤素灯和卤素IR光源配置

11	U-LH100IR	用于IR的卤素灯罩
12	U-RMT	卤素灯罩延长电缆，电缆长度1.7m（必要时需要使用延长电缆）
13, 14	TH4-100 (200)	用于100W/50W卤素灯的100V（200V）规格电源
15	TH4-HS	卤素灯光强度手控开关（调光器TH4-100 (200)，不带手控开关）

物镜转盘

物镜和滑块附件。根据需要的物镜数量和类型进行选择；带/不带滑块附件。

		类型	孔	BF	DF	DIC	MIX	ESD	定心孔数量
1	U-P4RE	手动	4	■		■			4
2	U-5RE-2	手动	5	■
3	U-5RES-ESD	编码型	5	■				■
4	U-D6RE	手动	6	■		■
5	U-D6RES	编码型	6	■		■
6	U-D5BDREMC	电动	5	■	■	■	■
7	U-D6BDRE	手动	6	■	■	■	■
8	U-D5BDRES-ESD	编码型	5	■	■	■	■	■
9	U-D6BDRES-S	编码型	6	■	■	■	■	■
10	U-D6REMC	电动	6	■		■
11	U-D6BDREMC	电动	6	■	■	■	■	■
12	U-D5BDREMC-VA	电动	5	■	■

滑块

选择滑块，对传统的明场观察进行补充。DIC滑块提供有关样品的形态信息，可选择将对比度或分辨率最大化。MIX滑块通过暗场路径中的分段LED光源提供灵活照明。

DIC滑块

		类型	剪切数量	可用的物镜
1	U-DICR	标准	中等	MPLFLN、MPLAPON、LMPLFLN和LCPLFLN-LCD

MIX滑块

		可用的物镜
2	U-MIXR	MPLFLN-BD、LMPLFLN-BD、MPLN-BD

电缆

U-MIXRCBL*

U-MIXR电缆，电缆长度：0.5m

_*仅限MIXR

控制箱和手控开关

用于连接显微镜硬件和PC的控制箱，以及用于硬件显示和控制的手控开关。

BX3M-CB（CBFM）配置

1	BX3M-CB	BX53M系统控制箱
2	BX3M-CBFM	BXFM系统控制箱
3	BX3M-HS	MIX观察控件、编码硬件指示器、软件（PRECiV）的可编程功能按钮
4	BX3M-HSRE	电动物镜转盘旋转

电缆

－

BX3M-RMCBL（ECBL）

电动物镜转盘电缆，电缆长度：0.2m

控制箱和手控开关

载物台

放置样品的载物台和载物台板。根据样品形状和大小进行选择。

150mm × 100mm载物台配置

1	U-SIC64	150mm × 100mm平顶手柄工作台
2	U-SHG (T)	硅橡胶可操作性手柄橡胶改进型（厚型）
3	U-SP64	U-SIC64载物台板
4	U-WHP64	U-SIC64晶圆板
5	BH2-WHR43	4-3 in.晶圆支架
6	BH2-WHR54	5-4 in.晶圆支架
7	BH2-WHR65	6-5 in.晶圆支架
8	U-SPG64	U-SIC64玻璃板

76 mm × 52 mm载物台配置

13	U-SVR M	76mm × 52mm右手柄工作台
2	U-SHG (T)	硅橡胶可操作性手柄橡胶改进型（厚型）
14	U-MSSP	U-SVR (/L) M载物台板
15, 16	U-HR (L) D-4	右（左）开口的薄载玻片支架
17, 18	U-HR (L) DT-4	右（左）开口的厚载玻片支架，用于将载玻片压在载物台台面上，标本很难抬起

100 mm × 100mm载物台配置

9	U-SIC4R 2	105 mm × 100 mm右手柄工作台
10	U-MSSP4	U-SIC4R (L) 2载物台板
11	U-WHP2	U-SIC4R (L) 2晶圆板
6	BH2-WHR43	4-3 in.晶圆支架
12	U-MSSPG	U-SIC4R玻璃板

其他

19	U-SRG2	可旋转载物台
20	U-SRP	POL可旋转载物台，可以从任意位置45°锁定光圈
21	U-FMP	U-SRP/U-SRG2机械载物台

相机转接器

用于相机观察的转接器。可在所需的视野和放大倍率中进行选择。可以使用以下公式计算实际观察范围：实际视野（对角线mm）= 视野（观察数量）÷ 物镜放大倍率。

		放大倍率	定心调整	CCD图像区域（视野数量）mm
		放大倍率	定心调整	2/3英寸	1/1.8英寸	1/2英寸
1	U-TV1x-2，带U-CMAD3	1	－	10.7	8.8	8
2	U-TV1xC	1	ø2mm	10.7	8.8	8
3	U-TV0.63xC	0.63	－	17	14	12.7
4	U-TV0.5xC-3	0.5	－	21.4	17.6	16
5	U-TV0.35xC-2	0.35	－	－	－	22
6	U-TV0.25xC	0.25	－	－	－	－

目镜

直视显微镜的目镜。根据所需的视野进行选择。

		FN（mm）	屈光度调整机械装置	内置十字线
1	WHN10x	22
2	WHN10x-H	22	■
3	CROSS WHN10x	22	■	■
4	SWH10x-H	26.5	■
5	CROSS SWH10x	26.5	■	■

光学滤光片

光学滤光片将样品曝光光线转换为各种类型的照明。根据观察要求选择适当的滤光片。

BF、DF、FL

1, 2	U-25ND25,6	中性密度滤光片，透射率25%、6%
3	U-25LBD	日光彩色滤光片
4	U-25LBA	卤素彩色滤光片
5	U-25IF550	绿色滤光片
6	U-25L42	UV截止滤光片
7	U-25Y48	黄色滤光片
8	U-25FR	透雾滤光片（BX3M-URAS-S需要）

POL、DIC

9	U-AN-2	偏光方向固定
10	U-AN360-3	偏光方向可旋转
11	U-AN360P-2	高品质偏光方向可旋转
12	U-PO3	偏光方向固定
13	U-POTP3	偏光方向固定，与U-DICRH搭配使用
14	45-IF546	用于POL的绿色ø45mm滤光片

IR

15	U-AN360IR	IR偏光方向可旋转（与U-AN360IR和U-POIR搭配使用时，可减少IR观察时的光晕）
16	U-POIR	IR偏光方向固定
17	U-BP1100IR	带通滤光片：1100nm
18	U-BP1200IR	带通滤光片：1200nm

透射光

19	43IF550-W45	绿色ø45mm滤光片
20	U-POT	偏光滤光片

其他

22

U-25

空滤光片，与用户的ø25mm滤光片搭配使用

_{*使用BX3M-RLAS-S和U-FDICR时，不需要AN和PO}

聚光镜

聚光镜收集和聚焦透射光。用于透射光观察。

1	U-AC2	Abbe聚光镜（适用于5倍物镜及以上）
2	U-SC3	摇出式聚光镜（适用于1.25倍物镜及以上）
3	U-LWCD	用于玻璃板的长工作距离聚光镜（U-MSSPG、U-SPG64）
4	U-POC-2	用于POL的摇出式聚光镜

镜组

用于BX3M-URAS-S的镜组。为需要的观察选择镜组。

1	U-FBF	适用于BF，可拆卸ND滤光片
2	U-FDF	适用于DF
3	U-FDICR	适用于POL，正交尼科尔棱镜位置固定
4	U-FBFL	适用于BF，内置ND滤光片（需要同时使用BF*和FL）
5	U-FWUS	适用于紫外光-FL：BP330-385 BA420 DM400
6	U-FWBS	适用于蓝色光-FL：BP460-490 BA520IF DM500
7	U-FWGS	适用于绿色光-FL：BP510-550 BA590 DM570
8	U-FF	空镜组

_{*仅限同轴反射照明}

中间镜筒

各种多用途配件。用于镜筒和照明灯之间。

1	U-CA	放大倍率变换器（1倍、1.25倍、1.6倍、2倍）
2	U-TRU	三目镜筒中间装置

UIS2物镜

物镜会放大样品。选择与应用的工作距离、分辨率和观察方法相匹配的物镜。

单击此处了解UIS2物镜的详细信息

简单易用

传统技术变得简单：
简易照明灯

照明灯将显微镜操作过程中通常需要的复杂操作减至最低。照明灯前部的表盘使用户能够轻松更改观察方法。操作员可以在反射光显微镜最常用的观察方法之间快速切换，例如从明场到暗场，再到偏光，以便在不同类型的分析之间轻松切换。此外，通过旋转分析仪可以调节简易偏光观察。

直观的显微镜控件：
简易FS和AS设置

使用适当的孔径光阑和视场光阑设置可以提供良好的图像对比度，并充分利用物镜的数值孔径。图例会引导用户根据使用中的观察方法和物镜进行正确设置。

快速找到焦点

借助机身上的焦点标尺索引，快速到达焦点。操作员无需通过目镜观察样品，即可粗略调整焦点，这样可以在检查不同高度的样品时节省时间。

简便且舒适的操作方式

系统设计会影响用户的工作效率。无论是独立的显微镜用户还是与PRECiV图像分析软件集成的用户，都可以受益于操作方便、清楚地显示硬件位置的手柄控件。这些简单易用的手柄使用户能够专注于他们的样品和他们需要进行的检查。

为了获得持续的照明：
光强度管理器

在初始设置期间，可以调整照明强度，以匹配编码照明灯和/或编码物镜转盘的特定硬件配置。

为了恢复显微镜设置：
编码硬件

编码功能将BX53M的系统设置与PRECiV图像分析软件集成在一起。观察方法、照明强度和放大倍率由软件自动记录，并与相关图像存储在一起。由于操作员可以始终使用相同的观察设置进行检查，因此可以提供可靠的检查结果。

功能

让不可见变为可见
MIX观察

BX53M的MIX观察技术将传统照明方法与暗场照明相结合。使用MIX滑块时，其LED光环会在样品照射出定向暗场。这与传统的暗场效果类似，但可以选择LED象限，以便从不同角度引导光线。这种定向暗场和明场、荧光或偏光的组合称为MIX照明，尤其有利于突出缺陷以及区分凸起表面和凹陷。

构建全对焦图像：EFI

PRECiV软件中的景深扩展成像（EFI）功能可捕获高度超过物镜聚焦深度的样品图像，并将其堆叠在一起，以构建全对焦图像。EFI可以使用手动或电动Z轴进行，能够构建高度图，便于结构可视化。在PRECiV Desktop脱机时，也可以构建EFI图像。

亮区和暗区均可采集：HDR

借助先进的图像处理方法，高动态范围（HDR）调整图像内的亮度差异，以减少眩光。HDR提高了数字图像的视觉质量，有助于生成专业的报告。

_{借助HDR，可以清晰地暴露处在黑暗和明亮区域的部分（样品：喷油器灯泡）}

_{通过HDR增强对比度

（样品：切片菱镁矿）}

_{硬币的即时MIA图像}

轻松移动全景载物台：即时MIA

现在，只需移动手动载物台上的XY旋钮，即可轻松快速拼接图像；无需电动载物台。PRECiV软件使用图案识别生成全景图像，为用户提供比单帧更宽的视野。

多样化的测量功能

常规或基本测量功能

PRECiV提供了各种测量功能，使得用户可以轻松地从图像中获得有用的数据。对于质量控制和检查，通常需要图像的测量特征。所有级别的PRECiV许可证都包含交互测量功能，例如距离、角度、矩形、圆形、椭圆和多边形。所有测量结果与图像文件保存在一起，以供进一步记录。

计数和测量

目标检测和尺寸分布测量是数字成像中最重要的应用之一。PRECiV集成了一个检测引擎，该引擎利用阈值方法将目标（例如颗粒、划痕）与背景可靠分离。

材料科学解决方案

PRECiV为复杂图像分析提供了直观、以工作流程为导向的界面。单击按钮后，可以快速、准确地执行最复杂的图像分析任务，且符合最常见的行业标准。随着重复任务处理时间的显著减少，材料科学家可以专注于分析和研究。可随时轻松执行夹杂物和截距图的模块化插件。

_{3D表面视图（粗糙度检测用样品）}

_{单个视图和3D轮廓测量}

3D样品测量

当使用外部电动聚焦驱动器时，可以快速捕获并以3D显示EFI图像。获取的高度数据可用于对轮廓进行3D测量或单视图图像中的3D测量。

计划在PRECiV v.1.2中加以支持。

查看更多样品类型和大小

新的150 × 100mm载物台在X方向的行程比以前的型号更长。该特征与平顶设计相结合后，可以轻松地在载物台上放置大样品或多个样品。载物台板上有螺纹孔，用于连接样品架。更大的载物台为用户提供了灵活性，使他们能够在一台显微镜上检查更多样品，节省了宝贵的实验室空间。载物台的可调扭矩有助于在高放大倍率和窄视野下进行精细定位。

样品高度和重量的灵活性

借助选配的模块化装置，可以将高达105mm的样品固定在载物台上。由于改进了聚焦机制，显微镜可承托高达6kg的总重量（样品 + 载物台）。这意味着可以在BX53M上检查更大和更重的样品，从而减少实验室所需的显微镜。通过战略性地将6英寸晶圆的可旋转支架定位在偏离中心的位置，用户在100mm行程范围内移动时，只需旋转支架即可观察整个晶圆表面。经过优化的载物台扭矩调整易于使用，借助舒适的手柄，能够轻松找到样品的感兴趣区域。

_BX53MRF-S

_BXFM

针对样品大小的灵活性

当样品因尺寸过大而无法放在传统显微镜载物台上时，可以对反射光显微镜的核心光学器件进行模块化配置。该模块化系统BXFM可以通过一根柱子安装到更大的支架上，也可以使用安装支架将其安装到选择的另一台仪器上。即使用户的样品在尺寸或形状方面都是独一无二的，用户都能利用奥林巴斯著名的光学器件进行观察。

保护电子设备免受静电放电影响：ESD兼容

BX53M具有ESD耗散功能，可保护电子设备免受人为或环境因素引起的静电影响。

图像清晰

顶尖光学器件的历史

高数值孔径和长工作距离相结合

物镜对显微镜的性能至关重要。
MXPLFLN物镜通过同时实现数值孔径和工作距离最大化，为MPLFLN系列落射式照明成像增加了深度。放大20倍和50倍时，分辨率越高，通常意味着工作距离越短，这会迫使样品或物镜在物镜交换过程中缩回。在许多情况下，MXPLFLN系列的3 mm工作距离消除了这一问题，使检查速度更快，物镜碰到样品的可能性更小。

传统50倍物镜：NA 0.8，WD 1mm/MXPLFLN50X：NA 0.8，WD 3mm

了解有关MXPLFLN物镜的更多信息

出色的光学性能
波前像差控制

物镜的光学性能直接影响观察图像的质量和分析结果。奥林巴斯UIS2高放大倍率物镜专用于尽可能降低波前像差，实现可靠的光学性能。

了解有关UIS2物镜的更多信息

_{波前效果不佳}

_{波前效果良好（UIS2物镜）}

_{卤素灯：颜色随光强度而变化。}

_{LED灯：颜色与光强度一致，比卤素灯更清晰。}
^{* 所有图像均使用自动曝光拍摄}

稳定的色温：
高强度白光LED照明

BX53M将高强度白色LED光源用于反射光和透射光。无论亮度如何，LED灯均保持稳定的色温。LED灯提供高效、耐用的照明，是检查材料科学应用的理想选择。

品质优秀，性能卓越

支持精确测量
自动校准

与数字显微镜类似，使用PRECiV时可以进行自动校准。自动校准消除了校准过程中的人为变化，从而实现更可靠的测量。自动校准使用的算法可以根据多个测量点的平均值自动计算正确的校准。这最大限度地减少了不同操作员引入的差异，并保持了一致的准确性，提高了定期验证的可靠性。

_{半导体晶圆（二值化图像）：

阴影校正在整个视野中产生均匀的照明。}

无缝拼接：
图像阴影校正

PRECiV软件具有阴影校正功能，以适应图像角落周围的阴影。当与强度阈值设置一起使用时，阴影校正可以提供更精确的分析。

了解有关PRECiV的更多信息

应用

半导体晶圆上的IC图案

暗场用于检测样品上的微小划痕或缺陷，或检查具有镜面的样品，例如晶圆。

MIX照明使用户能够查看图案和颜色。

MIX（明场 + 暗场）

_{MIX（明场 + 暗场）}

_暗场

_荧光

MIX（荧光 + 暗场）

_{MIX（荧光 + 暗场）}

半导体晶圆上的光刻胶残留

荧光用于在使用专门设计的滤光立方体照明时发光的样品。这用于检测污染和光刻胶残留。

MIX照明可以观察光刻胶残留和IC图案。

LCD彩色滤光片

这种观察技术适用于透明样品，例如LCD、塑料和玻璃材料。

MIX照明可以观察滤光片颜色和电路图案。

透射光

_透射光

MIX（透射光 + 明场）

_{MIX（透射光 + 明场）}

_明场

微分干涉对比（DIC）

_{微分干涉对比（DIC）}

球墨铸铁

DIC是一种观察技术，其中样品的高度以浮雕形式显现，类似于对比度提高的3D图像；这种技术非常适合检查高度差异非常小的样品，包括金相组织和矿物。

绢云母

微分干涉对比（DIC）是一种观察技术，使用这种技术时，通常无法在明场中检测到的样品高度会以浮雕形式显现，类似于对比度提高的3D图像。这种技术非常适合检查高度差异非常小的样品，包括金相组织和矿物。

_明场

_偏光

红外（IR）

_{红外（IR）}

IC图案上的结合区

IR用于寻找IC芯片和其他由玻璃硅制成的器件内部的缺陷。

规格

BX53M通用建议配置规格

			入门		标准		高级
光学系统			UIS2光学系统（无限远校正）
主要装置	显微镜机身		BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）	BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）	BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）
	焦点		冲程：25mm 每一圈的精细冲程：100μm 最小刻度：1μm 带上限位器，粗手柄扭矩调整
	最大标本高度		反射：65mm（不带垫片），105mm（带BX3M-ARMAD）反射/透射：35mm（不带垫片），75mm（带BX3M-ARMAD）
	观察镜筒	宽视野（F.N.22）	U-TR30-2-2 倒置：三目镜筒
	照明	反射光透射光	BX3M-KMA-S 白光LED灯、BF/DIC/POL/MIX FS、AS（带定心机械装置）、BF/DF联锁		BX3M-RLAS-S 编码，白光LED灯、BF/DF/DIC/POL/MIX FS、AS（带定心机械装置）、BF/DF联锁
			－	BX3M-LEDT 白光LED灯 Abbe//长工作距离聚光镜	－	BX3M-LEDT 白光LED灯 Abbe//长工作距离聚光镜	－	BX3M-LEDT 白光LED灯 Abbe//长工作距离聚光镜
	物镜转盘		U-5RE-2 用于BF：五元件		U-D6BDRE 用于BF/DF：六元件			U-D6BDRES-S 用于BF/DF：六元件，编码
	目镜（F.N.22）		WHN10 WHN10X-H
	MIX观察		－					BX3M-CB 控制箱 BX3M-HS 手控开关 U-MIXR-2 MIX滑块，用于反射光观察 U-MIXRCBL 用于MIXR的电缆
	聚光镜（长工作距离）		－	U-LWCD	－	U-LWCD	－	U-LWCD
	电源线缆		UYCP（x1）					UYCP（x2）
	重量		反射：约15.8kg（显微镜机身7.4kg）反射/透射：约18.3kg（显微镜机身7.6kg）
物镜	MPLFLN套装		MPLFLN5X、10X、20X、50X、100X BF/POL/FL观察		－
	MPLFLN BD套装		－		MPLFLN5XBD、10XBD、BD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察
	MPLFLN-BD、LMPLFLN-BD套装		－		MPLFLN5XBD、10XBD、LMPLFLN20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察
	MPLFLN-BD、MXPLFLN-BD、LMPLFLN-BD套装		－		MPLFLN5XBD、10XBD、MXPLFLN20XBD、50XBD、LMPLFLN20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察
载物台（X x Y）	76mm x 52mm套装		U-SVRM、U-MSSP 同轴右手柄载物台/76（X）× 52（Y）mm，带扭矩调整
	100mm x 100mm套装		U-SIC4R2、U-MSSP4 大号同轴右手柄载物台/100（X）x 100（Y）mm，Y轴带锁定机械装置
	100mm x 100（G）mm套装		U-SIC4R2、U-MSSPG 大号同轴右手柄载物台/100（X）x 100（Y）mm，Y轴带锁定机械装置（玻璃板）
	150 mm x 100 mm套装		U-SIC64、U-SHG、U-SP64 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，带扭矩调整，Y轴带锁定机械装置
	150 mm x 100（G）mm套装		U-SIC64、U-SHG、U-SPG64 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，带扭矩调整，Y轴带锁定机械装置（玻璃板）
选配	MIX观察套装*		BX3M-CB、BX3M-HS、U-MIXR-2、U-MIXRCBL				－
	DIC*		U-DICR
	中间镜筒		U-CA、U-EPA2、U-TRU
	滤光片		U-25ND6、U-25ND25、U-25LBD、U-25LBA、U-25Y48、U-AN360-3、U-AN360P、U-PO3、U-POTP3、U-25IF550、U-25L42、U-25、U-25FR
	聚光镜滤光片		43IF550-W45、U-POT
	载物台板		U-WHP64、BH2-WHR43、BH2-WHR54、BH2-WHR65、U-WHP2
	样品托架		U-HRD-4、U-HLD-4、U-HRDT-4、U-HLDT-4
	手柄橡胶		U-SHG、U-SHGT

_{*无法与U-5RE-2搭配使用}

BX53M/BXFM ESD装置

物品	显微镜机身	BX53MRF-S、BX53MTRF-S
	照明灯	BX3M-KMA-S、BX3M-RLA-S、BX3M-URAS-S、BX3M-RLAS-S
	物镜转盘	U-D6BDREMC、U-D6BDRES-S、U-D6RE-ESD、U-D5BDREMC-ESD、U-5RES-ESD
	载物台	U-SIC4R2、U-MSSP4

BX53M专用建议配置规格

				荧光		红外	偏光
光学系统				UIS2光学系统（无限远校正）
主要装置	显微镜机身			BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）	BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）
	焦点			冲程：25mm 每一圈的精细冲程：100μm 最小刻度：1μm 带上限位器，粗手柄扭矩调整
	最大标本高度			反射：65mm（不带垫片），105mm（带BX3M-ARMAD）反射/透射：35mm（不带垫片），75mm（带BX3M-ARMAD）
	观察镜筒	宽视野（F.N.22）		U-TR30-2 倒置：三目镜筒		U-TR30IR 倒置：IR三目镜筒	U-TR30-2 倒置：三目镜筒
		偏光中间附件（U-CPA）	勃氏透镜	－		－	可对焦
			勃氏透镜视场光阑	－		－	Ø3.4mm直径（固定）
			接合或分离正交偏光和锥光镜观察之间的勃氏透镜切换	－		－	滑块位置 ● 向内滑块位置 ○ 向外
			分析仪插槽	－		－	带插槽的可旋转分析仪（U-AN360P-2）
	照明	反射光	FL观察	BX3M-URAS-S 编码通用反射光，4位镜组转台，（标准：U-FWUS、U-FWBS、U-FWGS、U-FBF等），带FS、AS（带定心机械装置），带快门机械装置		－	－
			IR观察	－		BX3M-RLA-S 100W卤素灯，适用于IR、BF/IR、AS（带定心机械装置） U-LH100IR（包括12V 10W HAL-L） 100W卤素灯光源，适用于IR TH4-100 100W电源 TH4-HS 手控开关 U-RMT 延长线	－
		透射光	POL观察	－		－	BX3M-LEDT 白光LED灯 Abbe//长工作距离聚光镜
	物镜转盘			U-D6BDRES-S 用于BF/DF：六元件，编码		U-5RE-2 用于BF：五元件	U-P4RE 四元件，可定心可连接部件可以使用板转接器（U-TAD）连接的1/4波长延迟板（U-TAD）、色板（U-TP530）和各种补色器
	目镜（F.N.22）			WHN10X
				WHN10X-H			CROSS-WHN10X
	镜组			U-FDF 适用于DF U-FBFL 适用于BF，内置ND滤光片 U-FBF 适用于BF，ND滤光片可分离 U-FWUS 适用于紫外光-FL U-FWBS 适用于蓝光-FL U-FWGS 适用于绿光-FL		－
	滤光片/偏光镜/分析仪			U-25FR 透雾滤光片		U-BP1100IR/U-BP1200IR 适用于IR的带通滤光片	43IF550-W45 绿色滤光片
				U-POIR 适用于IR的反射偏光镜滑块		U-AN360IR 适用于IR的可旋转分析仪滑块	U-AN360P-2 表盘可360°旋转可旋转最小角度0.1°
	聚光镜			U-LWCD 长工作距离		－	U-POC-2 消色差透镜无应力聚光镜。可360°旋转的偏光镜，摇出式消色差顶面透镜。位置“0°”处的锁定光圈可调节。 NA 0.9（顶面透镜向内）/NA 0.18（顶面透镜向外）孔径光阑隔板：直径可调，2mm至21mm
	滑块/补色器			－			U-TAD 滑块（板转接器）
							U-TP530 色板 U-TP137 1/4波长延迟板
	电源线缆			UYCP（x1）		UYCP（x2）	UYCP（x1）
	重量			反射：约15.8kg（显微镜机身7.4kg）	反射/透射：约18.3kg（显微镜机身7.6kg）	约18.9kg（显微镜机身7.4kg）	约16.2kg（显微镜机身7.6kg）
反射FL光源	光导			U-LGPS、U-LLGAD、U-LLG150，光导套装		－	－
	汞灯			U-LH100HGAPO1-7、USH-103OL（x2）、U-RFL-T、U-RCV 汞灯套装		－	－
物镜	MPLFLN套装			MPLFLN5X、10X、20X、50X、100X BF/DIC/POL/FL观察		－	－
	MPLFLN BD套装			MPLFLN5XBD、10XBD、BD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察		－	－
	MPLFLN-BD、LMPLFLN-BD套装			MPLFLN5XBD、10XBD、LMPLFLN20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察		－	－
	MPLFLN-BD、MXPLFLN-BD、LMPLFLN-BD套装			MPLFLN5XBD、10XBD、MXPLFLN20XBD、50XBD、LMPLFLN20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察		－	－
	IR套装			－		LMPLN5XIR、10XIR、LCPLN20XIR、50XIR、100XIR IR观察	－
	POL套装			－		－	UPLFLN4XP、10XP、20XP、40XP POL观察
载物台（X x Y）	76mm x 52mm套装			U-SVRM、U-MSSP 同轴左手柄载物台/76（X）× 52（Y）mm，带扭矩调整
	100mm x 100mm套装			U-SIC4R2、U-MSSP4 大号同轴左手柄载物台/100（X）x 100（Y）mm，Y轴带锁定机械装置
	100mm x 100（G）mm套装			U-SIC4R2、U-MSSPG 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，Y轴带锁定机械装置（玻璃板）
	150 mm x 100 mm套装			U-SIC64、U-SHG、U-SP64 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，带扭矩调整，Y轴带锁定机械装置
	150 mm x 100（G）mm套装			U-SIC64、U-SHG、U-SPG64 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，带扭矩调整，Y轴带锁定机械装置（玻璃板）
	POL套装			－			U-SRP+U-FMP 偏光可旋转载物台 + 机械载物台
选配	MIX观察套装*			BX3M-CB、BX3M-HS、U-MIXR-2、U-MIXRCBL
	DIC*			U-DICR
	中间镜筒			U-CA、U-EPA2、U-TRU
	滤光片			U-25ND6、U-25ND25、U-25LBD、U-25LBA、U-25Y48、U-AN360-3、U-AN360P、U-PO3、U-POTP3、U-25IF550、U-25L42、U-25、U-25FR
	聚光镜滤光片			43IF550-W45、U-POT
	载物台板			U-WHP64、BH2-WHR43、BH2-WHR54、BH2-WHR65、U-WHP2
	样品托架			U-HRD-4、U-HLD-4、U-HRDT-4、U-HLDT-4
	手柄橡胶			U-SHG、U-SHGT