微細なコンタミを見逃さない光学性能と作業性を追求したソフトウェア
CIX100はあらゆる工業規格に対応し、高速かつ安定した検査結果を得ることができる、コンタミネーション解析の専用システムです。
- コンタミネーション解析に専用設計された筐体により高い光学性能を実現
- コンタミネーション解析用のアルゴリズムにより粒子を逃さず検出
- 粒子標準デバイスを用いた使用前の日常点検が可能
- 従来の円形メンブレンフィルターに加え長方形のサンプルに対応
| 保護カバー
カメラをカバーで保護することにより、位置ズレを防止。セットアップ時の調整状態を維持します。
当社独自の特殊な偏光観察モード
1回のスキャンで金属粒子と非金属粒子を同時に検出します。
電動ユニット
電動フォーカスユニットで高い位置決め再現性を実現します。
耐久性（ステージ／ステージインサート）
ステージ上の専用サンプルホルダーで決まった位置に検査サンプルのメンブレンフィルターを固定できます。
| UIS2対物レンズ
光学性能で最も重要な収差のバラつきが少ないUIS2対物レンズを搭載。
ユーザーインターフェース
ユーザーインターフェースはワークフローに応じて必要な機能だけを表示するように階層化されています。オペレーターは知識や経験がなくても操作で迷ったりミスすることはありません。
専用ソフトウェア
画像貼り合わせや粒子検出、分類などの画像処理で先進のソフトウェア技術を駆使し信頼性の高い検査結果を得ることができます。
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豊富なサンプルホルダーでシステムの汎用性を向上
円形、長方形のサンプルホルダーに対応しています。メンブレンフィルター用ホルダーは直径25mm、47mmおよび55mm、背景色は黒もしくは白をお選びいただけます。また、テープリフトサンプリング用のホルダー、金属工学アプリケーション用の表面が平らなホルダー、パーティクルトラップ用のホルダーをご利用できます。
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背景色が白と黒の直径25mm（左）、47mm（中）、55mm（右）のメンブレンフィルター用の円形サンプルホルダー | パーティクルトラップ用サンプルホルダー | テープリフトサンプリング用サンプルホルダー |
バッチスキャン後に複数のサンプルを直接確認
CIX100では、複数のサンプルを一度に検査するバッチモードをご用意しています。バッチモードでは、各サンプルに対して同じ検査設定または、個別に設定できます。検査後に各サンプルの結果を個別に確認、レポート作成も可能です。
高い再現性と繰り返し性を実現
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CIX100システムは使い方が簡単なので、経験の浅い検査官でも信頼性の高いデータが得られます。
設定済みで最適化されたハードウェアと専用のシステムソリューションにより、ユーザーは正しく設定することができ、再現可能な検査結果が得られます。
この図は、工程性能指数（PPk）を使用して測定安定性と繰り返し性を検証することで、CIX100の精度を示します。同一サンプルを5倍と10倍の倍率で10回測定し、標準サイズクラスの粒子数を抽出しました。図は、クラスE（50～100
μm）に対するCpkとPpkの評価を示します。
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高い光学性能
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CIXが採用した工業顕微鏡の筐体は実体顕微鏡とは異なり、計測に適した高解画像の撮像が可能なだけでなく、ピント位置がずれた時に測定結果がばらつかない光学系を搭載しています。さらに、高品質UIS2対物レンズや高解像度カメラ、光学コンポーネントなどの組み合わせによって高品質の検査画像を得られます。
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検査結果の安定性を実現
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ステージ上にセットできる粒子標準デバイスを用いた定期確認で検査結果の安定性を実現します。
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検査条件の設定ミスを防止
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光路の補正、電動レボルバー、そしてカメラをカバーで保護することにより、望ましくないズレを防止します。保護カバーによってシステム間で機差がない調整されたカメラに触れることがないため、誤った補正を防止して高い再現性を維持します。
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