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STM6-LMは様々な用途に対応する高性能な3軸（XYZ）方向の測定機です。機械部品や電子部品などをサブミクロンレベルで測定します。大きな試料に適した大型ステージを標準装備し、測定対象物に合わせて最適な測定を可能にするオプションを豊富に揃えています。

• 大型サンプルをスピーディに測定
• 高い精度と耐久性
• 使いやすさを重視した本体設計
• 繰返性に優れたフォーカスシステム
• 観察・測定の幅を広げるアクセサリ
• さらに高度な測定を実現するシステム

大型サンプルをスピーディに測定

スペースを無駄にしない電装系一体型ボディ

電装系一体ボディ

省スペースと使いやすさを求めて、本体に電装系を内蔵したカウンタ一体型ボディを実現しました。また、データ通信のインターフェースにRS232Cを内蔵しており、パソコンへのデータ転送やプリンタ等の外部機器への接続が容易になりました。さらに、パソコンに取り込んだデータは表計算ソフトでデータベース化が可能です。

広範囲をスピーディに検査できるクラッチ方式の大型ステージ

クラッチ方式の大型ステージ

250×150mmの大きな測定範囲を持つステージを搭載しました。X、Y駆動それぞれにクラッチフリー機構を装備し、レバーひとつで粗微動をすばやく切換えることができます。自在なステージ送りが可能になり、大型サンプルでのスピーディな検査を実現しました。また、ステージ上にサンプルを多数載せて測定することも可能です。

高い精度と耐久性

経年変化に強い高剛性ボディ・ステージ

FEM解析

剛性はもとより測定器として最も重要な精度を長年にわたり維持するために、経年変化に強い高剛性ボディとステージを開発しました。ガイドウエイには優れた真直度が得られるリニアガイド方式を採用、さらに独自開発のスケールを内蔵し、高い信頼性でお応えします。

光学式リニアスケールがサブミクロンの分解能を実現

光学式リニアスケール

スケールの精度は、測定顕微鏡の精度を左右する重要なポイントです。オリンパスでは独自に開発した高精度光学式リニアスケールから得られる光情報を、電気的に処理して測定しています。また、スケール内蔵位置もアッベの定理（測るべき長さとスケールが、その測定方向に一直線に並ぶ配置が最も誤差が少ない）に基づき誤差を最少にしています。

国際規格のトレーサビリティ体系

高精度の追求のために、製造から組立にいたる環境を国内第一級レベルに整備しています。最上級の恒温工場で、厳選した素材を高精度に加工し、熟練者の手によりていねいに製品として仕上げています。また、部品ひとつから完成品にいたるまで、厳格なトレーサビリティの基に管理されています。

測定顕微鏡トレーサビリティ体系図

使いやすさを重視した本体設計

Z軸測定がスピーディにおこなえる電動フォーカスを準備

ピント合わせや高さ、深さの測定時の操作性を大幅に向上させる電動フォーカスを採用しました。粗動と4段階の微動（800、400、200、50μm）切換えが手元のZ操作ボックスでおこなえ、作業時の疲労を大幅に軽減します。）

Z操作ボックス

電動フォーカス動ボタン AFボタン 上限・下限設定ボタン AF停止ボタン Zリセットボタン 焦準ハンドル データ出力ボタン 粗・微動切り換えボタン

見やすい理想のポジションに配置したカウンタ

カウンタ	顕微鏡本体と一体にして、表示部を観察位置とほぼ同じ高さの見やすい位置にカウンタを配置しました。視線をわずかにずらすだけで測定値の確認がおこなえ、観察、位置合わせに専念できます。

エッジ観察、外観チェックのさらなる向上を支援するUIS2光学系とLED照明

優れた解像とコントラストを実現するUIS2 光学系と、サンプルの色を忠実に再現し明るさを変えても色合いが変わらないLED照明を採用しました。これによりエッジの見えは格段にアップし、測定、外 観検査の飛躍的向上が図れます。また、LED照明はチラツキや明るさの変動がないため、長時間作業での目の疲れを軽減します。

白色LED

ハロゲンランプ

人間の眼の分解能を考えたレチクルで、かんたんに位置合わせ

レチクル	測定顕微鏡では、測定物とレチクルをいかに正確に合わせるかが重要です。直線を合わせるには、1本の線でおこなうよりレチクルおよび破線があったほうが、正確におこなえます。このような人間の眼の特性や分解能を分析し、焦点板にレチクルと破線を入れて、合わせ精度を向上させました。

繰返性に優れたフォーカスシステム

かんたんに追加が可能な高精度オートフォーカスシステム

ワンショット、追従の2つのモードを搭載しています。繊細な操作が要求される目視による高さ、深さの測定を、モードの使い分けにより自動化できます。個人差によるバラツキをなくすと同時に、XYハンドルから手を離さず観察できるなど、Z軸測定の効率を大幅に向上させます。しかも中間鏡筒タイプなので、かんたんに後から追加することができます。

【ワンショットモード】
ラフなピント状態からオートフォーカス実行で視野中心に瞬時にピントを合わせます。

【追従モード】
合焦位置を追従しながら、常にピントの合った状態を保ちます。測定時のピント合わせが不要なため、作業効率が一段と向上します。

※1 当社基準サンプルによる値です。
※2 計算による理論値です。

指標パターンのズレを合わせるだけで高精度な高さ測定を実現するフォーカスナビゲータ

10×～50×対物レンズでの落射明視野、落射暗視野に対応したシステムです。サンプルに投影された指標パターンの上下のズレを合わせることにより、高さ測定をおこないます。目視によるフォーカス合わせに比べ繰返性が向上し、個人差による測定のバラツキが小さくなります。さまざまなサンプルにも対応できる指標パターンはフォーカシングも容易なため、測定時間の大幅な短縮も図れます。

フォーカスナビゲータイメージ
前側焦点	焦点位置	後側焦点位置

観察・測定の幅を広げるアクセサリ

落射照明ユニット

落射照明ユニット

さまざまな測定レンジに対応するため落射照明ユニットを、3種類用意しました。測定対物レンズやレボルバを用いた金属対物レンズに対応し、明視野、暗視野、微分干渉観察が可能です。用途に応じユニット追加でシステムアップできます。

回転テーブル

回転テーブル

かんたんにサンプルの平行出しができます。

白色LED照明ユニット

白色LED照明

チラツキや明るさの変動がなく長寿命、省電力、小型軽量、コストパフォーマンスの高い白色LED光源ユニットです。

4分割LED照明装置

4分割LED照明装置

高い色温度でクリアな画像を提供する落射LEDリング照明です。4分割の独立した点灯が可能で、合計13パターンから最適な照明方法を選ぶことができます。

デジタルカメラによるデジタル画像の記録・保存が可能

三眼鏡筒にはデジタルカメラを付けることが可能です。デジタル画像の保存、記録が可能で、レポート作成などに効果を発揮します。デジタルカメラは画質、機能、使い勝手などの面から用途に応じて選ぶことができます。

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さらに高度な測定を実現するシステム

MM6-CAL22

MM6-CAL22

サンプルとステージの平行出し作業が不要なため、サンプルをステージに載せてすぐに測定をはじめられます。ポイントを入力するだけでかんたんに2次元演算処理をおこなえます。測定中のアライメント項目、測定項目の説明は表示部に表示され、測定結果は内蔵のプリンタにより出力されます。

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