生産・販売終了製品

OLS3000-IR

OLS3000-IRはシリコン層を透過して驚異的な高分解能で内部を観察できる赤外線レーザー顕微鏡です。フリップチップ、ウェハレベルCSP、SiPなどの非破壊内部検査に威力を発揮し、観察のみならず内部の3次元形状を捉えることも出来ます。

概要
仕様
PDF カタログ

IC内部を高分解能で観察・計測

赤外線観察イメージ

フリップチップ実装後のICパターンの微小な傷やアライメントマークの正確な位置、バンプパッドの表面状態は従来の赤外線顕微鏡では鮮明に観察することはできませんでした。
走査型共焦点赤外レーザー顕微鏡なら、高分解能、高倍率で観察ができ、さらにシリコン内部のギャップや段差計測も可能になりました。
MEMSの中空構造や接着面、SOIウエハのグラインド量測定などにも有効です。これからの実装SiP技術やMEMS技術をサポートします。

1310nm半導体レーザーでシリコンを透過し、フリップチップ実装後のICパターン観察が可能です。
共焦点光学系により中間フレア像を極限まで除去するため、高コントラストでの観察が可能です。
シリコンの厚みを考慮した新設計の対物レンズを採用することにより、高倍率観察も可能です。
XYでの計測はもちろん、Z方向の計測も可能です。COC実装におけるチップのギャップも高精度に計測できます。

従来の赤外線顕微鏡像

走査型共焦点赤外レーザー顕微鏡像

観察画像例
フリップチップ実装のICパターン	ウエハレベルCSP	ボンディングパッド

走査型共焦点赤外レーザ顕微鏡 LEXT OLS3000-IR 仕様
LSM部	光学系				UIS2光学系（無限遠補正）
	総合倍率				120～12960×
	観察視野				2560×2560～21×21μm
	本体	観察法			IR
		レーザー			1310nm半導体レーザー
		照明系			-
		焦準部	粗動Zステージ	ストローク	70mm
				最大標本高さ	100mm
			微動Zレボルバ	測定ストローク	10mm
				駆動分解能	0.01μm
				繰り返し性	3σ_n-1=0.10+0.002Lμm以下
		対物レンズ			5×、10×、20×、50×、90×
		光学ズーム			1～6×
	ステージ	マニュアルステージ			100×100mm
		電動ステージ			150×100mm
SPM部	動作モード	標準			-
		オプション			-
	最大走査範囲				-
外形寸法					464（W）× 559（D）× 614.5（H）mm
質量					56.9kg（本体のみ）