BXC 시리즈는 편차를 줄이고 안정적인 이미지 품질을 제공하는 고품질 현미경 구성 요소를 제공합니다. 이러한 콤팩트 현미경 어셈블리는 다양한
옵션을 사용하여 시스템에 간편하게 통합할 수 있습니다. BXC 시리즈 리소스 센터에서 기기 통합에 필요한 정보를
다운로드하세요.
고성능 대물렌즈
높은 개구수와 긴 작동 거리 겸비
대물렌즈는 현미경의 성능에서 매우 중요합니다. MXPLFLN 대물렌즈는 개구수와 작동 거리를 동시에 최대화하여 에피-조명 이미징을 위해 MPLFLN
시리즈에 깊이를 더합니다. 20배 및 50배 배율에서 해상도가 더 높을수록 일반적으로 작동 거리가 더 짧아지며 대물렌즈 교체 중에 샘플 또는
대물렌즈를 후퇴시켜야 하고 관찰 중에 샘플 처리가 느려집니다. 많은 경우에 MXPLFLN 시리즈의 3mm 작동 거리는 이 문제를 없애 대물렌즈가 샘플에
부딪힐 가능성을 줄이면서 더 빠르게 검사할 수 있습니다.
MPLFLN 2.5X, 5X 및 5X 명시야/암시야 대물렌즈의 이미지 평탄도가 향상되어 낮은 배율에서 더 빨리 스티칭된 이미지를 얻을 수 있습니다. Evident는 암시야
관찰에서 처리량을 높이기 위해 명시야/암시야 2.5X 대물렌즈인 MPLFLN2.5XBD를 개발했습니다.
넓은 스펙트럼 범위
가시광부터 근적외선(NIR)까지, Evident의 고급 광학 제조 및 코팅 기술은 사용자와 제조업체에게 다양한 대물렌즈와 튜브 렌즈를 제공하여 표준
제품으로 시스템 요구 사항을 단순화하도록 합니다.
세 가지 대물렌즈의 투과율 곡선
파면 수차 제어
렌즈 어셈블리의 파면 수차 제어 선별 등 첨단 제조 공정이 MXPLFLN 시리즈 대물렌즈에 사용됩니다. 이 프로세스는 기기 성능의 편차를 최소화합니다.
BX™ 현미경 시리즈에 속한 BXC 시리즈는 대물렌즈, 회전 노즈피스, 조명 등 각 부품에 다양한 옵션을 제공합니다. 이 시리즈는 사용 사례에 따라
자유롭게 옵션을 선택하도록 설계되었습니다. 이 부품은 다양한 기능을 제공하는 모듈형 제품이므로 웨이퍼 정렬, 범프 측정, 이미지 스티칭을
위해 설계된 기기 등의 검사 또는 이미징 응용 분야에 적합합니다.
암시야는 거울 표면 또는 반도체 웨이퍼의 긁힘 또는 결함과 같은 샘플의 산란광 또는 회절광을 관찰하는 데 사용됩니다. MIX 슬라이더는 대형 전용
광학 장치 없이 암시야를 실현하고, 16개의 개별 제어 가능 LED로 기존 암시야를 개선하므로 샘플에서 나는 빛의 방향을 제어할 수 있습니다. 또한 MIX
슬라이더를 사용하는 이러한 지향성 암시야 기법은 명시야, 단순 편광 또는 형광 관찰과 함께 사용할 수 있습니다.
MIX 슬라이더(상단)
U-MIXR-2
MIX 슬라이더(하단)
U-MIXR-2
암시야
명시야 MIX
다양한 회전 노즈피스
자동화에 대한 수요가 높아지면서 전동식 회전 노즈피스에 대한 수요도 커지고 있습니다. Evident의 U-D5BDREMC 및 U-D6BDREMC 5구 및 6구 전동식 회전 노즈피스는
성능이 입증되었습니다. 이제 U-D5BDREMC-VA 클래스 1 클린룸 적합 전동식 회전 노즈피스는 진공을 사용하여 먼지와 기타 입자를 제거합니다. 수동,
코딩식 및 중심 조정 회전 노즈피스와 단일 대물렌즈용 어댑터를 BXC 어셈블리로 구성할 수 있습니다.
진공 기능이 있는 전동식 BD 회전 노즈피스 U-D5BDREMC-VA
측정 대물렌즈 어댑터 STM7-MMOBAD
자동 초점 감지 장치
BXC-FSU는 클래스 1 레이저 제품1으로, 활성 다중 지점 감지를 지원하고 초점 위치의 방향 및 초점 상태를 모니터링합니다 이 센서는 베어
웨이퍼와 같은 저대비 샘플에 유용합니다. 고유한 알고리즘은 대물렌즈의 배율과 주변광으로 인한 노이즈에 상관없이 안정적인 초점
신호를 생성합니다. 명령 참조 매뉴얼, 지침 매뉴얼 및 샘플 소프트웨어는 Evident 웹사이트에서 확인할 수 있습니다.2
1 클래스 1 레이저가 포함되어 별도의 안전 조치가 필요하지 않습니다.
2 애플리케이션 매뉴얼은 요청 시 제공됩니다.
자동 초점 감지 장치 BXC-FSU
콤팩트 컨트롤 박스
BXC-CBRML 및 BXC-CBB 컨트롤 박스는 설치 공간이 작고 팬이 없으며 다양한 장착 옵션(예: 벽 또는 천장)을 제공합니다. 컨트롤 박스에 따라 MIX 슬라이더, 조명,
전동식 회전 노즈피스, LED 광원과 같은 기능을 통합하고 소프트웨어를 사용하여 제어할 수 있습니다.
자세히 알아보기
Evident는 OEM 고객을 지원하기 위해 다양한 자료를 제공합니다. 여기를 클릭하면 OEM 자료 페이지에서 브로셔, 설명서, 소프트웨어 다운로드 및 기타 유용한 콘텐츠를 얻을 수 있습니다.
