반도체&FPD 검사용 현미경

Olympus MX 현미경은 모든 고객에게 최고 효율을 제공하는 개념으로 개발됩니다. MX 현미경은 빠른 시작, 간편한 운용, 고장 분석, 사용자를 위한 확장성 등 유익한 4가지 레벨을 보장합니다.

MX63 / MX63L

MX63 및 MX63L 현미경 시스템은 다목적 기능과 인체공학적이고 사용자 친화적인 디자인을 갖춰, 대형 평면 패널 디스플레이, 인쇄 회로 기판 및 기타 대형 샘플에서 300mm 웨이퍼에 대한 고품질 관찰이 가능하게 합니다. 유동적인 모듈 설계로 인해 관찰 시스템이 여러 검사 목적에 맞도록 최적화됩니다. Olympus PRECiV 이미지 분석 소프트웨어와 결합하면 관찰부터 보고서 생성까지의 검사 절차를 간소화할 수 있습니다.

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AL120

AL120 웨이퍼 핸들러 시리즈는 인간공학적 설계를 유지하면서 향상된 기능과 유연성을 통해 실리콘 및 복합 반도체 웨이퍼를 카세트에서 현미경 스테이지로 전송합니다.

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AL120-12

AL120-12 웨이퍼 핸들러는 FOUP(로드포트) 및 FOSB와 모두 호환되므로 저비용 백엔드 검사에 적합합니다. 안전하고 인체공학적 설계는 얇고 뒤틀린 웨이퍼를 포함한 웨이퍼를 효과적으로 이송하면서 작업자의 안전을 유지합니다.

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카메라 및 소프트웨어 솔루션

고해상도 및 높은 색재현성을 제공하는 디지털 카메라를 이용할 수 있습니다. Olympus 토털 솔루션은 기본 이미지 캡처에서 이미지 처리, 측정 및 보고 생성까지 통합된 기능들을 제공하는 첨단 이미징 소프트웨어와 함께 결합됩니다.

Stream Enterprise

데이터 관리 기능이 통합된 Stream Enterprise 소프트웨어는 최신 표준에 따라 정량적 측정 및 전문적 보고에 바로 사용할 수 있는 선명하고 깨끗한 이미지를 얻기 위한 단계별 지능형 워크플로를 제공합니다.

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현미경용 디지털 카메라

Olympus 디지털 카메라는 현미경 전용으로 설계되었으며, 오늘날 필수 불가결한 옵션이 되었습니다. 모든 카메라는 Olympus 현미경 및 이미징 분석 소프트웨어 시스템으로 최고의 디지털 이미징 성능이 확인됐습니다.

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