高质量紧凑型显微镜装配件
BXC系列提供了您所了解和信任的Evident公司的高质量显微镜部件,而且它们结构紧凑、可安装、可配置。这些现成的光学机械配件可以随时被设计到您的科学仪器和设备中。
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您将构建什么配置?
作为我们BX显微镜系列的成员,BXC显微镜组件结构紧凑,专为OEM集成和开发而设计。它们采用模块化设计,用途广泛,是检测或成像应用的优选装置,如可集成到用于晶圆对准、凸点测量和图像拼接的设备仪器中。
BXC系列配置示例
BX53M | BXC-CBRML系统 | BXC-CBB系统 |
常规显微镜
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Entry(入门型)
只使用一个 BF 物镜,可节省空间
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Versatile(多功能型)
基本紧凑型装配件
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Advanced(高级型)
用于无尘 室的全电动配件
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了解详情 |
高性能物镜
高数值孔径和长工作距离相结合
物镜对显微镜的性能至关重要。MXPLFLN物镜通过同时最大化数值孔径和工作距离,为MPLFLN系列的落射照明成像增加了深度。在20倍和50倍放大倍率下,更高的分辨率通常意味着较短的工作距离,这就迫使样品或物镜在更换样品时回缩,并且需要在观察过程种放慢样品处理的速度。在许多情况下,MXPLFLN系列的3毫米工作距离可解决这一问题:因为降低了物镜碰到样品的几率,从而可以更快地进行检测。
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改进的图像平场性
MPLFLN
2.5倍、5倍和5倍明场/暗场物镜的图像平场性得到了改善,使其能够更快地在低放大倍率下获得拼接图像。为了提高暗场观测的通量,我们推出了明场/暗场2.5倍物镜:MPLFLN2.5XBD。
宽光谱范围
从可见光到近红外(NIR),我们先进的光学制造和镀膜技术为用户和制造商提供了各种物镜和镜筒透镜组合,用标准产品简化了他们对系统的要求。
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三种可用物镜的透射率曲线 |
波前像差控制
MXPLFLN系列物镜采用了高端制造工艺,通过波前像差控制挑选透镜来装配物镜。这种工艺可使设备性能的变化保持在很低水平。
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系统设计和自动化的高级选项
多功能定向暗场
暗场用于观察来自样品的散射或衍射光,例如镜面或半导体晶圆上的划痕或缺陷。MIX滑块无需大型专用光学器件即可实现暗场,并通过16个可单独控制的LED光源增强了传统暗场,可使您控制照射在样品上的光的方向。此外,这种通过使用MIX滑块实现的定向暗场技术还可与明场、简易偏光或荧光观测相结合。
MIX滑块(顶部)
U-MIXR-2 | MIX滑块(底部)
U-MIXR-2 |
暗场
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带明场的MIX
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多种多样的 物镜转盘
随着自动化需求的增加,对电动物镜转盘的需求也随之增加。Evident公司的U-D5BDREMC和U-D6BDREMC五孔和六孔电动物镜转盘的性能已经得到证实。现在,U-D5BDREMC-VA
1级无尘室兼容电动物镜转盘,使用抽真空方式清除灰尘和其他颗粒。手动、编码和可对中物镜转盘以及用于单个物镜的适配器可配置到BXC组件中。
| 带真空功能的电动BD物镜转盘U-D5BDREMC-VA | 测量物镜适配器STM7-MMOBAD |
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自动对焦传感器装置
BXC-FSU使用1级*激光器实现多点传感,以监控焦点位置的方向和聚焦状态。这种传感器针对低对比度的样品(如裸晶圆)效果很好。使用独特的算法可输出稳定的对焦信号,而不受物镜放大倍率和周边光线所造成噪音的影响。指令参考手册、说明手册和示例软件可在我们的网站上获取。应用手册可应要求提供。
*1级激光器为封闭式,因此不需要额外的安全措施。 | | 自动对焦传感装置BXC-FSU |
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紧凑型控制盒
BXC-CBRML和BXC-CBB控制箱占地面积小,无风扇,并且可选择不同的安装方式(如壁挂式或吸顶式)。根据控制盒的不同,可将MIX滑块、照明器、电动物镜转盘和LED光源等功能集成在一起,并使用您的软件进行控制。
了解更多
我们提供各种资料以支持我们的OEM客户。点击此处,访问我们的OEM资源库页面,您可以找到产品信息说明、手册、软件下载,以及其他有用的内容。
| 控制箱BXC-CBRML |
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