Die BXC-Serie bietet die bewährten und zuverlässigen Mikroskopkomponenten von Evident, jedoch in einer kompakten, montierbaren und konfigurierbaren Form. Diese optisch-mechanischen Standardeinheiten lassen sich in alle wissenschaftlichen Geräte integrieren.
Welche Konfiguration benötigen Sie?
Als Teil unserer BX-Mikroskopserie sind die BXC-Mikroskopkomponenten kompakt und für die OEM-Integration und -Entwicklung ausgelegt. Dank ihrer Vielseitigkeit und Modularität sind sie eine gute Wahl für Prüf- oder Bildgebungsanwendungen, z. B. Geräte für die Waferausrichtung, Bump-Höhenmessung und das Zusammenfügen von Bildern.
Konfigurationsbeispiele der BXC-Serie
BX53M
BXC-CBRML-System
BXC-CBB-System
Herkömmliches Mikroskop
Entry
Mehr Platz durch nur ein HF-Objektiv
Versatile
Einfache und kompakte Einheiten
Advanced
Komplett motorgesteuerte Einheiten für Reinräume
Mit hoher numerischer Apertur und großem Arbeitsabstand
Objektive bestimmen maßgeblich die Leistung eines Mikroskops. Die MXPLFLN-Objektive erweitern die MPLFLN-Serie für die Bildgebung mit EPI-Beleuchtung, da sie gleichzeitig die numerische Apertur und den Arbeitsabstand maximieren. Höhere Auflösungen bei 20- und 50-facher Vergrößerung bedeuten normalerweise kürzere Arbeitsabstände, sodass die Probe oder das Objektiv beim Objektivwechsel zurückgefahren werden müssen.
In vielen Fällen ist der Arbeitsabstand von 3 mm der MXPLFLN-Serie die Lösung für dieses Problem: Die Untersuchungen können schneller durchgeführt werden und es besteht ein geringes Risiko, dass das Objektiv die Probe berührt.
Verbesserte Bildebenheit
Die Bildebenheit der MPLFLN 2,5X-, 5X- und 5X- Hellfeld-/Dunkelfeld-Objektive wurde verbessert, sodass Bilder bei niedrigen Vergrößerungen schneller zusammengesetzt werden können. Für einen höheren Durchsatz bei der Dunkelfeldmikroskopie wurde ein Hellfeld-/Dunkelfeld-2,5X-Objektiv eingeführt: das MPLFLN2.5XBD.
Großer Spektralbereich
Vom sichtbaren Spektrum bis zum Nahinfrarotbereich (NIR) bietet unsere moderne optische Fertigungs- und Beschichtungstechnologie Anwendern und Herstellern viele Objektiv- und Tubuslinsenkombinationen, um Systemanforderungen mit Standardprodukten einfacher zu erfüllen.
Transmissionskurven von drei verfügbaren Objektiven
Wellenfront-Aberrationskontrolle
Für die Objektive der MXPLFLN-Serie werden High-End-Fertigungsverfahren eingesetzt, wie z. B. die Wellenfront-aberrationsgesteuerte Auswahl der Objektiveinheiten. Durch dieses Verfahren werden Variationen der Geräteeigenschaften auf ein Minimum reduziert.
Dunkelfeld wird verwendet, um gestreutes oder gebeugtes Licht von einer Probe (durch Kratzer oder Fehler) auf einer reflektierenden Oberfläche oder einem Halbleiter-Wafer zu beobachten. Der MIX-Schieberegler ermöglicht Dunkelfeldbetrachtungen ohne große Spezialoptiken und erweitert das herkömmliche Dunkelfeld durch 16 einzeln steuerbare LEDs, mit denen die Richtung des Lichts, das auf die Probe fällt, gesteuert werden kann. Zudem kann diese gerichtete
Dunkelfeldtechnik, die durch Verwendung des MIX-Schiebereglers erreicht wird, für Betrachtung mit Hellfeld, einfachem polarisiertem Licht oder Fluoreszenz kombiniert werden.
MIX-Schieberegler (Oberseite)
U-MIXR-2
MIX-Schieberegler (Unterseite)
U-MIXR-2
Dunkelfeld
MIX mit Hellfeld
Große Auswahl an Objektivrevolvern
Mit zunehmender Automatisierung wächst auch die Nachfrage nach motorgesteuerten Objektivrevolvern. Die leistungsfähigen motorgesteuerten U-D5BDREMC und U-D6BDREMC Objektivrevolver von Evident mit fünf und sechs Positionen haben sich bewährt. Der für Reinräume der Klasse 1 geeignete motorgesteuerte U-D5BDREMC-VA Objektivrevolver entfernt Staub und andere Partikel unter Verwendung eines Vakuums. BXC-Einheiten können mit einem
manuellen, codierten und zentrierbaren Objektivrevolver sowie mit Objektivadaptern versehen werden.
Motorgesteuerter U-D5BDREMC-VA BD-Objektivrevolver mit Vakuumfunktion
STM7-MMOBAD Messobjektiv-Adapter
Autofokus-Sensoreinheit
In der BXC-FSU Autofokus-Einheit wird ein Laser der Klasse 1* zur aktiven Mehrpunktabtastung und Überwachung der Richtung der Fokusposition und des Fokusstatus verwendet. Dieser Sensor eignet sich für kontrastarme Proben, wie unstrukturierte Wafer. Ein einzigartiger Algorithmus liefert ein stabiles Fokussignal, unabhängig von der Vergrößerung des Objektivs und dem Rauschen, das durch peripheres Licht verursacht wird. Das
Befehlsreferenzhandbuch, das Benutzerhandbuch und die Beispielsoftware sind auf unserer Website verfügbar. Anwendungshandbücher sind auf Anfrage erhältlich.
* Der Laser der Klasse 1 ist eingehaust, sodass keine zusätzlichen Sicherheitsmaßnahmen erforderlich sind.
BXC-FSU Autofokus-Sensoreinheit
Kompakte Steuereinheit
Vorteile der BXC-CBRML und BXC-CBBSteuereinheit sind die kleine Stellfläche, der fehlende Lüfter und variable Montagemöglichkeiten (z. B. Wand oder Decke). Je nach Steuereinheit können Funktionen wie MIX-Schieberegler, Beleuchtung, motorgesteuerter Objektivrevolver und LED-Lichtquelle integriert und über die Software gesteuert werden.
Mehr erfahren
Wir bieten eine ganze Reihe von Ressourcen zur Unterstützung unserer OEM-Kunden. Klicken Sie hier, um unsere OEM-Ressourcenseite zu besuchen. Dort finden Sie Broschüren, Handbücher, Software-Downloadsund andere hilfreiche Inhalte.
BXC-CBRML Steuergerät
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