Evident检测显微镜为用户提供了可通过各种观察方法查看样品的灵活性。这些观察方法包括MIX观察，这是一种可以将暗场与另一种观察方法（如明场、简单偏振或荧光）组合在一起使用的照明方法，可以在单次观察中显示样品的更多情况。MIX观察也称为MIX照明或MIX技术。
图1. MIX观察的示意图。
将我们的U-MIXR-2 MIX滑块插入到检测显微镜的旋转物镜转换器中，就可以使用这种观察方法了。请继续阅读，了解有关MIX观察及其如何有助于晶圆缺陷检测的更多信息。
图2. U-MIXR-2 MIX滑块的正面图和反面图。
图3. 安装在带有U-KMAS照明器的设备上的紧凑型显微镜，照明器配备有MIX滑块。
使用明场和暗场进行半导体晶圆缺陷检测
通过MIX观察将明场和暗场结合起来，对于晶圆缺陷检测特别有用。明场可增强表面细节，如颜色，而暗场可增强边缘细节，如微小划痕和缺陷。通过将明场和暗场组合成一种观察方法，用户可以同时查看晶圆的图案和颜色。
图4. 将明场和暗场观察结合在一起，可同时显示晶圆的颜色和集成电路（IC）图案，从而可使您快速发现潜在的问题，且节省了检测时间。
使用荧光和暗场识别晶圆的位置
使用MIX观察的另一种有用的方法是将荧光和暗场结合在一起。 在半导体检测中，荧光照明通常用于检测残留的光刻胶颗粒。然而，在使用荧光照明方法时，通常很难确定物体的位置。好消息是，可以使用暗场找到物体的位置。在晶圆检测中，通过MIX观察将荧光和暗场相结合，可以确定晶圆的位置，观察其图案形状，并发现不需要的抗蚀剂。
图5. 将荧光和暗场观察结合在一起，改进了对集成电路（IC）图案和残留物的检测。
使用定向暗场的灵活照明
MIX照明的一个重要优势是定向暗场功能，它可使您控制照射到样品上的光量和光的方向。16个LED灯可单独控制，以从任意方向倾斜照亮物体。这个功能不仅可使您区分凸起和凹陷的表面，还可突出显示新特征和缺陷。您还可以将定向暗场与明场、偏光、透射光或荧光相结合，以进一步增强细节。
请看下面的图像，了解定向暗场的示例：
图6. 通过MIX观察将定向暗场与另一种观察方法相结合，增强了带状电缆的表面细节。转盘上的蓝色表示来自定向暗场的光的方向，而红色圆圈表示被观察的区域。
图6中从左到右4张图片的说明如下：
- 使用明场和暗场相结合的MIX观察可使您同时观察到聚酰亚胺外皮表面和铜箔
- 使用明场和暗场相结合的MIX观察方法从上方斜射，可使您同时观察下方倾斜的平面部分和形状
- 使用明场和暗场相结合的MIX观察从下方斜射，可使您观察上方倾斜的平面部分和形状
- 使用偏光和暗场相结合的MIX观察可使您同时观察污染物和凹陷的形状
在仪器设计中融入MIX观察
MIX观察可以在单次观察中显示样品的更多情况，节省了检测时间；对于需要将暗场和其他观察方法组合在一起使用的应用，MIX观察是一个非常有用的工具。
- BX53M正置金相显微镜
- GX53倒置金相显微镜
- MX63 / MX63L晶圆检测显微镜
- STM7测量显微镜
- BXFM模块化显微镜
此外，我们的BX系列和MX系列显微镜的较早型号可以通过使用额外的组件得到更新：添加MIX观察功能。
要了解关于将高质量光学元件集成到您的成像设备中的更多信息，请访问我们的OEM资源中心。您也可以访问我们的工业显微镜页面，了解使用MIX照明的显微镜。
