工业显微镜

AL120

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AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆，非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。

概览
技术规格
PDF版产品信息

适应范围广、搭配灵活
高度实用性
高度可靠性

适应范围广、搭配灵活

对应多种尺寸组合

我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号。除此以外，您还可以根据检查模式，选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。

晶圆尺寸•厚度对应表

薄片检查

对应薄片制造厂家的需求，AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。

高度实用性

进一步优化的宏观检查

背面宏观360゜旋转

宏观检查手臂可以360゜旋转，更为容易发现伤痕和微尘。
利用360゜旋转功能，完全可以目视检查整个晶圆（包括边缘）。此外，在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆最大倾斜30゜进行观察。

操作便捷

为了满足各种常规检查的要求，AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序。
晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT，便于操作者再次确认。
AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口／平面，可以减少晶圆和设备之间的接触，提高晶圆的清洁度。

高度可靠性

优先考虑晶圆和操作者的安全

为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计。
在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。

坚固、耐用的显微镜底座

AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法，包括：明视场、暗视场、微分干涉（DIC）、近IR（近红外线）和DUV（深紫外线），实现了卓越的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。

人机工程学设计的载物台

手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。

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晶圆搬送机 AL120 规格
		200 mm专用型	200 mm/150 mm 兼用型				150 mm型
		AL120- LMB8- 90	AL120- LMB86- 180	AL120- L86- 180	AL120- LMB86	AL120- L86	AL120- LMB6- 150	AL120- L6- 150
晶圆尺寸（SEMI规格）		200mm	200mm / 150mm				150mm / 125mm / 100mm
晶圆最小厚度		90µm	180µm		400µm		150µm
片盒类型*		SEMI规格：25（26）个slot
片盒数		1
检查模式		全部检查／抽样检查
搬运顺序	微观检查（显微镜检查）	○	○	○	○	○	○	○
	表面宏观检查	○	○		○		○
	背面宏观检查	○	○		○		○
	二次背面宏观检查	○	○		○		○
晶圆定位（每 90º）		非接触（定位平边／V型槽）					非接触（定位平边）
适配显微镜型号		奥林巴斯半导体检查显微镜 MX61
尺寸（mm）		主机部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配备显微镜时：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H)					主机部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配备显微镜时：980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
重量（kg）（仅主机部分）		44	44	41	44	41	40	37
使用环境（电源／真空）		AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上