光学测量装置

STM6

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STM6显微镜拥有亚微米级的精度，实现了优异的通用性，可对各种零部件和电子元件进行高性能的二轴或三轴测量。低倍率选项使之成为精密工具制造者的理想选择。

概览
技术规格
PDF版产品信息

节省空间的设计和不同规格的高精度载物台
高精度和耐用性
注重操作性的机体设计
重复性好的调焦系统
扩展观察和测量范围的附件
实现更高级测量的系统

节省空间的设计和不同规格的高精度载物台

无需选择安装场所，节省空间

节省空间的设计

295 mm(W)×429.4 mm(D)规格的紧凑机体不仅凝聚了多种功能，还实现了节省空间的小型化设计。

4种规格载物台，可以按需选用

粗调／细调同轴的旋转手柄

可以根据用途从4种规格的载物台中选择所需型号。50×50 mm、100×50 mm、100×100 mm三种载物台采用了粗调／细调同轴的旋转手柄；150×100 mm载物台则采用了离合器释放机构，使高速移动和细微的位置调整成为可能。

MM6C-CS150（150×100 mm载物台）	MM6C-CS100（100×100 mm载物台）
MM6C-CS100R（100×50 mm载物台）	MM6C-CS50（50×50 mm载物台）

高精度和耐用性

历经时间考验的高刚性机体和载物台

FEM分析

刚性对于测量仪器的精度保持是最重要的，为了长时间维持仪器的精度不变，奥林巴斯开发出了坚固、不变形的高度刚性机体和载物台。在导轨上采用了能得到高直度的线性引导机构，还内置了独创的光栅尺，确保了仪器精度的可靠性。

光栅尺实现了亚微米级的分辨率

光栅尺	光栅尺的精度直接影响测量显微镜的精度。奥林巴斯采用独创的高精度光栅尺读取系统将光学信息转化为电信息来准确测量。此外，奥林巴斯还根据阿贝定理（需要测量的长度和标尺，在其测量方向上并排成一条直线时，误差最小）确定标尺的内置位置，最大程度的减少了误差。

国际标准的溯源体系

为了实现高精度的产品质量，从制造到装配的每一个阶段，奥林巴斯都配备了日本国内一流的生产环境。在管理严格的恒温工厂中，技能娴熟的员工精密加工仔细挑选的原材料，精心打造每一件产品。此外，从零部件到成品，所有的生产步骤都实行了严格的溯源体系管理。

测量显微镜溯源体系图

注重操作性的机体设计

快速完成Z轴测量的电动调焦机构

采用了电动调焦机构，大幅度提高了调焦和测量高度、深度时的操作性能。使用Z控制器可以轻松切换粗调和4个级别的微调（800、400、200、50 μm），在很大程度上减轻了工作疲劳。

Z轴控制器

电动调焦按钮(上下移动)
自动对焦按钮
设置按钮，用于设置上限和下限
停止自动对焦按钮
Z轴重设按钮
调焦手柄
数据输出按钮
粗调/微调转换按钮

配置在易观察位置上的计数器

计数器	计数器与显微镜机体一体化，它的显示器部分与观察员的视线几乎等高，易于观察。稍微移动视线就可以确认测量值，便于集中精神观察样品、调节样品位置。

提高边缘检测能力、外观检查能力的UIS2光学系统和LED照明

采用了有着高分辨率和高对比度的UIS2光学系统，以及能真实的再现样品色彩、并且色调不受照明亮度影响的LED照明。这种设计大幅度提高了边缘的可见性和测量能力、外观检查能力。此外，LED照明不会出现灯光闪烁不定和亮度变化，能减轻长时间工作时的眼部疲劳。

白色LED

卤素灯

考虑了人眼分辨能力的米字线，使位置调节变得简单

米字线	在测量显微镜中如何正确的对准测量物体和米字线是很重要的。直线校准时，与使用一根直线相比，使用米字线和虚线能得出更为正确的结果。奥林巴斯分析了人眼的这种特性和人眼的分辨能力，在焦面板上加入米字线和虚线，提高了对准的精度。

重复性好的调焦系统

易于追加的高精度自动调焦系统

搭载了单次对焦和跟踪对焦两种模式。需要谨慎而细密的操作才能完成的目视测量高度和深度，通过灵活运用操作模式可以实现自动化。这样，不仅消除了因个人差异产生的偏差，还能够手不离开XY手柄完成观察，大幅度提高了Z轴测量的效率。而且，因为属于中间镜筒类型，所以能够购买之后续订安装。

【一键对焦模式】
在粗略对焦状态下进行自动调焦，能在瞬间将焦点对准视场中心。

【追踪对焦模式】
在追踪焦点位置的同时，始终保持对准焦点的状态。测量时不需要重新调焦，提高了工作效率。

不同物镜的自动调焦性能一览表
物镜	再现性能（2σn-1）^※1	点直径^※2
LMPLFLN20×	2µm	ø5µm
LMPLFLN50×	1µm	ø2µm
LMPLFLN100×	1µm	ø1µm

＊1 本公司标准样品得出的值。
＊2 计算得出的理论值。

只要将图标的偏离对齐，就能高精度测量样品高度的辅助聚焦系统

用于10×～50×物镜，对应反射明视场和反射暗视场观察。通过对齐投影在样品上的图标上下偏移，完成对高度的测量。与目视对焦相比，提高了重复性，减小了因个人差异产生的测量偏差。能对应多种样品的图标易于对焦，大幅度缩短了测量时间。

辅助聚焦系统示意图
前焦点位置	焦点位置	后焦点位置

扩展观察和测量范围的附件

反射照明单元

备有3种反射照明单元，能对应多种测量范围。对应测量物镜和使用物镜转换器的金相物镜，可以用于明视场、暗视场和微分干涉观察。可以根据用途追加单元，升级系统。

旋转载物台

易于对样品进行平行校准。

MM6-RS2 旋转式载物台，2型
(用于MM6C-CS150AS和MM6C-CS150)

MM6-RS1 旋转式载物台，1型
(用于MM6C-CS100和MM6C-CS100R)

白色LED照明单元

白色LED照明

白色LED光源不会出现灯光闪烁不定和亮度变化，寿命长、省电、小型轻巧、性价比高。

可以分为4个独立照明的LED照明装置

以高色温提供清晰影像的反射LED环形照明。可以分为4个独立的照明部分。共有13种照明模式，可以按需选择最合适的照明模式。

使用数码照相机记录和保存数码影像

三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

> 点击这里查阅数码照相机产品

实现更高级测量的系统

搭载了多种功能的运算装置

运算装置	因为无需对样品和载物台进行平行校准所以只需将样品放入载物台后就能立即开始测量。只要输入点数据就能进行2维运算处理，并在显示器上显示测量中的校准项目和测量项目的说明。测量结果由内置打印机输出。此外，可以将获得的测量数据传送到电脑，使用表计算软件加工数据。

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测量显微镜 STM6 规格
光学系统			UIS2光学系（无限远校正）
机身	观察方法		明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光
	反射/透射		反射/透射
	照明系统		10 WLED白色照明（反射照明用），10 WLED绿色照明（透射用）
	对焦单元	电动/手动	手动［手动双轴/三轴型］电动［电动三轴型］
		行程	155 mm
		粗调速度	4.8 mm/sec［电动三轴型］
		微调速度（可选）	800 μm/400 μm/200 μm/50 μm （旋钮旋转一周）四个级别［电动三轴型］
		最大样本高度	155 mm（金相物镜），100 mm（测量物镜）
		Z轴测量范围	155 mm（金相物镜），100 mm（测量物镜）［手动三轴型/电动三轴型］
	物镜		测量物镜/金属物镜
镜筒			正像单目观察筒，正像三目观察筒（100：0/ 0：100 ）
载物台	行程		50(X)x50(Y)mm 100(X)x50(Y)mm 100(X)x100(Y)mm 150(X)x100(Y)mm
	测量精度		50 mm划动：（3+L/50）μm［L：测量长度（mm）］ 100 mm划动：（3+2L/100）μm［L：测量长度（mm）］ 150 mm划动：（3+3L/150）μm［L：测量长度（mm）］
计数器	最小读数分辨率		0.5 μm［手动双轴型］ 0.1/0.5 μm（可选）［手动三轴型］ 0.1 μm［电动三轴型］
选件			运算装置/自动调焦/辅助对焦
外形尺寸			465（W）×437（D）×596（H）mm［手动双轴型］ 465（W）×437（D）×592（H）mm［手动三轴型］ 465（W）×437（D）×696（H）mm［电动三轴型］
重量			94 kg（标准组合）［手动双轴型］ 95 kg（标准组合）［手动三轴型］ 97 kg（标准组合）［电动三轴型］