概览
高质量紧凑型显微镜装配件BXC系列提供了您所了解和信任的Evident公司的高质量显微镜部件,而且它们结构紧凑、可安装、可配置。这些现成的光学机械配件可以随时被设计到您的科学仪器和设备中。 |
您将构建什么配置?作为我们BX显微镜系列的成员,BXC显微镜组件结构紧凑,专为OEM集成和开发而设计。它们采用模块化设计,用途广泛,是检测或成像应用的优选装置,如可集成到用于晶圆对准、凸点测量和图像拼接的设备仪器中。 BXC系列配置示例
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高性能物镜
改进的图像平场性 MPLFLN 2.5倍、5倍和5倍明场/暗场物镜的图像平场性得到了改善,使其能够更快地在低放大倍率下获得拼接图像。为了提高暗场观测的通量,我们推出了明场/暗场2.5倍物镜:MPLFLN2.5XBD。
波前像差控制 MXPLFLN系列物镜采用了高端制造工艺,通过波前像差控制挑选透镜来装配物镜。这种工艺可使设备性能的变化保持在很低水平。 |
系统设计和自动化的高级选项
多功能定向暗场 暗场用于观察来自样品的散射或衍射光,例如镜面或半导体晶圆上的划痕或缺陷。MIX滑块无需大型专用光学器件即可实现暗场,并通过16个可单独控制的LED光源增强了传统暗场,可使您控制照射在样品上的光的方向。此外,这种通过使用MIX滑块实现的定向暗场技术还可与明场、简易偏光或荧光观测相结合。
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技术参数
BXC系列规格
BXC-CBRML系统 | BXC-CBB系统 | |||
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Entry(入门型) 只使用一个BF物镜,可节省空间 | Versatile(多功能型) 基本紧凑型装配件 | Advanced(高级型) 用于无尘室的全电动装配件 | ||
配置示例 | BXFM-F、BXFM-ILHS、U-SWATLU、U-KMAS、BX3M-LEDR、CMP-LLHECBL、BXC-CBRML、STM7-MMOBAD BD-M-AD、SLMPLN20X | BXFM-F, BXFM-ILHS、U-SWATLU、U-KMAS、BX3M-LEDR、CMP-LLHECBL、U-D5BDREMC、BXC-REMECBL、U-MIXR-2、U-MIXRECBL、BXC-CBRML、MPLFLN5XBD2、LMPLFLN20XBD、LMPLFLN50XBD | BXC-FSU、BXC-RLI、U-SWATLU、BX3M-LEDR、U-D5BDREMC-VA、BXC-CBB、BXC-CBE1、BXC-LCBL1M、BXC-LCBL3M、MPLFLN2.5XBD、MPLFLN5XBD2、MPLFLN10XBD-2、MXPLFLN20XBD、MXPLFLN50XBD | |
物镜 | 20X NA:0.25,WD:25 mm |
5X NA:0.15,WD:12 mm
20X NA:0.4,WD:12 mm 50X NA:0.5,WD:10.6 mm |
2.5X NA:0.08,WD:8.7 mm
5X NA:0.15,WD:12 mm 10X NA:0.3,WD:6.5 mm 20X NA:0.55,WD:3 mm 50X NA:0.8,WD:3 mm | |
最小分辨率 @λ=550 nm | 1.34 μm(20X物镜) | 0.67 μm(50X物镜) | 0.42 μm(50X物镜) | |
最大景深 @λ=550 nm | ± 4.4 μm(20X物镜) | ±12.2 μm(5X物镜) | ± 43 μm(2.5X物镜) | |
重量 — 不含 BXFM-F、底座、控制器 | 3.4 kg | 4 kg | 8.3 kg | |
观察模式 | BF | BF、DF、MIX | BF、DF | |
Z轴行程 | 30 mm(手动) | 30 mm(手动) | 硬件由集成商提供 | |
自动聚焦支持 | — | — | 提高 | |
滤光片滑块槽 | 3 | 3 | 1 | |
物镜转盘 | 电动 | — | 提供 | 提供 |
真空 | — | — | 提供 | |
最大目镜数 | 1 | 5 | 5 | |
光场数(mm) | 26.5 | 26.5 | 26.5 | |
孔径光阑 | — | — | 提供 | |
尺寸:不含BXFM-F、底盘、控制器(宽 × 深 × 高) | 108 mm × 249 mm × 215 mm | 108 mm × 249 mm × 230 mm | 132 mm × 404 mm × 277 mm |
*这些都是配置示例。请与您当地的代表合作,选择符合您要求的组件。 |
资源库
产品信息说明册手册 |