Überblick
Hochwertige kompakte Mikroskop-BaugruppenDie BXC-Serie bietet die bewährten und zuverlässigen Mikroskopkomponenten von Evident, jedoch in einer kompakten, montierbaren und konfigurierbaren Form. Diese optisch-mechanischen Standardeinheiten lassen sich in alle wissenschaftlichen Geräte integrieren. |
Welche Konfiguration benötigen Sie?Als Teil unserer BX-Mikroskopserie sind die BXC-Mikroskopkomponenten kompakt und für die OEM-Integration und -Entwicklung ausgelegt. Dank ihrer Vielseitigkeit und Modularität sind sie eine gute Wahl für Prüf- oder Bildgebungsanwendungen, z. B. Geräte für die Waferausrichtung, Bump-Höhenmessung und das Zusammenfügen von Bildern. Konfigurationsbeispiele der BXC-Serie
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Leistungsstarke Objektive
Verbesserte Bildebenheit Die Bildebenheit der MPLFLN 2,5X-, 5X- und 5X- Hellfeld-/Dunkelfeld-Objektive wurde verbessert, sodass Bilder bei niedrigen Vergrößerungen schneller zusammengesetzt werden können. Für einen höheren Durchsatz bei der Dunkelfeldmikroskopie wurde ein Hellfeld-/Dunkelfeld-2,5X-Objektiv eingeführt: das MPLFLN2.5XBD.
Wellenfront-Aberrationskontrolle Für die Objektive der MXPLFLN-Serie werden High-End-Fertigungsverfahren eingesetzt, wie z. B. die Wellenfront-aberrationsgesteuerte Auswahl der Objektiveinheiten. Durch dieses Verfahren werden Variationen der Geräteeigenschaften auf ein Minimum reduziert. |
Erweiterte Optionen für Produktentwicklung und Automatisierung
Vielseitiges gerichtetes Dunkelfeld Dunkelfeld wird verwendet, um gestreutes oder gebeugtes Licht von einer Probe (durch Kratzer oder Fehler) auf einer reflektierenden Oberfläche oder einem Halbleiter-Wafer zu beobachten. Der MIX-Schieberegler ermöglicht Dunkelfeldbetrachtungen ohne große Spezialoptiken und erweitert das herkömmliche Dunkelfeld durch 16 einzeln steuerbare LEDs, mit denen die Richtung des Lichts, das auf die Probe fällt, gesteuert werden kann. Zudem kann diese gerichtete Dunkelfeldtechnik, die durch Verwendung des MIX-Schiebereglers erreicht wird, für Betrachtung mit Hellfeld, einfachem polarisiertem Licht oder Fluoreszenz kombiniert werden.
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Technische Angaben
Spezifikationen der BXC-Serie
BXC-CBRML System | BXC-CBB System | |||
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Entry Mehr Platz durch ein HF-Objektiv | Versatile Einfache und kompakte Einheiten | Advanced Komplett motorgesteuerte Einheiten für Reinräume | ||
Beispielkonfigurationen | BXFM-F, BXFM-ILHS, U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, BXC-CBRML, STM7-MMOBAD BD-M-AD, SLMPLN20X | BXFM-F, BXFM-ILHS, U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, U-D5BDREMC, BXC-REMECBL, U-MIXR-2, U-MIXRECBL, BXC-CBRML, MPLFLN5XBD2, LMPLFLN20XBD, LMPLFLN50XBD | BXC-FSU, BXC-RLI, U-SWATLU, BX3M-LEDR, U-D5BDREMC-VA, BXC-CBB, BXC-CBE1, BXC-LCBL1M, BXC-LCBL3M, MPLFLN2.5XBD, MPLFLN5XBD2, MPLFLN10XBD-2, MXPLFLN20XBD, MXPLFLN50XBD | |
Objektiv | 20X (NA: 0,25, AA: 25 mm) |
5X NA: 0,15, AA: 12 mm
20X NA: 0,4, AA: 12 mm 50X NA: 0,5, AA: 10,6 mm |
2,5X NA: 0,08, AA: 8,7 mm
5X NA: 0,15, AA: 12 mm 10X NA: 0,3, AA: 6,5 mm 20X NA: 0,55, AA: 3 mm 50X NA: 0,8, AA: 3 mm | |
Mindestauflösung bei λ=550 nm | 1,34 µm (20X-Objektiv) | 0,67 µm (50X-Objektiv) | 0,42 µm (50X-Objektiv) | |
Maximale Schärfentiefe bei λ=550 nm | ± 4,4 µm (20X-Objektiv) | ± 12,2 µm (5X-Objektiv) | ± 43 µm (2,5X-Objektiv) | |
Gewicht—ohne BXFM-F, Stativ, Controller | 3,4 kg | 4 kg | 8,3 kg | |
Mikroskopieverfahren | Hellfeld | HF, DF, MIX | HF, DF | |
Z-Hub | 30 mm (manuell) | 30 mm (manuell) | Vom Integrator bereitgestellte Hardware | |
Autofokus-Unterstützung | — | — | Verfügbar | |
Filter-Leerschieber-Schlitze | 3 | 3 | 1 | |
Objektivrevolver | Motorgesteuert | — | Verfügbar | Verfügbar |
Vakuum | — | — | Verfügbar | |
Max. Anzahl Objektive | 1 | 5 | 5 | |
Optische Sehfeldzahl (mm) | 26,5 | 26,5 | 26,5 | |
Aperturblende | — | — | Verfügbar | |
Abmessungen (B × T × H) – ohne BXFM-F, Stativ, Controller |
108 mm × 249 mm × 215 mm
(4,3 Zoll × 9,8 Zoll × 8,5 Zoll.) |
108 mm × 249 mm × 230 mm
(4,3 Zoll × 9,8 Zoll × 9 Zoll.) |
132 mm × 404 mm × 277 mm
(5,2 Zoll. × 15,9 Zoll. × 10,9 Zoll.) |
* Dies sind Beispielkonfigurationen. Kontaktieren Sie Ihren zuständigen Vertreter, um die Komponenten entsprechend zu Ihren Anforderungen auszuwählen. |