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时事报道
2019年 6月 3日

全新奥林巴斯 DSX1000 数码显微镜极大地提高了检验和分析速度

奥林巴斯公司(代表董事兼总裁:竹內康雄)宣布在全球范围内推出 DSX1000 数码显微镜,它极大地改善了用户的检验工作流程,能够通过简易的操作实现对各种样品的分析。这款新产品由奥林巴斯科学解决方案业务部于 2019 年 6 月 3 日面向全球发布。

DSX 系列数码显微镜将我们卓越的光学技术与先进的数字技术融为一体。DSX1000 数码显微镜用于观察和测量各种样品,包括电子元件和金属材料。此显微镜使用简单,只要放上样品,就可以轻松地完成 3D 观察、测量、报告自动生成等一系列操作。您只需要一台 DSX1000 显微镜就可满足各种观察和分析需要,改善检验的工作流程。镜头数量增加至 15 个,涵盖 20-7,000X 的放大倍率。用户还可以利用该显微镜的六种观察方法,对各种样品进行观察与测量。比如突出显示样品表面的不规则和轮廓形貌。显微镜头部和载物台可以分别进行 ± 90°的自由角度调节,从而满足对各种复杂外形样品的任意角度观察。另外,新开发的算法可以实现更快的 3D 图像采集,与传统数码显微镜相比,速度快了近十倍。最后,我们将根据每位用户的工作环境校准显微镜,以帮助用户实现精确、高效的观察和测量。

● 主要特点

  1. 放大倍率范围 20–7,000X,可旋转式载物台。
  2. 可迅速切换物镜和六种观察方式
  3. 远心光学系统保证了在整个放大范围内的测量准确度。


DSX 1000 数码显微镜。

● 主要特点的细节

1. 放大倍率范围 20–7,000X,可旋转式载物台

DSX1000 数码显微镜新增了 5 个物镜,物镜总数达到 15 个。20-7,000X 的放大倍率范围实现了精确观察,而长工作距离物镜则实现了对不规则样品的观察,例如电路板和机加工零件。显微镜头部和载物台都可以旋转 ± 90°,更易于观察和分析薄样品,如晶圆,或大型样品,如汽车部件。

20–7,000X 放大倍率下的晶圆图像对比

可调节的头部和载物台

显微镜头部和载物台可以分别旋转 ± 90°。

使用高分辨率长工作距离的物镜

长工作距离使用户能够观察不规则形状的电子基板。

2. 可迅速切换物镜和六种观察方式

显微镜的电动变焦光路结合了先进的观察功能,可实现六种观察方法和对比度增强功能:明场、暗场、MIX、偏光、简易偏振和微分干涉。偏光观察和对比度增强功能可以突出样品表面的不规则和轮廓形貌。例如,此功能可用于在观察晶圆表面较大的不规则形状与细微破损和划痕之间快速切换。从而用户可以观察到使用其他方法难以检测到的对象。

太阳能电池图像对比
(左图:明场观察,右图:偏光观察)

单侧光线照射突出了表面的不规则形状。该项技术适用于观察不规则形状、扭曲的样品和槽口。

集成电路 (IC) 芯片图像对比
(左图:常规;右图:带对比度增强功能)

色彩清晰明亮的图像替代了明暗图像。

3. 远心光学系统保证了在整个放大范围内的测量精确性。

汽车制造商、精密设备和其他产品制造商必须精确测量和分析产品的规格,以证明产品的安全性。DSX1000 数码显微镜使用远心光学系统,在整个放大范围内图像失真极低,实现了有保证的准确度和重复性的高精度测量。为了确保准确度,在完成 DSX1000 显微镜的安装后,奥林巴斯的技术人员将根据客户使用环境对每台显微镜进行校准。

远心光学系统和非远心光学系统的图像采集对比图

改变聚焦位置不会改变图像大小。

此新闻稿中的公司名称和产品名称分别是其对应公司的商标或注册商标。

*必须由奥林巴斯进行校准。

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六月 03, 2019
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