功能

观察和分析工具

• 先进的分析工具
• 支持洁净室合规性的先进设计

先进的分析工具

MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术和PRECiV图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和记录结果提供了更多选择。

从不可见到可见：MIX观察和图像采集

MIX观察技术通过将暗场与明场、荧光或偏振光等其他观察方法相结合，生成独特的观察图像。MIX观察技术使用户能够查看使用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用一个象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，对于样品表面纹理的可视化非常有用。

半导体晶圆上的结构

半导体晶圆上的光刻胶残留

聚光镜

轻松生成全景图像：即时MIA

使用多图像拼接（MIA）功能时，用户只需转动手动载物台上的KY旋钮，即可快速轻松完成图像拼接 — 电动载物台无需进行该操作。PRECiV软件采用模式识别生成全景图像，让用户获得更宽的视场。

硬币的即时MIA图像

生成全聚焦图像：EFI

PRECiV的景深扩展成像（EFI）功能可采集高度超出景深范围的样品图像，并将其合成一幅全聚焦图像。EFI可配合手动或电动Z轴聚焦装置使用，以生成高度图像，轻松实现对结构的可视化观察。在PRECiV Desktop离线时，也可以生成EFI图像。

集成电路芯片上的凸块

利用HDR同时采集明亮区域和暗光区域

采用先进图像处理技术的高动态范围（HDR）可调整图像内的亮度差异，从而减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质，有助于生成具有专业级外观的报告。

从基本测量到高级分析

测量对于质量、工艺控制和检测至关重要。鉴于这一点，即便是入门级PRECiV软件包也融入了交互式测量功能的全部菜单，并且所有测量结果都与图像文件一起保存以便存档。此外，PRECiV材料解决方案还为复杂图像分析提供面向工作流程的直观界面。只需单击一下按钮，即可快速精准执行图像分析任务。由于大幅缩减了重复任务的处理时间，操作员可以专注于手头的检测工作。

> 了解有关PRECiV软件的更多信息

高效的报告创建

与图像采集和测量相比，创建报告通常需要花费更长的时间。PRECiV软件提供了直观的报告创建功能，可以根据预定义的模板多次生成智能、复杂的报告。编辑操作非常简单，报告可导出为Microsoft Word或PowerPoint文件。此外，PRECiV软件的报告功能可对采集的图像进行数字变焦和倍率放大。报告文件大小适中，更便于通过电子邮件进行数据交换。

> 了解有关PRECiV软件的更多信息

支持洁净室合规性的先进设计

Mx63系列专为洁净室工作而设计，其配备的功能有助于大幅降低样品污染或受损风险。该系统采用人体工学设计，即使长时间使用也有助于保持用户的舒适性。MX63系列符合国际规范和标准要求，包括SEMI S2/S8、CE和UL。

选配晶圆搬送机 — AL120系统*

选配的晶圆搬送机可安装在MX63系列上，实现无需使用镊子或工具即可安全地将硅片及化合物半导体晶圆从片盒转移到显微镜载物台上。卓越的性能和可靠性可实现安全高效的前后宏观检测，同时搬送机还可帮助提高实验室工作效率。

MX63与AL120晶圆搬送机（200 mm版本）结合使用

* AL120未在欧洲、中东和非洲地区上市销售。

快速、洁净的检测

MX63系列可实现无污染的晶圆检测。所有电动组件均安装在防护结构壳内，显微镜镜架、镜筒、呼吸防护罩及其他部件均采用防静电处理。电动物镜转换器的转速比手动物镜转换器更快更安全，缩短检测间隔时间的同时，让操作人员的手始终保持在晶圆下方，避免了潜在的污染。

实现高效观察的系统设计

利用内置离合和XY旋钮，XY载物台能够实现对载物台移动的粗调和微调。即便针对300 mm晶圆这样的大尺寸样品，载物台也可帮助实现高效的观察。
可调倾角观察筒的调节范围可让操作人员以舒适的姿态坐在显微镜前工作。

接受所有晶圆尺寸