非常可靠的模块化系统概念
从未如此简单
六种BX53M推荐配置,使您可以灵活选择所需功能。 |
通用 | | 专用 |
| | |
入门
使用基本功能轻松设置 | |
标准
简单易用,
带有全面升级 | |
高级
支持多种高级功能 | |
荧光
非常适合
荧光观察 | |
红外
用于使用红外观察方法来检查集成电路 | |
偏光
用于观察双折射特性 |
LCD彩色滤光片 (透射/BF) | | 含铁素体晶粒的 微观结构 (反射/DF) | | 铜线圈 (BF + DF/MIX) | | IC图案上的涂层 (FL + DF/MIX) | | 硅层IC图案 (IR) | | 石棉 (POL) |
| | | | | | | | | | |
观察方法
R-BF:明场(反射)
T-BF:明场(反射/透射)
DF:暗场
DIC:微分干涉对比/简易偏光
MIX:混合
FL:荧光
IR:红外
POL:偏光 *选择反射/透射显微镜机身时,可以使用T-BF。 :标准 :选配 |
材料科学配置示例
模块化设计使得可以根据用户需求选择各种不同的配置。
以下是一些用于材料科学的配置示例。 |
BX53M反射光和反射光/透射光组合
BX3M系列中有两种类型的显微镜机身,一种仅用于反射光,另一种用于反射光和透射光。两种机身均可以配置手动、编码或电动部件。机身配备ESD功能,可保护电子样品。 | BX53MRF-S配置示例 | BX53MTRF-S配置示例 |
---|
|
BX53M IR组合
IR物镜可用于半导体检查、测量和处理应用,需要通过硅成像才能看到图案。5倍至100倍红外(IR)物镜可通过近红外可见光波长进行色差校正。对于高放大倍率的工作,旋转LCPLNIR系列透镜的校正环可校正样品厚度引起的像差。使用单个物镜可以获得清晰的图像。 |
---|
BX53M偏光组合
BX53M偏光的光学器件为地质学家提供了适合高对比度偏光成像的工具。矿物识别、晶体光学特性研究和固体岩石剖面观察等应用,都可以得益于其系统稳定性和精确的光学对准。 | BX53-P正交偏光配置 | BX53-P锥光镜/正交偏光配置 |
---|
用于锥光镜/正交偏光观察的勃氏透镜
使用U-CPA锥光镜观察附件后,正交偏光和锥光镜观察之间的切换简单而快捷。其可聚焦于清晰的后焦平面干涉图案。勃氏透镜视场光阑使其可以持续获取锐利而清晰的锥光图像。 | |
---|
|
各种补色器和波片
六种不同的补色器可用于测量岩石和矿物薄片的双折射。测量延迟水平为0至20λ。为了便于测量和获得高对比度图像,可以使用Berek和Senarmont补色器,它们可以改变整个视野的延迟水平。 |
---|
补色器测量范围
补色器
|
测量范围
|
主要应用
|
厚Berek(U-CTB)
|
0至11,000nm
(20λ)
|
高延迟水平测量(R*>3λ)
(晶体、高分子、纤维等)
|
Berek(U-CBE)
|
0至1,640nm
(3λ)
|
延迟水平测量
(晶体、高分子、生物体等)
|
Senarmont补色器(U-CSE)
|
0至546nm
(1λ)
|
延迟水平测量(晶体、生物体等)
图像对比增强(生物体等)
|
Brace-Koehler补色器
1/10λ(U-CBR1)
|
0至55nm
(1/10λ)
|
低延迟水平测量(生物体等)
图像对比增强(生物体等)
|
Brace-Koehler补色器
1/30λ(U-CBE2)
|
0至20nm
(1/30λ)
|
图像对比测量(生物体等)
|
石英楔(U-CWE2)
|
500至2,200nm
(4λ)
|
延迟水平近似测量
(晶体、高分子等)
|
|
*R = 延迟水平
为了使测量更准确,建议将补色器(U-CWE2除外)与干涉滤光片45-IF546一起使用。 |
无应力光学器件
由于奥林巴斯先进的设计和制造技术,UPLFLN-P无应力物镜可将内部应力降至最低。这意味着EF值更高,从而产生出色的图像对比度。 | |
|
BXFM系统
BXFM可以适应特殊应用或集成到其他仪器中。模块化结构可直接适应拥有各种特殊的小型照明灯和固定支架的独特环境和配置。 |
---|
显微镜机身
有两款显微镜机身适用于反射光,其中一款还具有透射光功能。提供用于升高照明灯的转接器,以容纳更高的样品。 | |
反射光
|
透射光
|
样品高度
|
1
|
BX53MRF-S
|
■
|
-
|
0至65mm
|
2
|
BX53MTRF-S
|
■
|
■
|
0至35mm
|
1, 3
|
BX53MRF-S + BX3M-ARMAD
|
■
|
-
|
40至105mm
|
2, 3
|
BX53MTRF-S + BX3M-ARMAD
|
■
|
■
|
40至75mm
|
适合显微镜的便捷配件
-
|
HP-2
|
手压装置
|
-
|
COVER-018
|
防尘罩
|
| |
架台
对于样品无法安装在载物台上的显微镜应用,可以将照明灯和光学器件安装到更大的架台或其他设备上。
BXFM + BX53M照明灯配置
1
|
BXFM-F
|
机身接口为墙挂式32mm支柱
|
2
|
BX3M-ILH
|
照明灯支架
|
3
|
BXFM-ILHSPU
|
适用于BXFM的缓冲弹簧
|
5
|
SZ-STL
|
大型架台
|
BXFM + U-KMAS照明灯配置
1
|
BXFM-F
|
机身接口为墙挂式32mm支柱
|
4
|
BXFM-ILHS
|
U-KMAS支架
|
5
|
SZ-STL
|
大型架台
|
| |
镜筒
对于目镜显微镜成像或相机观察,请根据成像类型和观察期间的操作员姿势选择镜筒。 | |
FN
|
类型
|
角度类型
|
图像
|
屈光度调整
机械装置数量
|
1
|
U-TR30-2
|
22
|
三目镜筒
|
固定
|
反像
|
1
|
2
|
U-TR30IR
|
22
|
IR用三目镜筒
|
固定
|
反像
|
1
|
3
|
U-ETR-4
|
22
|
三目镜筒
|
固定
|
正像
|
-
|
4
|
U-TTR-2
|
22
|
三目镜筒
|
倾斜
|
反像
|
-
|
5
|
U-SWTR-3
|
26.5
|
三目镜筒
|
固定
|
反像
|
-
|
6
|
U-SWETTR-5
|
26.5
|
三目镜筒
|
倾斜
|
正像
|
-
|
7
|
U-TLU
|
22
|
单口
|
-
|
-
|
-
|
8
|
U-SWATLU
|
26.5
|
单口
|
-
|
-
|
-
|
| |
照明灯
照明灯会根据选择的观察方法将光投射到样品上。软件与编码照明灯连接,以读取立方体位置并自动识别观察方法。 | |
| |
编码功能
|
光源
|
BF
|
DF
|
DIC
|
POL
|
IR
|
FL
|
MIX
|
AS/FS
|
1
|
BX3M-RLAS-S
|
固定3立方体位置
|
LED灯 - 内置
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
-
|
■
|
■
|
2
|
BX3M-URAS-S
|
可连接4立方体位置
|
LED灯
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
-
|
■
|
■
|
卤素灯
|
■
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
■
|
■
|
汞灯/光导装置
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
■
|
■
|
■
|
3
|
BX3M-RLA-S
| |
LED灯
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
-
|
■
|
■
|
卤素灯
|
■
|
■
|
■
|
■
|
■
|
-
|
■
|
■
|
4
|
BX3M-KMA-S
| |
LED灯 - 内置
|
■
|
-
|
■
|
■
|
-
|
-
|
■
|
-
|
5
|
BX3-ARM
|
透射光机械臂
|
6
|
U-KMAS
| |
LED灯
|
■
|
-
|
■
|
■
|
-
|
-
|
■
|
-
|
卤素灯
|
■
|
-
|
■
|
■
|
■
|
-
|
■
|
-
|
光源
用于样品照明的光源和电源,为观察方法选择合适的光源。 | |
标准LED光源配置
1
|
BX3M-LEDR
|
用于反射光的LED灯罩
|
2
|
U-RCV
|
用于BX3M-URAS-S的DF转换器,必要时需要使用DF和BF进行观察
|
3
|
BX3M-PSLED
|
LED灯罩的电源,需要BXFM系统
|
4
|
BX3M-LEDT
|
用于透射光的LED灯罩
|
荧光光源配置
5
|
U-LLGAD
|
光导装置转接器
|
2
|
U-RCV
|
用于BX3M-URAS-S的DF转换器,必要时需要使用DF进行观察
|
6
|
U-LLG150
|
光导装置,长度:1.5m
|
7
|
U-LGPS
|
用于荧光的光源
|
8, 9
|
U-LH100HG (HGAPO)
|
用于荧光的汞灯罩
|
2
|
U-RCV
|
用于BX3M-URAS-S的DF转换器,必要时需要使用DF进行观察
|
10
|
U-RFL-T
|
用于100W汞灯的电源
|
|
卤素灯和卤素IR光源配置
11
|
U-LH100IR
|
用于IR的卤素灯罩
|
12
|
U-RMT
|
卤素灯罩延长电缆,电缆长度1.7m(必要时需要使用延长电缆)
|
13, 14
|
TH4-100 (200)
|
用于100W/50W卤素灯的100V(200V)规格电源
|
15
|
TH4-HS
|
卤素灯光强度手控开关(调光器TH4-100 (200),不带手控开关)
|
|
物镜转盘
物镜和滑块附件。根据需要的物镜数量和类型进行选择;带/不带滑块附件。 | |
| |
类型
|
孔
|
BF
|
DF
|
DIC
|
MIX
|
ESD
|
定心孔
数量
|
1
|
U-P4RE
|
手动
|
4
|
■
| |
■
| | |
4
|
2
|
U-5RE-2
|
手动
|
5
|
■
| | | | | |
3
|
U-5RES-ESD
|
编码型
|
5
|
■
| | | |
■
| |
4
|
U-D6RE
|
手动
|
6
|
■
| |
■
| | | |
5
|
U-D6RES
|
编码型
|
6
|
■
| |
■
| | | |
6
|
U-D5BDREMC
|
电动
|
5
|
■
|
■
|
■
|
■
| | |
7
|
U-D6BDRE
|
手动
|
6
|
■
|
■
|
■
|
■
| | |
8
|
U-D5BDRES-ESD
|
编码型
|
5
|
■
|
■
|
■
|
■
|
■
| |
9
|
U-D6BDRES-S
|
编码型
|
6
|
■
|
■
|
■
|
■
|
■
| |
10
|
U-D6REMC
|
电动
|
6
|
■
| |
■
| | | |
11
|
U-D6BDREMC
|
电动
|
6
|
■
|
■
|
■
|
■
|
■
| |
12
|
U-D5BDREMC-VA
|
电动
|
5
|
■
|
■
| | | | |
滑块
选择滑块,对传统的明场观察进行补充。DIC滑块提供有关样品的形态信息,可选择将对比度或分辨率最大化。MIX滑块通过暗场路径中的分段LED光源提供灵活照明。 | |
DIC滑块
| |
类型
|
剪切数量
|
可用的物镜
|
1
|
U-DICR
|
标准
|
中等
|
MPLFLN、MPLAPON、LMPLFLN和LCPLFLN-LCD
|
MIX滑块
| |
可用的物镜
|
2
|
U-MIXR
|
MPLFLN-BD、LMPLFLN-BD、MPLN-BD
|
|
电缆
|
U-MIXRCBL*
|
U-MIXR电缆,电缆长度:0.5m
|
*仅限MIXR |
控制箱和手控开关
用于连接显微镜硬件和PC的控制箱,以及用于硬件显示和控制的手控开关。
BX3M-CB(CBFM)配置
1
|
BX3M-CB
|
BX53M系统控制箱
|
2
|
BX3M-CBFM
|
BXFM系统控制箱
|
3
|
BX3M-HS
|
MIX观察控件、编码硬件指示器、软件(PRECiV)的可编程功能按钮
|
4
|
BX3M-HSRE
|
电动物镜转盘旋转
|
电缆
-
|
BX3M-RMCBL(ECBL)
|
电动物镜转盘电缆,电缆长度:0.2m
|
| |
载物台
放置样品的载物台和载物台板。根据样品形状和大小进行选择。 | |
150mm × 100mm载物台配置
1
|
U-SIC64
|
150mm × 100mm平顶手柄工作台
|
2
|
U-SHG (T)
|
硅橡胶可操作性手柄橡胶改进型(厚型)
|
3
|
U-SP64
|
U-SIC64载物台板
|
4
|
U-WHP64
|
U-SIC64晶圆板
|
5
|
BH2-WHR43
|
4-3 in.晶圆支架
|
6
|
BH2-WHR54
|
5-4 in.晶圆支架
|
7
|
BH2-WHR65
|
6-5 in.晶圆支架
|
8
|
U-SPG64
|
U-SIC64玻璃板
|
76 mm × 52 mm载物台配置
13
|
U-SVR M
|
76mm × 52mm右手柄工作台
|
2
|
U-SHG (T)
|
硅橡胶可操作性手柄橡胶改进型(厚型)
|
14
|
U-MSSP
|
U-SVR (/L) M载物台板
|
15, 16
|
U-HR (L) D-4
|
右(左)开口的薄载玻片支架
|
17, 18
|
U-HR (L) DT-4
|
右(左)开口的厚载玻片支架,用于将载玻片压在载物台台面上,标本很难抬起
|
|
100 mm × 100mm载物台配置
9
|
U-SIC4R 2
|
105 mm × 100 mm右手柄工作台
|
10
|
U-MSSP4
|
U-SIC4R (L) 2载物台板
|
11
|
U-WHP2
|
U-SIC4R (L) 2晶圆板
|
6
|
BH2-WHR43
|
4-3 in.晶圆支架
|
12
|
U-MSSPG
|
U-SIC4R玻璃板
|
其他
19
|
U-SRG2
|
可旋转载物台
|
20
|
U-SRP
|
POL可旋转载物台,可以从任意位置45°锁定光圈
|
21
|
U-FMP
|
U-SRP/U-SRG2机械载物台
|
|
相机转接器
用于相机观察的转接器。可在所需的视野和放大倍率中进行选择。可以使用以下公式计算实际观察范围:实际视野(对角线mm)= 视野(观察数量)÷ 物镜放大倍率。 | |
| |
放大倍率
|
定心调整
|
CCD图像区域(视野数量)mm
|
2/3英寸
|
1/1.8英寸
|
1/2英寸
|
1
|
U-TV1x-2,带U-CMAD3
|
1
|
-
|
10.7
|
8.8
|
8
|
2
|
U-TV1xC
|
1
|
ø2mm
|
10.7
|
8.8
|
8
|
3
|
U-TV0.63xC
|
0.63
|
-
|
17
|
14
|
12.7
|
4
|
U-TV0.5xC-3
|
0.5
|
-
|
21.4
|
17.6
|
16
|
5
|
U-TV0.35xC-2
|
0.35
|
-
|
-
|
-
|
22
|
6
|
U-TV0.25xC
|
0.25
|
-
|
-
|
-
|
-
|
目镜
直视显微镜的目镜。根据所需的视野进行选择。 | |
FN(mm)
|
屈光度调整机械装置
|
内置十字线
|
1
|
WHN10x
|
22
| | |
2
|
WHN10x-H
|
22
|
■
| |
3
|
CROSS WHN10x
|
22
|
■
|
■
|
4
|
SWH10x-H
|
26.5
|
■
| |
5
|
CROSS SWH10x
|
26.5
|
■
|
■
|
| |
光学滤光片
光学滤光片将样品曝光光线转换为各种类型的照明。根据观察要求选择适当的滤光片。 | |
BF、DF、FL
1, 2
|
U-25ND25,6
|
中性密度滤光片,透射率25%、6%
|
3
|
U-25LBD
|
日光彩色滤光片
|
4
|
U-25LBA
|
卤素彩色滤光片
|
5
|
U-25IF550
|
绿色滤光片
|
6
|
U-25L42
|
UV截止滤光片
|
7
|
U-25Y48
|
黄色滤光片
|
8
|
U-25FR
|
透雾滤光片(BX3M-URAS-S需要)
|
POL、DIC
9
|
U-AN-2
|
偏光方向固定
|
10
|
U-AN360-3
|
偏光方向可旋转
|
11
|
U-AN360P-2
|
高品质偏光方向可旋转
|
12
|
U-PO3
|
偏光方向固定
|
13
|
U-POTP3
|
偏光方向固定,与U-DICRH搭配使用
|
14
|
45-IF546
|
用于POL的绿色ø45mm滤光片
|
|
IR
15
|
U-AN360IR
|
IR偏光方向可旋转(与U-AN360IR和U-POIR搭配使用时,可减少IR观察时的光晕)
|
16
|
U-POIR
|
IR偏光方向固定
|
17
|
U-BP1100IR
|
带通滤光片:1100nm
|
18
|
U-BP1200IR
|
带通滤光片:1200nm
|
透射光
19
|
43IF550-W45
|
绿色ø45mm滤光片
|
20
|
U-POT
|
偏光滤光片
|
其他
22
|
U-25
|
空滤光片,与用户的ø25mm滤光片搭配使用
|
*使用BX3M-RLAS-S和U-FDICR时,不需要AN和PO |
聚光镜
聚光镜收集和聚焦透射光。用于透射光观察。
1
|
U-AC2
|
Abbe聚光镜(适用于5倍物镜及以上)
|
2
|
U-SC3
|
摇出式聚光镜(适用于1.25倍物镜及以上)
|
3
|
U-LWCD
|
用于玻璃板的长工作距离聚光镜
(U-MSSPG、U-SPG64)
|
4
|
U-POC-2
|
用于POL的摇出式聚光镜
|
| |
镜组
用于BX3M-URAS-S的镜组。为需要的观察选择镜组。
1
|
U-FBF
|
适用于BF,可拆卸ND滤光片
|
2
|
U-FDF
|
适用于DF
|
3
|
U-FDICR
|
适用于POL,正交尼科尔棱镜位置固定
|
4
|
U-FBFL
|
适用于BF,内置ND滤光片(需要同时使用BF*和FL)
|
5
|
U-FWUS
|
适用于紫外光-FL:BP330-385 BA420 DM400
|
6
|
U-FWBS
|
适用于蓝色光-FL:BP460-490 BA520IF DM500
|
7
|
U-FWGS
|
适用于绿色光-FL:BP510-550 BA590 DM570
|
8
|
U-FF
|
空镜组
|
*仅限同轴反射照明 | |
中间镜筒
各种多用途配件。用于镜筒和照明灯之间。
1
|
U-CA
|
放大倍率变换器(1倍、1.25倍、1.6倍、2倍)
|
2
|
U-TRU
|
三目镜筒中间装置
|
| |
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