奥林巴斯拥有自己的光学扫描振镜。

新型MEMS扫描振镜能够实现具有较低扫描轨迹失真和极小光学像差的精确X-Y扫描。某些激光显微镜无法避免视场周边区域测量值的波动，但是OLS5000显微镜无论是测量视场中心还是边缘，均可获得一致的结果。