Evident LogoOlympus Logo
洞见博客

分步讲解技术清洁度检测的工作流程,第六部分:复核结果和创建报告

作者  -
Technical cleanliness

识别需要删除、合并或拆分的颗粒图像,并创建报告

在这个由六篇博客组成的博客系列的最后一篇中,我们将探讨在复核检测结果及创建不同类型的数据报告时可能会执行的一些操作。我们先来看看整个技术清洁度检测工作流程都包含哪些环节以及复核结果和创建报告处于其中的位置:

  • 准备工作
    • 提取
    • 过滤
    • 烘干和称重
  • 检测
    • 图像获取
    • 颗粒的探测
    • 粒径的测量和分类
    • 颗粒计数外推法和归一化
    • 污染水平的计算
    • 清洁度代码的定义
    • 最大审核值
    • 反光颗粒和非反光颗粒的区分
    • 纤维鉴别
    • 结果的复核
    • 报告的创建

复核结果

我们可以在创建报告之前对探测到并分好类的颗粒进行检查。这样,我们就有机会在呈现这些结果之前以互动方式仔细审核并确认这些清洁度检测的结果。一般来说,要对最大颗粒的检测结果进行复核。在复核过程中,可能要进行以下操作:

  1. 删除被错误标识的颗粒

    滤膜本身的问题可能会被错误地识别为颗粒,例如:因不正确的烘干方式而引起的伪影。应该删除这些被错误标识的颗粒(图1中加亮显示的部分表明为需要被删除的颗粒)。

    图1图1图1

    图1:伪影被错误地加亮标识为颗粒(左图)。同一张图像中所有加亮显示的部分被删除(中图)。同一张图像中伪影上加亮显示的部分被删除(右图)。

  2. 拆分颗粒

    当不同颗粒靠得很近时,通常都不会被单独探测到,而是会被错误地标识为单一的大颗粒。在这种情况下,应该将这些被错误标识的颗粒重新拆分为独立的颗粒(图2)。

    图2图2图2

    图2:多个颗粒被错误地加亮标识为一个大颗粒(左图)。同一张图像中所有加亮显示的部分被删除(中图)。现在同一张图像中多个颗粒被正确地标识为独立的颗粒(右图)。

  3. 融合同一个颗粒的组成部分

    在其它情况下,可能会将单一的颗粒错误地标识为多个颗粒。如果是这样,就应该将明显属于同一个颗粒的不同组成部分融合在一起(图3)。

    图3图3图3

    图3:同一个颗粒的两个组成部分被错误地加亮标识为不同的颗粒(左图)。同一张图像中所有加亮显示的部分被删除(中图)。现在同一张图像中不同的颗粒被正确地加亮标识为单一的颗粒(右图)。

  4. 更改颗粒的类别

    如果发现某个颗粒被划分到错误的类别中,则应该更改颗粒的类别,例如:将反光颗粒错误地分类为非反光颗粒。

报告的创建

技术清洁度检测报告以一种标准化形式呈现出被测滤膜的所有测量结果和数据(图4)。根据所使用的清洁度标准,报告中必须显示某些特定结果或测量特性,如:摄像头的曝光时间、扫描/检测的样品区域等等。一些清洁度检测标准还要求对某些采集参数进行描述,例如:标准的名称和颗粒面积的范围。

报告的呈现格式可以根据要求获得数据的公司的测量需求和技术规格进行调整。可以在报告中显示最大颗粒的分类表格和图像。上述信息都可以在检查软件中提供的报告模板中定义。

图4

图4:使用奥林巴斯的CIX100技术清洁度检测系统制作样品的检测报告。

技术清洁度检测是大多数工业制造工艺的核心环节,包括多个准备和检测步骤。我们在这个博客系列中对每个步骤都进行了详细的说明。我们希望这个博客系列可使您更容易地理解技术清洁度检测的工作流程,了解优化工作流程的方法,并确保始终获得可靠的检测结果。

相关内容

分步讲解技术清洁度检测的工作流程,第一部分

分步讲解技术清洁度检测的工作流程,第二部分

分步讲解技术清洁度检测的工作流程,第三部分

分步讲解技术清洁度检测的工作流程,第四部分

分步讲解技术清洁度检测的工作流程,第五部分

Product Applications Manager, Olympus Corporation of the Americas, Scientific Solutions Group

A member of the Olympus team since 2016, Hamish provides product and application support for Olympus industrial microscope systems throughout the Americas. He is an expert in inspection applications, image analysis, measurement, and reporting, as well as custom optical solutions, with an emphasis on technical cleanliness and semiconductor equipment.

十一月 13, 2018
Sorry, this page is not available in your country
InSight Blog Sign-up
Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country