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晶圆样品上的电路图案检测


晶圆样品
晶圆样品

应用

当需要对晶圆样品的电路图案和颜色进行显微观察时,传统的方法是对前者进行暗场照明、对后者进行明场照明,并在这两种技术之间反复切换。因为在创建报告时需要为每种技术采集图像,所以这种观察方法非常耗时。

奥林巴斯的解决方案

用于执行半导体/FPD检测的MX63/MX63L工业显微镜提供了一种可有效替代传统观察方法的解决方案:MIX 照明功能。利用MIX照明功能,可同时观察晶圆的电路图案和颜色信息。MIX图像的锐度和清晰度可帮助提高工作效率和改进报告生成过程。

产品功能

  • 简化的工作流程
    MX63/MX63L显微镜可帮助简化整个检测工作流程,并在洁净室环境中也具有同样高效的性能水平。
  • 用户友好界面
    借助用于控制对焦、光强和孔径的各种功能,可方便地调整MX63/MX63L显微镜设置。MX63/MX63L显微镜易于操作,即使是新手操作员也可以在适当的观察条件下进行检测。
  • 高级成像技术
    MX63/MX63L显微镜基于数十年丰富光学经验构建,可提供鲜明清晰的图像,有助于确保获得可靠的测量结果。
  • 模块化
    MX63/MX63L显微镜采用模块化设计,使用户可以选择丰富的光学元件以满足自己的特定应用需求。无需过多投资即可构建所需的系统。

DFMIX_BF

明场照明
晶圆的颜色可见,但电路图案不清晰。

DFMIX_BF+DF

暗场照明
电路图案清晰,但晶圆的颜色不可见。

DFMIX_DF

MIX照明(明场照明和暗场照明)
可同时观察晶圆电路图案和颜色信息,且具有很高的锐度和清晰度。

Olympus IMS

应用所使用的产品
MX63和MX63L显微镜系统具有多种功能,采用符合人体工学的易用设计,能够提供最大300 mm晶圆、平板显示器、印刷电路板以及其他大型样品的高质量观察。该产品采用灵活的模块设计,能够针对不同的检测目的提供出色的观察系统。通过与奥林巴斯PRECiV图像分析软件相结合,从观察到报告生成的整个检测过程都变得简单而流畅。
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