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凸点分离后键合面的金面积比测量


凸块分离后残留在键合面上的金_ob50×z4×_BF
金凸块

1. 背景

随着封装微型化和空间节省技术在现代电子设备中提高产品的整体性能,倒装芯片键合(FCB)应用越来越多,其特点是安装占地面积小,布线距离缩短。

2.应用

倒装芯片键合涉及通过金凸块将片上电极键合至印制电路板(PCB)电极。在不添加额外布线的情况下,键合强度直接影响电路的导电性。由于键合合金有助于增强键合强度,因此检测人员通过测量非合金的金电极的面积比能够确定凸点和电路板间的键合度。

3.奥林巴斯解决方案

奥林巴斯的DSX1000数字式显微镜通过与高数值孔径/低像差物镜的结合,可达到与最新光学显微镜相当的分辨率。通过景深扩展图像(EFI)技术,用户即使在难以聚焦的表面配置下也能够在整个视野中采集清晰的图像。所采集的图像直接通过OLYMPUS Stream软件传输进行测量。用户可通过HSV设置进一步细化测量区域。

凸块分离后残留在键合面上的金_ob50×z4×_BF_ROI

明场影像:具有4X变焦的50X物镜

凸块分离后残留在键合面上的金_手动

手动HSV阈值设置

凸块分离后残留在键合面上的金_ob50×z4×_BF_ROI_计数和测量

ROI名称/测量结果

Olympus IMS

应用所使用的产品

图像和结果更优良。DSX1000 数码显微镜凭借有保证的准确度和重复性,可实现更快速的失效分析。

MX63和MX63L显微镜系统具有多种功能,采用符合人体工学的易用设计,能够提供最大300 mm晶圆、平板显示器、印刷电路板以及其他大型样品的高质量观察。该产品采用灵活的模块设计,能够针对不同的检测目的提供出色的观察系统。通过与奥林巴斯PRECiV图像分析软件相结合,从观察到报告生成的整个检测过程都变得简单而流畅。
Stream Enterprise软件集成有数据管理功能,提供了智能的分步工作流程来获取锐利、清晰的图像,并可根据最新标准定量测量和给出专业的报告。
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