Evident LogoOlympus Logo
资源库
应用说明
返回到资源库

通过使用激光显微镜进行灰度掩模/非接触式三维表面轮廓测量对光掩模透镜阵列进行形状评价


1. 应用

灰阶掩模是一种技术,用于制造复杂形状微透镜的模具,或其他由高质量3D微结构组成的产品的模具。灰阶掩模用于实现3D图案化;将使用多层激光辐照保护剂涂层以产生3D图案(图1)。为进行质量控制,必须在辐照后测量保护剂的3D形状。由于3D图案易损坏,因此需要进行非接触式测量以验证其完整性。

2. 奥林巴斯的解决方案

奥林巴斯的LEXT 3D激光扫描显微镜可对灰阶掩模的凹凸形状进行非接触式三维成像,并且图像具有高分辨率和高对比度。得益于具有高数值孔径的物镜和可通过405 nm激光获得最高性能的光学系统,LEXT显微镜可以准确捕获不规则斜面的轮廓,从而产生可再现的可靠3D轮廓(图1)。除测量样品的形状外,用户还可以使用激光微分干涉来清晰地可视化微小的不规则目标。

凹面图案
灰阶掩模 凹 50 倍物镜
物镜:50 倍 50 倍,1 倍变焦
灰阶掩模 凹 50 倍物镜 3D
物镜:50 倍 50 倍,1 倍变焦
灰阶掩模 凹 100 倍物镜 3D
物镜:100 倍 100 倍,1 倍变焦
凸面图案
灰阶掩模 凸 50 倍物镜
物镜:50 倍 50 倍,1 倍变焦
灰阶掩模 凸 50 倍物镜 3D
物镜:50 倍 50 倍,1 倍变焦
灰阶掩模 凸 100 倍物镜 3D
物镜:100 倍 100 倍,1 倍变焦

图1. 使用LEXT显微镜成像凹凸面图案

图2. 使用灰阶掩模进行透镜制造流程。

步骤 1

  1. 保护涂层
    保护涂层
    将保护剂涂在玻璃上。
     
  2. 绘图(激光辐照)
    绘图(激光辐照)
    用多尺度激光束辐照保护剂以产生正保护层。
    被辐照的区域将裸露在外并软化。
     
  3. 浸泡在显影剂中
    浸泡在显影剂中
    显影保护层并剥离非必要区域。在此相态期间进行 3D 轮廓评估对于质量管理非常关键。

步骤 2

  1. 电镀
    电镀
    对保护剂进行电镀。
     
  2. 蚀刻
    蚀刻
    通过蚀刻来溶解保护剂,然后翻转镀层以完成原始模具(金属模具)。

步骤 3

  1. 使用热压将薄膜粘合到金属模具上。
    使用热压将薄膜粘合到金属模具上
     
  2. 印记
    印记
    从金属模具上剥离膜并翻转模具。
     
  3. 树脂成型
    树脂成型
    将树脂倒入薄膜。
     
  4. 结束
    结束
    使树脂固化,并将其从薄膜模具中取出以完成镜头。
Olympus IMS

应用所使用的产品

具有出色精度和光学性能的LEXT™OLS5100激光扫描显微镜配备了让系统更加易于使用的智能工具。其能够快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精确测量任务,既简化了工作流程又能让您获得可信赖的高质量数据。

Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country