[Scanning Probe Microscope (SPM)]

カンチレバー先端に設けられた探針をサンプル表面に接近させた状態で、平面方向に走査させ、探針とサンプル間に働く様々な物理量を画像化する顕微鏡の総称です。
代表的な顕微鏡としてはAFM（Atomic Force Microscope）があげられる。

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