Olympus ma swój własny skaner optyczny.

Nowy skaner MEMS realizuje dokładne skanowanie X-Y z niskim poziomem zniekształceń śladu skanowania i minimalnymi aberracjami optycznymi. Podczas gdy niektóre mikroskopy laserowe nie są w stanie uniknąć fluktuacji pomiarów w obszarach peryferyjnych, mikroskop OLS5000 generuje jednorodne wyniki niezależnie od tego, czy pomiar ma miejsce pośrodku czy na brzegu pola obserwacji.