Evident LogoOlympus Logo
Resources
Application Notes
Back to Resources

Kontrola matrycy układu scalonego na próbkach wafli


Próbka wafla
Próbka wafla

Zastosowanie

Podczas przeprowadzania mikroskopowej obserwacji matrycy układu scalonego oraz koloru próbki wafla metodą konwencjonalną konieczne jest wielokrotne przełączanie się między obserwacją w ciemnym polu (w celu obserwacji matrycy) a obserwacją w jasnym polu (w celu obserwacji koloru). Taka metoda obserwacji zajmuje dużo czasu, ponieważ w celu utworzenia raportu wymagana jest rejestracja każdego obrazu.

Rozwiązanie firmy Olympus

Mikroskopy przemysłowe MX63/MX63L do kontroli półprzewodników/FPD stanowią wydajną alternatywę dla konwencjonalnych metod obserwacji, jako że są wyposażone w funkcję oświetlenia MIX. Przy oświetleniu metodą MIX można jednocześnie obserwować matrycę układu scalonego i kolor wafli. Ostrość i czytelność obrazu MIX poprawia wydajność pracy i ułatwia tworzenie raportów.

Cechy produktów

  • Zoptymalizowany przepływ pracy
    Mikroskopy MX63/MX63L są wyposażone w funkcje ułatwiające przeprowadzanie kontroli od początku do końca przy zachowaniu poziomu wydajności podczas pracy w pomieszczeniach czystych.
  • Intuicyjna obsługa
    Ustawienia mikroskopów MX63/MX63L można łatwo regulować przy użyciu funkcji wspomagających ustawianie ostrości, intensywności światła i stopnia otwarcia przysłony. Dzięki uproszczonej obsłudze mikroskopów MX63/MX63L nawet mało doświadczony operator może przeprowadzać kontrolę w odpowiednich warunkach obserwacji.
  • Zaawansowana technika obrazowania
    Skonstruowane w oparciu o dziesięciolecia doświadczenia optycznego mikroskopy MX63/MX63L generują czytelne, ostre obrazy, wspomagając uzyskiwanie wiarygodnych wyników pomiarów.
  • Modularna konstrukcja
    Modularna konstrukcja mikroskopów MX63/MX63L umożliwia użytkownikom wybór z szerokiej gamy komponentów optycznych dostosowanych do ich indywidualnych potrzeb. Żądany system można skompletować bez nadmiernych kosztów inwestycyjnych.

DFMIX_BF

Oświetlenie metodą jasnego pola
Widoczny jest kolor wafla, ale matryca układu scalonego jest niewyraźna.

DFMIX_BF+DF

Oświetlenie metodą ciemnego pola
Matryca układu scalonego jest wyraźna, ale nie można określić koloru wafla.

DFMIX_DF

Oświetlenie metodą MIX (oświetlenie metodą jasnego i ciemnego pola)
Można jednocześnie obserwować matrycę układu scalonego i jej kolor na ostrym i czytelnym obrazie.

Olympus IMS

ProductsUsedApplications
The MX 63 and MX63L microscope systems offer quality observations for 300 mm wafers at largest, flat panel displays, print circuit boards, and other large samples, featuring the versatile functions and ergonomic, user-friendly designs. The flexible module design provides optimal observation systems for diverse inspection purposes. By the combination with OLYMPUS Stream image analysis software, your inspection procedure from observation to report generation can be simplified and streamlined.
Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country