전력 제어 장치 검사하기

전력 제어 장치(PCU)는 전기 자동차를 운전하는 데 사용되는 전력을 제어하는 장치입니다. PCU 내부에는 여러 개의 전력 반도체가 사용됩니다. 제조 장비의 열화, 부적절한 개조, 인적 오류 또는 오염으로 인해 반도체 웨이퍼에 결함이 발생할 수 있습니다.

당사의 솔루션

DSX1000 디지털 현미경은 웨이퍼 검사를 위한 다목적 솔루션입니다. 하나의 시스템에서, 다양한 관측 방법 중에서 저배율을 사용하여 결함을 탐지한 다음, 고배율을 사용하여 결함 유형을 식별할 수 있습니다.

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반도체 패턴 결함, 균일하지 않은 필름 및 선폭 측정

적절한 성능을 보장하기 위해 반도체 패턴 치수를 적절하게 측정해야 합니다. OLS5100 레이저 스캐닝 현미경으로 쉽고 정확하게 패턴 치수를 측정할 수 있습니다.

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반도체 배선 패턴 폭 및 단차 측정