올림푸스만의 광학 스캐너

새로운 MEMS 스캐너는 스캔트레이스 왜곡이 낮고 광수차가 최소화된 정확한 X-Y 스캔을 수행합니다. 일부 레이저 현미경의 경우 주변 영역 측정시 측정 결과의 오차가 발생하지만 OLS5000 현미경을 사용하면 시야의 중심부와 주변부의 측정값이 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.

Proximal Galvano structure

2-axis integrated structure

기존 레이저 현미경 (Proximal Galvano 구조)

OLS5000 현미경 (2축 일체형 구조)