전용 적외선(IR) 대물렌즈는 근적외선 디지털 이미징을 위한 턴키 솔루션을 제공합니다.
마이크로일렉트로닉스에서는 일반적인 고장 분석 프로토콜에 따라 실리콘을 투과해 회로 패턴을 비파괴적으로 검사할 수 있으면서도 완제품의 기계적 무결성을 유지해야 합니다. 근적외선 스펙트럼에서의 현미경 이미징과 같은 비침습적 기슬은 최대 650μm 두께의 실리콘을 투과하여 직접 검사를 제공합니다. 어플리케이션으로는 제품 내 단락 검사(단선 흔적, 스트레스 표식 등), 본딩 얼라인먼트(얇게 결합된 회로 사이의 정렬 표시 분석), 전기 테스트 후 검사(모든 유형의 고장), 칩 손상(소재 결함, 오염 등) 등이 있습니다.
결함 측정, 보고서 생성 및 이미지 보관을 위한 대다수 고장 분석 및 R&D 실험실의 요구 사항에 부합하려면 디지털 솔루션이 필요합니다. 이 어플리케이션 고유의 특성으로 인해 기본 대비는 최소화되며 이미지 분석 소프트웨어를 통해 최적화되어야 합니다. 조명 불균일 기능은 이미지 모서리에서 중심까지 비네팅 또는 어둡게 만들며 라이브 뷰 및 캡쳐된 이미지에서 디지털 방식으로 제거해야 합니다. 반사광 현미경은 위에서 샘플을 비추는 데 이상적이지만, 투과광 IR은 샘플 아래에서 실리콘을 통과해 샘플로 빛을 가져와 대비를 높여 줍니다.따라서 투과광은 실리콘을 투과하여 패턴 정렬이나 기준 표시를 검사하는 데 특히 유용합니다.
완벽한 디지털 근적외선 시스템
올림푸스 UIS2 시리즈 전용 IR 대물렌즈는 근적외선 디지털 이미징을 위한 턴키 솔루션을 제공합니다. 최신 세대의 UIS2 전용 근적외선 대물렌즈는 근적외선 스펙트럼에서 투과율을 높이고 특정 실리콘 두께에 맞도록 보정환(correction collar, 20x, 50x, 100x 대물렌즈)을 제공함으로써 투과율과 성능을 극대화합니다. 올림푸스 XM10-IR 디지털 카메라는 최대 1,100nm의 근적외선 스펙트럼 전체에서 고대비 이미지를 제공하면서도 대형 2/3인치 CCD 센서 덕분에 넓은 시야를 유지합니다. OLYMPUS Stream® 이미지 분석 소프트웨어는 다른 IR 이미징 솔루션과 달리 XM10-IR 카메라를 완벽하게 제어하여 실시간 음영 보정 기능을 제공하므로 시야 전체에서 이미지 균일성을 극대화합니다. 또한 사용자는 실시간 및 획득된 IR 이미지에서 영상 대비를 쉽게 극대화할 수 있습니다. 그리고 OLYMPUS Stream 소프트웨어는 이미지 시야 내의 모든 위치에서 정확한 측정을 수행하고 보고서를 자동으로 생성하며 이미지 및 관련 데이터를 보관할 수 있습니다.
실리콘을 투과하는 고품질 이미징 및 검사에 이상적인 완벽한 디지털 근적외선 솔루션의 구성 요소는 다음과 같습니다.
- 정립 IR 복합 현미경(BX 시리즈) 또는 전용 IR 웨이퍼 검사 복합 현미경(MX 시리즈 IR 현미경을 통해 반사광과 투과광 IR을 동시에 관찰 가능)
- UIS2-IR 대물렌즈
- XM10-IR 고감도 1.4 MP CCD 디지털 FireWire 카메라
- OLYMPUS Stream 이미지 분석 소프트웨어
즉시 결과 확보
올림푸스 턴키 디지털 근적외선 시스템은 완제품을 전혀 손상시키지 않으면서 실리콘 아래의 고품질 이미지 획득, 정확한 측정, 뛰어난 보고서 생성, 이미지 보관 등의 기능을 수행합니다. 또한 디지털 근적외선 센서를 활용함으로써 아날로그 황화납 튜브(lead sulfide tube) 카메라 특유의 이미지 지연 및 정체를 없애줍니다. 이 완벽한 솔루션은 사용자 친화적이기 때문에 현미경 검사와 이미징에 대한 기본 사항을 이해하고 있는 작업자는 즉시 결과를 확보할 수 있습니다.
다음은 다양한 UIS2-IR 대물렌즈, BX2M-IR 정립 복합 현미경, XM10-IR 디지털 카메라, OLYMPUS Stream 소프트웨어를 사용하여 획득한 이미지입니다.
 |
| 10x UIS2-IR 대물렌즈 |
 |
| 20x UIS2-IR 대물렌즈 |
 |
| 50x UIS2-IR 대물렌즈 |
 |
| 100x UIS2-IR 대물렌즈 |
