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범프 분리 후 접합면의 Au 면적 비율 측정


범프 분리 후 접합면에 남은 Au_ob50×z4×_BF
Au 범프

1. 배경

패키지 소형화 및 공간 절약 기술이 오늘날 전자장치의 전반적인 제품 성능을 향상시키면서 작은 설치 면적과 배선 거리 감소가 특징인 FCB(Flip-Chip Bonding) 어플리케이션이 늘어나고 있습니다.

2. 어플리케이션

FCB(Flip-Chip Bonding)에는 Au 범프를 통해 온칩 전극을 인쇄회로기판(PCB) 전극에 접합하는 작업이 수반됩니다. 추가 배선의 통합 없이 접합 강도가 회로의 전도도에 직접적인 영향을 줍니다. 접합 합금은 보강된 접합 강도에 기여하기 때문에 검사자는 비합금 Au 전극의 면적 비율을 측정하여 범프와 회로기판 사이의 접합 정도를 확인할 수 있습니다.

3. 올림푸스 솔루션

Olympus DSX1000 디지털 현미경은 높은 개구수(NA)/낮은 수차의 대물렌즈를 통합하여 최첨단 현미경에 견줄 수 있는 해상도를 제공합니다. EFI(Extended Focal Image) 기술을 통해 초점을 맞추기 어려운 표면 구성에서도 전체 시야에서 선명한 이미지를 획득할 수 있습니다. 획득된 이미지는 측정을 위해 OLYMPUS Stream 소프트웨어를 통해 직접 전송됩니다. 사용자는 HSV 설정을 통해 측정 영역을 더욱 개선할 수 있습니다.

범프 분리 후 접합면에 남은 Au_ob50×z4×_BF_ROI

명시야 이미지: 4X 줌을 사용한 50X 대물렌즈

범프 분리 후 접합면에 남은 Au_manual

수동 HSV 임계값 설정

범프 분리 후 접합면에 남은 Au_ob50×z4×_BF_ROI_Count and Measure

ROI 지정/측정 결과

Olympus IMS

이 애플리케이션에 사용되는 제품

더 나은 이미지와 결과. DSX1000 디지털 현미경은 정확도과 반복성을 통해 보다 신속하게 실패 분석을 가능하게 합니다.

MX63 및 MX63L 현미경 시스템은 다목적 기능과 인체공학적이고 사용자 친화적인 디자인을 갖춰, 대형 평면 패널 디스플레이, 인쇄 회로 기판 및 기타 대형 샘플에서 300mm 웨이퍼에 대한 고품질 관찰이 가능하게 합니다. 유동적인 모듈 설계로 인해 관찰 시스템이 여러 검사 목적에 맞도록 최적화됩니다. Olympus PRECiV 이미지 분석 소프트웨어와 결합하면 관찰부터 보고서 생성까지의 검사 절차를 간소화할 수 있습니다.
데이터 관리 기능이 통합된 Stream Enterprise 소프트웨어는 최신 표준에 따라 정량적 측정 및 전문적 보고에 바로 사용할 수 있는 선명하고 깨끗한 이미지를 얻기 위한 단계별 지능형 워크플로를 제공합니다.
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