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新搭載の「MIX観察」機能で今まで見つけにくかった欠陥を検出 半導体・FPD検査顕微鏡 「MX63/ MX63L」を新発売

2017年06月27日

オリンパス株式会社(社長:笹 宏行)は、科学事業の新製品として、半導体やFPD(フラットパネルディスプレイ)の検査用の工業顕微鏡「MX63/MX63L」を、2017年6月27日から全世界で発売します。

工業用顕微鏡は、多種多様な工業製品やその部品の観察や検査に用いられます。当社は、お客様の多様なニーズに最適なソリューションを提供すべく、優れた光学性能を持つ多彩なユニットや、画像解析ソフトウェアと組み合わせた、さまざまな工業用顕微鏡システムを販売しています。

今回発売する「MX63/MX63L」は、主に半導体・FPDなど、サイズが大きいサンプルの検査に特化した工業用顕微鏡で、MX63は200mm、MX63Lは300mmまでの大きさのウエハーに対応しています。MXシリーズとして初めて「MIX観察」対応ユニットを搭載したことで、これまでの観察方法では見つけにくかった欠陥などを、検出することが可能になりました。また、高輝度タイプの白色LED光源の採用により、省電力・長寿命であるだけでなく、観察時の光源の明るさを変えても、画像の色合いは変わることなく、常に安定した画像を得ることができます。さらに新搭載の「フォーカスエイド」機能を使えば、ピント合わせでのサンプル衝突が無く、迷わずにピントあわせが可能です。

●発売の概要

商品名 発売日
半導体・FPD検査顕微鏡 「MX63/ MX63L」 2017年6月27日

●主な特徴

  1. 従来の観察方法で見つけにくかった欠陥を検出可能にする「MIX観察」ユニットを新たに搭載
  2. LED光源の採用により、光源の明るさに左右されない安定した観察を長期間持続
  3. サンプルへの衝突がなく、迷わずピント合わせが可能な「フォーカスエイド」機能を新たに搭載

●主な特徴の詳細

1. 従来の観察方法で見つけにくかった欠陥を検出可能にする「MIX観察」ユニットを新たに搭載

MXシリーズとしてはじめて、「MIX観察」対応ユニットを搭載しました。「MIX観察」は、色情報を含めた概観の観察に適した「明視野観察」や蛍光物質の検出に有効な「蛍光観察」と、細かい構造や傷の検出に優れた「暗視野観察」の方法を組み合わせ、それぞれの観察法のメリットを活かした新しい観察法で、従来の観察方法で見つけにくかった欠陥を検出可能になります。また、「暗視野観察」の専用照明は任意の4方向を選択できるため、対象物をより効果的に強調できます。

2. LED光源の採用により、光源の明るさに左右されない安定した観察が長期間持続

落射照明観察および透過照明観察の光源に、高輝度な白色LEDを採用しました。LEDの特徴である省電力・長寿命はもちろん、観察時の光源の明るさを変えても、画像の色合いが変わらないため、常に安定した画像を得ることができます。

3. サンプルへの衝突がなく、迷わずピント合わせが可能な「 フォーカスエイド」機能を新たに搭載

視野内に表示される格子パターンへピントを合わせればサンプルにもピントが合います。ベアウエハーやガラス、フィルムなどパターンがないサンプルで威力を発揮します。誤ってサンプルを対物レンズと衝突することを防止できます。

●「MX63/ML63L」の主な仕様

観察方法 明視野、暗視野、MIX、偏光、微分干渉、蛍光、IR
光学系 UIS2光学系
透過/落射光源 LED光源
ステージ 最大ストローク MX63:210x210mm / MX63L:356x305mm
質量 MX63:約35.6kg / MX63L:約44kg

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